PSG55x ATM~중간진공 게이지

 

INFICON 피라니 표준 게이지(PSG55x)는 자매 제품인 PCG55x 및 PSG50x와 같이 최첨단 디지털 피라니 기술이 적용되어 있습니다. 이 견고한 센서 설계에는 작은 크기에 다양한 기능이 결합되어 저진공부터 고진공 범위까지의 측정에 적합한 제품으로 인정받고 있습니다.

장점

  • 텅스텐(PSG550) 또는 니켈(PSG552) 필라멘트 및 부식성이 강한 분야를 위한 완전 세라믹 코팅(PSG554) 센서 장치와 함께 사용 가능
  • 디스플레이, 셋포인트 및 디지털 인터페이스 옵션
  • Latest EtherCAT protocol Standard ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0
  • 온보드 보정 데이터를 사용하여 플러그 앤 플레이 센서 요소를 교체하기 쉬움 - 높은 재현성과 낮은 소유 비용 보장
  • 선택 가능한 출력 신호 및 다양한 플러그 버전으로 손쉬운 통합
  • 모든 방향 장착 가능 - 공구 설계에서 자유로운 엔지니어링 제공
  • 모든 버전의 진단 포트
  • 규정 준수 및 표준: CE, EN, UL, CSA, RoHS

일반적인 응용 분야

  •  초기 진공 압력 측정
  •  진공 시스템 내 안전 회로
  •  저진공부터 고진공 범위까지 일반 진공 측정 및 제어

뉴스

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  • PSG55x_Massbilder Varianten.png

사양

유형 PSG550 Tungsten PSG552 Nickel PSG554 ceramic coated
측정 범위 5×10-5 … 1000 5×10-5 … 1000 5×10-5 … 1000
정확성(N2)      
5×10-4 … 1×10-3mbar % of reading ±50 ±50 ±50
1×10-3 … 100mbar % of reading ±15 ±15 ±15
100 … 1,000mbar % of reading ±50 ±50 ±50
반복성(N2)      
1×10-3 … 100mbar % of reading ±2 ±2 ±2
허용 압력 bar (absolute) ≤5 ≤5 ≤5
최대 압력 bar (absolute) 10 10 10
허용 온도      
작동(주변) °C +10 … +50 +10 … +50 +10 … +50
보관 °C -20 … +65 -20 … +65 -20 … +65
플랜지에서 베이크 아웃 °C ≤80 ≤80 ≤80
플랜지 긴 튜브에서 베이크 아웃 °C ≤250 ≤250 ≤250
공급 전압 V (dc) +15 … +30 +15 … +30 +15 … +30
전력 소모량      
필드버스 없음 W ≤2.5 ≤2.5 ≤2.5
디바이스넷 W ≤3 ≤3 ≤3
Profibus W ≤3 ≤3 ≤3
출력신호 아날로그 3PIx-0xx-xxx0 V 0 … +10 0 … +10 0 … +10
출력신호 아날로그 3PIx-0xx-xxx1 V 0 … +8.5 0 … +8.5 0 … +8.5
출력신호 아날로그 3PIx-0xx-xxx2 V 0 … +5.529 0 … +5.529 0 … +5.529
출력신호 아날로그 3PIx-0xx-xxx3 V 0 … +8.875 0 … +8.875 0 … +8.875
측정 범위 3PIx-0xx-xxx0 V +0.61 … +10 +0.61 … +10 +0.61 … +10
측정 범위 3PIx-0xx-xxx1 V +1.2 … +8.5 +1.2 … +8.5 +1.2 … +8.5
측정 범위 3PIx-0xx-xxx2 V +0.375 … +5.529 +0.375 … +5.529 +0.375 … +5.529
측정 범위 3PIx-0xx-xxx3 V +1.57 … +8.875 +1.57 … +8.875 +1.57 … +8.875
전압 대 압력      
3PIx-0xx-xxx0 volts per decade 1.286 1.286 1.286
3PIx-0xx-xxx1 / -xxx2 / -xxx3 volts per decade 1 1 1
부하 임피던스 kΩ >10 >10 >10
셋포인트 릴레이      
셋포인트 개수 2 2 2
범위(N2) mbar 5×10-5 … 1000 5×10-5 … 1000 5×10-5 … 1000
릴레이 접점 n.o., potential free n.o., potential free n.o., potential free
히스테리시스 % of threshold 10 10 10
접점 정격 솔리드 스테이트 릴레이 ≤30 ≤30 ≤30
접점 정격 기계식 릴레이 ≤30 ≤30 ≤30
스위칭 시간 ms ≤30 ≤30 ≤30
인터페이스(디지털) RS232C RS232C RS232C
전기 연결      
3PIx-0xx-x0xx FCC, 8-pin FCC, 8-pin FCC, 8-pin
3PIx-0xx-x1xx D-Sub, 9-pin, male D-Sub, 9-pin, male D-Sub, 9-pin, male
3PIx-0xx-x2xx D-Sub, 15-pin HD, male D-Sub, 15-pin HD, male D-Sub, 15-pin HD, male
3PIx-0xx-x4xx D-Sub, 15-pin HD, with RS485, male D-Sub, 15-pin HD, with RS485, male D-Sub, 15-pin HD, with RS485, male
케이블 길이 m (ft.) ≤100 (≤330) ≤100 (≤330) ≤100 (≤330)
RS232C 작동 m (ft.) ≤30 (≤100) ≤30 (≤100) ≤30 (≤100)
진공에 노출된 재료 W, Ni, NiFe, glass, SnAg, stainless steel Ni, NiFe, glass, SnAg, stainless steel Al2O3, stainless steel
내부 용적      
DN 16 ISO-KF cm³ 4.7 4.7 4.7
DN 16 ISO-KF 긴 튜브 cm³ 14.5 14.5 14.5
DN 16 CF-F cm³ 8 8 8
DN 16 CF-R 긴 튜브 cm³ 14 14 14
DN 25 ISO-KF, 4 VCR cm³ 5.5 5.5 5.5
8 VCR cm³ 7 7 7
1/8" NPT, 7/16-20 UNF cm³ 5.2 5.2 5.2
표면 장착 29mm/1.15" cm³ 4.9 4.9 4.9
4 VCR 90° cm³ 7.9 7.9 7.9
무게      
필드버스 인터페이스 없음 g 115 … 130 115 … 130 115 … 130
fieldbus 인터페이스 있음 g 230 … 250 230 … 250 230 … 250
보호 수준 IP 40 IP 40 IP 40
표준      
CE 준수 EN 61000-6-2/-6-3, EN 61010 EN 61000-6-2/-6-3, EN 61010 EN 61000-6-2/-6-3, EN 61010
ETL 인증 UL 61010-1, CSA 22.2 No.61010-1 UL 61010-1, CSA 22.2 No.61010-1 UL 61010-1, CSA 22.2 No.61010-1
디바이스넷      
프로토콜 DeviceNet™, group 2 slave only DeviceNet™, group 2 slave only DeviceNet™, group 2 slave only
데이터 속도 스위치 kBaud 125, 250, 500 or network programmable 125, 250, 500 or network programmable 125, 250, 500 or network programmable
케이블 길이 125kbps m (ft.) 500 (1650) 500 (1650) 500 (1650)
케이블 길이 250kbps m (ft.) 250 (825) 250 (825) 250 (825)
케이블 길이 500kbps m (ft.) 100 (330) 100 (330) 100 (330)
MAC ID 2 switches (address 00 - 63) or network programmable 2 switches (address 00 - 63) or network programmable 2 switches (address 00 - 63) or network programmable
디지털 기능 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error
사양 DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
장치 유형 ''CG'' for combination gauge ''CG'' for combination gauge ''CG'' for combination gauge
I/O 슬레이브 메시징 polling only polling only polling only
디바이스넷 3PI6-/3PI7-/3PI8-0xx-xxxx의 공급 전압 V (dc) +15 … +30 +15 … +30 +15 … +30
전원 소모량 3PI6-/3PI7-/3PI8-0xx-xxxx W ≤3 ≤3 ≤3
디바이스넷 커넥터 Micro-Style, 5-pin, male Micro-Style, 5-pin, male Micro-Style, 5-pin, male
Profibus DP      
전송 속도 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
주소 2 switches (address 00 - 127) or network programmable 2 switches (address 00 - 127) or network programmable 2 switches (address 00 - 127) or network programmable
디지털 기능 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error
Profibus DP 커넥터 D-Sub, 9-pin, female D-Sub, 9-pin, female D-Sub, 9-pin, female
RS485C      
전송 속도 kBaud 9.6 / 19.2 / 38.4 /57.6 9.6 / 19.2 / 38.4 /57.6 9.6 / 19.2 / 38.4 /57.6
주소 2 switches (address 00 - 255) 2 switches (address 00 - 255) 2 switches (address 00 - 255)
디지털 기능 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error
RS485 커넥터 D-Sub, 15-pin HD, male D-Sub, 15-pin HD, male D-Sub, 15-pin HD, male
EtherCAT      
프로토콜 EtherCAT protocol specialized for EtherCAT protocol specialized for EtherCAT protocol specialized for EtherCAT
통신 표준 ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device Profile ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device Profile ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device Profile ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge
노드 주소 Explicit Device Identification Explicit Device Identification Explicit Device Identification
물리적 레이어 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 100BASE-Tx (IEEE 802.3)
EtherCAT 커넥터 2 x RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT 2 x RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT 2 x RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
케이블 shielded Ethernet CAT5e or higher shielded Ethernet CAT5e or higher shielded Ethernet CAT5e or higher
케이블 길이 m (ft.) ≤100 (330) ≤100 (330) ≤100 (330)
프로세스 데이터 Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
사서함(CoE) SDO requests, responses and information SDO requests, responses and information SDO requests, responses and information
PSG55x_Ordering Information

부속품

PSG550 Tungsten
부품 번호 설명
211-001 CLAMPING RING DN 10-16 ISO-KF
211-097 Centering ring with fine filter DN 16 KF
303-333 Diagnostic cable 1.9m (P3)
PSG552 Nickel
부품 번호 설명
211-001 CLAMPING RING DN 10-16 ISO-KF
211-097 Centering ring with fine filter DN 16 KF
303-333 Diagnostic cable 1.9m (P3)
PSG554 ceramic coated
부품 번호 설명
211-001 CLAMPING RING DN 10-16 ISO-KF
211-097 Centering ring with fine filter DN 16 KF
303-333 Diagnostic cable 1.9m (P3)

예비 부품

PSG550 Tungsten
부품 번호 설명
355-925 PSG550 Ersatzsensor, DN16ISO-KF
355-926 PSG550 Ersatzsensor, DN16ISO-KF, long
355-927 PSG550 Ersatzsensor, DN16CF-F
355-928 PSG550 Ersatzsensor, DN16CF-R, long
355-929 PSG550 Ersatzsensor, DN25ISO-KF
355-930 PSG550 Ersatzsensor, 1/8" NPT
355-931 PSG550 Ersatzsensor, 8-VCR
355-932 PSG550 Ersatzsensor, 4-VCR
355-933 PSG550 Ersatzsensor, 7/16-20 UNF
355-934 PSG550 Ersatzsensor, 29x29mm
355-935 PSG550 Ersatzsensor, 4-VCR / 90°
PSG552 Nickel
부품 번호 설명
355-936 PSG552 Ersatzsensor, DN16ISO-KF
355-937 PSG552 Ersatzsensor, DN16ISO-KF, long
355-938 PSG552 Ersatzsensor, DN16CF-F
355-939 PSG552 Ersatzsensor, DN16CF-R, long
355-940 PSG552 Ersatzsensor, DN25ISO-KF
355-941 PSG552 Ersatzsensor, 1/8" NPT
355-942 PSG552 Ersatzsensor, 8-VCR
355-943 PSG552 Ersatzsensor, 4-VCR
355-944 PSG552 Ersatzsensor, 7/16-20 UNF
355-945 PSG552 Ersatzsensor, 29x29mm
355-946 PSG552 Ersatzsensor, 4-VCR / 90°
PSG554 ceramic coated
부품 번호 설명
355-947 PSG554 Ersatzsensor, DN16ISO-KF
355-948 PSG554 Ersatzsensor, DN16ISO-KF, long
355-949 PSG554 Ersatzsensor, DN16CF-F
355-950 PSG554 Ersatzsensor, DN16CF-R, long
355-951 PSG554 Ersatzsensor, DN25ISO-KF
355-952 PSG554 Ersatzsensor, 1/8" NPT
355-953 PSG554 Ersatzsensor, 8-VCR
355-954 PSG554 Ersatzsensor, 4-VCR
355-955 PSG554 Ersatzsensor, 7/16-20 UNF
355-956 PSG554 Ersatzsensor, 29x29mm
355-957 PSG554 Ersatzsensor, 4-VCR / 90°

데이터시트

브로슈어

설명서

3D Step Files

기타 파일

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