로터리 피드스루 CF

INFICON의 매우 다양한 기계식 피드스루는 모든 까다로운 분야(예: 코팅 분야 챔버 또는 실험실 조건 하에 적용되는 연구 프로젝트)에 적합한 장치를 제공합니다.

사용 가능한 플랜지 설계 ISO-KF/ISO-K 및 CF는 당사 피팅 라인에 해당합니다. 모든 피드스루는 누출률 최대 1 x 10-9 mbarl/s인 진공 시스템에서 작동하기에 적합합니다. UHV의 경우 모든 금속 설계 피드스루도 사용할 수 있습니다.

장점

  • 벨로우즈 씰링
  • 순금속 버전
  • 매우 까다로운 진공 요건에 적합
  • 2011/65/EU RoHS 준수
  • FRU DN 16 - DN 40.gif

사양

유형 FRU016-H FRU040-N FRU040-L
진공 연결 DN 16 CF-F DN 40 CF-F DN 40 CF-F
피드스루/씰 bellow bellow bellow
축 연결 mm 4 8 12
전달 가능 토크      
동적 N•m 0.4 4 10
동적, 300℃ N•m 0.2 2 2
정적 N•m 0.2 3 5
회전 속도 RPM 200 1000 500
최대 토크 RPM ­ 500 300
축 부하 진공측      
반경방향 힘 N 10 60 100
축방향 힘 N 5 20 30
사용기간 Revolutions 1 000 000 2 000 000 1 000 000
눈금 간격 degree 10
기밀성 mbar•L/s 5 x 10-11 5 x 10-11 5 x 10-11
압력 (절대압) 1 x 10-10 mbar ... 2 bar 1 x 10-10 mbar ... 2 bar 1 x 10-10 mbar ... 2 bar
작동 온도 °C 300 300 300
베이크 아웃 온도 °C 300 300 300
공정 매체에 노출된 재료 304L/1.4306, 304/1.4301, –/2.4360 304L/1.4306, 304/1.4301, –/2.4360 304L/1.4306, 304/1.4301, 303/1.4305
무게 kg 0.3 1.5 3

부품 번호

FRU016-H
부품 번호 설명
214-310 FRU016-H Rotary feedthrough DN 16 CF-F
FRU040-N
부품 번호 설명
214-312 FRU040-N Rotary feedthrough DN 40 CF-F
FRU040-L
부품 번호 설명
214-314 FRU040-L Rotary feedthrough DN 40 CF-F
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