QMG 700 High Resolution Mass Spectrometer

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QMG 700 Analytical Mass Spectrometer


QMG 700의 일부 이형은 2018년 1월 31일에 중단됩니다.

  • 1024 amu - 2048 amu 질량 범위 
  • 16 amu - 340 amu 질량 범위 
  • 이온계 시스템 
  • QMG 725 시스템

우수한 안정성과 정밀 해상도로 검출 한도 초과

 

반도체 제조 기술의 급속한 발전은 신속하고 신뢰할 수 있는 가스 분석 솔루션에 의존하고 있습니다. 팹 또는 랩에서 INFICON QMG 700 Analytical Mass Spectrometer를 선택하여 탐지 장벽을 극복하고 공정을 차세대 기술 혁신으로 추진하십시오. QMG 700은 모듈식 설계에서 비교할 수 없는 성능과 적응성을 제공합니다. QMG 700으로 경쟁적 우위를 향상시키고, 뛰어난 수준의 측정 역량을 얻으십시오.

 

 

광범위한 이온 소스, 질량 필터 및 RF 전원 공급장치 옵션에서 선택하여 QMG 700을 특정 적용개소에 맞추십시오. QMG 700은 9 디케이드 이상의 동적 범위 및 ppb 탐지 한계를 자랑하며, 초고진공 측정에 이상적인 기기라고 할 수 있습니다. QMG 700은 전체 질량 범위에서 장치 해상도를 제공하며, 낮은 질량에 비해 훨씬 더 높은 해상도를 제공합니다. 기기는 헬륨 및 듀테륨 분리와 같은 동위원소 분석을 포함하여 가장 까다로운 측정을 위한 최상의 옵션입니다. QMG 700으로 공정을 제어하고 이것의 우수한 장기간 안정성에 의존하여 중대한 측정을 보호하십시오.

 

INFICON에서 40년 넘게 제공해온 뛰어난 분석 질량 분광 측정 기술이 탑재된 QMG 700은 차세대 가스 분석 투자에서 올바른 선택입니다. 일관된 정확성과 정밀한 결과를 얻기 위해 INFICON QMG 700과 INFICON의 세계적인 적용개소 전문성을 믿으셔도 됩니다.

특징

  • 1-2048 amu의 질량 범위 옵션
  • 9 디케이드 이상의 동적 범위
  • 매우 빠른 측정 속도: 0.125 ms/amu
  • MDPP < 10E-16 mbar

  • 전체 질량 범위에서 높은 해상도: 1개, 2개 및 3개 질량을 ppb 범위에서 분명하게 분리 가능

  • 10개 이상의 서로 다른 이온 소스와 이온계 조합
  • 이산 또는 연속 다이노드 전자 증배관 옵션
  • 음이온 및 양이온뿐만 아니라 중성자를 분석하는 데 사용할 수 있는 이온 계산 전치 증폭기
  • IO 옵션: 8개 아날로그 입력/출력과 32개 디지털 입력/출력
  • 유연하고 사용자 친화적인 인터페이스가 포함된 강력한 기능의 소프트웨어

일반적인 응용 분야

  • 가스 방출 질량 분광 측정
  • 엔드포인트 검출
  • 증착 재료 모니터링
  • 보조 이온 질량 분광 측정

사양

유형 QMA 400 QMA 410 QMA 430
질량 범위 1-2048 amu (1) 1-340 amu (2) 1-300 amu
센서 길이 441.5 mm 548 mm 441.5 mm
로드 직경 8 mm 16 mm 8 mm
로드 재료 Molybdenum Molybdenum Stainless Steel
플랜지 DN 63 CF-F DN 100 CF-F DN 63 CF-F
검출기 유형 Faraday/SEV 217 Faraday/SEV 217 Faraday/SEV 217
최대 작동 압력(FC) 1 E-4 mbar 1 E-4 mbar 1 E-4 mbar
최대 작동 압력(EM) 1 E-5 mbar 1 E-5 mbar 1 E-5 mbar
민감도 5 E-4 A/mbar 1 E -3 A/mbar 2 E-4 A/mbar
최소 검출 가능 부분 압력 1 E-15 mbar 5 E-16 mbar 1 E-15 mbar
해상도(조절 가능) 0.3 - 7 amu 0.2 - 2.2 amu 0.3 - 7 amu
부분 압력비 < 0.5 ppb < 0.5 ppb < 0.5 ppb
최대 작동 온도 센서 150 °C 150 °C 150 °C
최대 베이크아웃 온도 400 °C 400 °C 400 °C
최대 작동 온도 전자장치 40 °C 40 °C 40 °C
측정 속도 0.125 ms - 60 s/amu 0.125 ms - 60 s/amu 0.125 ms - 60 s/amu
전력 공급 장치 100 - 240 VAC 100 - 240 VAC 100 - 240 VAC

(1) QMA 400은 1-512 amu, 1-1024 amu, 1-2048 amu 질량 범위에 사용할 수 있습니다.                        

 512 amu 질량 범위에 기반한 QMA 400 사양, 교차 빔 이온 소스 시스템 구성

 

(2) QMA 410은  1-16 amu, 1-128 amu, 1-340 amu 질량 범위에 사용할 수 있습니다.

128 amu 질량 범위에 기반한 QMA 410 사양, 교차 빔 이온 소스 시스템 구성

 

부품 번호

QMA 430
부품 번호 설명
490-913 QMA 430 with Grid Ion Source
490-943 QMA 430, SEM 217, Crossbeam, YT
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