로터리 피드스루 ISO-KF / ISO-K

INFICON의 매우 다양한 기계식 피드스루는 모든 까다로운 분야(예: 코팅 분야 챔버 또는 실험실 조건 하에 적용되는 연구 프로젝트)에 적합한 장치를 제공합니다.

사용 가능한 플랜지 설계 ISO-KF/ISO-K 및 CF는 당사 피팅 라인에 해당합니다. 모든 피드스루는 누출률 최대 1 x 10-9 mbarl/s인 진공 시스템에서 작동하기에 적합합니다. UHV의 경우 모든 금속 설계 피드스루도 사용할 수 있습니다.

장점

  • 높은 토크 전달용
  • FPM 축 씰 및 볼 베어링 포함
  • 2011/65/EU RoHS 준수

사양

유형 FRH016-H FRH025-H FRH040-H FRH063-H
진공 연결 DN 16 ISO-KF DN 25 ISO-KF DN 40 ISO-KF DN 63 ISO-KF
피드스루/씰 FPM FPM FPM FPM
축 측정 mm Ø5 Ø8 Ø12 Ø20
전달 가능 토크 nm 1.5 6 25 100
회전 속도 (1) RPM 1500 1000 750 500
진공 상태에서 공회전 토크 N•cm ≤ 3 ≤ 4 ≤ 5 ≤ 10
진공 상태에서 시작 토크 N•cm ≤ 6 ≤ 8 ≤ 10 ≤ 20
축 부하 진공측        
반경방향 힘 N 60 150 250 500
축방향 힘 N 30 50 60 100
사용기간 Revolutions 20 000 000 20 000 000 20 000 000 10 000 000
기밀성, 정적 mbar•L/s 1 x 10-9 1 x 10-9 1 x 10-9 1 x 10-9
압력 (절대압) 1 x 10-9 mbar ... 1 bar 1 x 10-9 mbar ... 1 bar 1 x 10-9 mbar ... 1 bar 1 x 10-9 mbar ... 1 bar
작동 온도 °C 50 50 50 50
베이크 아웃 온도 °C 110 110 110 110
공정 매체에 노출된 재료 stainless steel 420/1.4021, aluminum 6082, elastomer FPM stainless steel 420/1.4021, aluminum 6082, elastomer FPM stainless steel 420/1.4021, aluminum 6082, elastomer FPM stainless steel 420/1.4021, aluminum 6082, elastomer FPM
무게 kg 0.1 0.2 0.6 2
(1) 사용 수명 감소를 감수할 수 있다면 둘 중 한 요인으로 회전을 증가시킬 수 있습니다.

부품 번호

FRH016-H
부품 번호 설명
214-300 FRH016-H Rotary feedthrough DN 16 ISO-KF
FRH025-H
부품 번호 설명
214-302 FRH025-H Rotary feedtrough DN 25 ISO-KF
FRH040-H
부품 번호 설명
214-304 FRH040-H Rotary feedtrough DN 40 ISO-KF
214-347 FRH040-H Rotary feedtrough DN 40 ISO-KF
FRH063-H
부품 번호 설명
214-306 FRH063-H Rotary feedthrough DN 63 ISO-K
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