PSG55x ATM~중간진공 게이지

 

INFICON 피라니 표준 게이지(PSG55x)는 자매 제품인 PCG55x 및 PSG50x 등 최신 디지털 피라니 기술이 적용되어 있습니다. 초소형 크기와 다양한 기능이 결합된 견고한 센서 디자인은 저진공에서 고진공 범위까지 측정하기에 알맞은 제품입니다.

장점

  • 1:1 compatible with TTR 911 and TTR 916 Pirani Transmitters Series
  • 텅스텐(PSG550) 또는 니켈(PSG552) 필라멘트 옵션 및 부식성이 강한 분야를 위한 완전 세라믹 코팅(PSG554) 필라멘트 옵션
  • 디스플레이, 셋포인트 및 디지털 인터페이스 옵션
  • 온보드 보정 데이터와 함께 플러그 앤 플레이 센서 엘리먼트를 교환하기 쉽기 때문에 높은 재현성과 낮은 소유 비용을 보장합니다.
  • 간단한 통합을 위해 선택 가능한 출력신호 및 다양한 플러그 버전
  • 모든 방향으로 장착 - 장비 설계시 자유롭게 적용
  • 모든 버전에 진단 포트
  • 준수 및 표준: CE, EN, UL, CSA, RoHS

일반적인 응용 분야

  •  Fore 진공 압력 측정
  •  진공 시스템 내 안전 회로
  •  저진공 범위 및 고진공 범위에서 일반적인 진공 측정 및 제어

뉴스

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  • tiba42e1 Massbild mit EtherCAT und Stecker.png

사양

유형 PSG550 Tungsten PSG552 Nickel PSG554 ceramic coated
측정 범위 5×10-5 … 1000 5×10-5 … 1000 5×10-5 … 1000
정확성(N2)      
5×10-4 … 1×10-3mbar % of reading ±50 ±50 ±50
1×10-3 … 100mbar % of reading ±15 ±15 ±15
100 … 1,000mbar % of reading ±50 ±50 ±50
반복성(N2)      
1×10-3 … 100mbar % of reading ±2 ±2 ±2
허용 압력 bar (absolute) ≤5 ≤5 ≤5
최대 압력 bar (absolute) 10 10 10
허용 온도      
작동(주변) °C +10 … +50 +10 … +50 +10 … +50
보관 °C -20 … +65 -20 … +65 -20 … +65
플랜지에서 베이크 아웃 °C ≤80 ≤80 ≤80
플랜지 긴 튜브에서 베이크 아웃 °C ≤250 ≤250 ≤250
공급 전압 V (dc) +15 … +30 +15 … +30 +15 … +30
전력 소모량      
필드버스 없음 W ≤2.5 ≤2.5 ≤2.5
디바이스넷 W ≤3 ≤3 ≤3
Profibus W ≤3 ≤3 ≤3
출력신호 아날로그 3PIx-0xx-xxx0 V 0 … +10 0 … +10 0 … +10
출력신호 아날로그 3PIx-0xx-xxx1 V 0 … +8.5 0 … +8.5 0 … +8.5
출력신호 아날로그 3PIx-0xx-xxx2 V 0 … +5.529 0 … +5.529 0 … +5.529
출력신호 아날로그 3PIx-0xx-xxx3 V 0 … +8.875 0 … +8.875 0 … +8.875
측정 범위 3PIx-0xx-xxx0 V +0.61 … +10 +0.61 … +10 +0.61 … +10
측정 범위 3PIx-0xx-xxx1 V +1.2 … +8.5 +1.2 … +8.5 +1.2 … +8.5
측정 범위 3PIx-0xx-xxx2 V +0.375 … +5.529 +0.375 … +5.529 +0.375 … +5.529
측정 범위 3PIx-0xx-xxx3 V +1.57 … +8.875 +1.57 … +8.875 +1.57 … +8.875
전압 대 압력      
3PIx-0xx-xxx0 volts per decade 1.286 1.286 1.286
3PIx-0xx-xxx1 / -xxx2 / -xxx3 volts per decade 1 1 1
부하 임피던스 kΩ >10 >10 >10
셋포인트 릴레이      
셋포인트 개수 2 2 2
범위(N2) mbar 5×10-5 … 1000 5×10-5 … 1000 5×10-5 … 1000
릴레이 접점 n.o., potential free n.o., potential free n.o., potential free
히스테리시스 % of threshold 10 10 10
접점 정격 솔리드 스테이트 릴레이 ≤30 ≤30 ≤30
접점 정격 기계식 릴레이 ≤30 ≤30 ≤30
스위칭 시간 ms ≤30 ≤30 ≤30
인터페이스(디지털) RS232C RS232C RS232C
전기 연결      
3PIx-0xx-x0xx FCC, 8-pin FCC, 8-pin FCC, 8-pin
3PIx-0xx-x1xx D-Sub, 9-pin, male D-Sub, 9-pin, male D-Sub, 9-pin, male
3PIx-0xx-x2xx D-Sub, 15-pin HD, male D-Sub, 15-pin HD, male D-Sub, 15-pin HD, male
3PIx-0xx-x4xx D-Sub, 15-pin HD, with RS485, male D-Sub, 15-pin HD, with RS485, male D-Sub, 15-pin HD, with RS485, male
케이블 길이 m (ft.) ≤100 (≤330) ≤100 (≤330) ≤100 (≤330)
RS232C 작동 m (ft.) ≤30 (≤100) ≤30 (≤100) ≤30 (≤100)
진공에 노출된 재료 W, Ni, NiFe, glass, SnAg, stainless steel Ni, NiFe, glass, SnAg, stainless steel Al2O3, stainless steel
내부 용적      
DN 16 ISO-KF cm³ 4.7 4.7 4.7
DN 16 ISO-KF 긴 튜브 cm³ 14.5 14.5 14.5
DN 16 CF-F cm³ 8 8 8
DN 16 CF-R 긴 튜브 cm³ 14 14 14
DN 25 ISO-KF, 4 VCR cm³ 5.5 5.5 5.5
8 VCR cm³ 7 7 7
1/8" NPT, 7/16-20 UNF cm³ 5.2 5.2 5.2
표면 장착 29mm/1.15" cm³ 4.9 4.9 4.9
4 VCR 90° cm³ 7.9 7.9 7.9
무게      
필드버스 인터페이스 없음 g 115 … 130 115 … 130 115 … 130
fieldbus 인터페이스 있음 g 230 … 250 230 … 250 230 … 250
보호 수준 IP 40 IP 40 IP 40
표준      
CE 준수 EN 61000-6-2/-6-3, EN 61010 EN 61000-6-2/-6-3, EN 61010 EN 61000-6-2/-6-3, EN 61010
ETL 인증 UL 61010-1, CSA 22.2 No.61010-1 UL 61010-1, CSA 22.2 No.61010-1 UL 61010-1, CSA 22.2 No.61010-1
디바이스넷      
프로토콜 DeviceNet™, group 2 slave only DeviceNet™, group 2 slave only DeviceNet™, group 2 slave only
데이터 속도 스위치 kBaud 125, 250, 500 or network programmable 125, 250, 500 or network programmable 125, 250, 500 or network programmable
케이블 길이 125kbps m (ft.) 500 (1650) 500 (1650) 500 (1650)
케이블 길이 250kbps m (ft.) 250 (825) 250 (825) 250 (825)
케이블 길이 500kbps m (ft.) 100 (330) 100 (330) 100 (330)
MAC ID 2 switches (address 00 - 63) or network programmable 2 switches (address 00 - 63) or network programmable 2 switches (address 00 - 63) or network programmable
디지털 기능 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error
사양 DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
장치 유형 ''CG'' for combination gauge ''CG'' for combination gauge ''CG'' for combination gauge
I/O 슬레이브 메시징 polling only polling only polling only
디바이스넷 3PI6-/3PI7-/3PI8-0xx-xxxx의 공급 전압 V (dc) +15 … +30 +15 … +30 +15 … +30
전원 소모량 3PI6-/3PI7-/3PI8-0xx-xxxx W ≤3 ≤3 ≤3
디바이스넷 커넥터 Micro-Style, 5-pin, male Micro-Style, 5-pin, male Micro-Style, 5-pin, male
Profibus DP      
전송 속도 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
주소 2 switches (address 00 - 127) or network programmable 2 switches (address 00 - 127) or network programmable 2 switches (address 00 - 127) or network programmable
디지털 기능 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error
Profibus DP 커넥터 D-Sub, 9-pin, female D-Sub, 9-pin, female D-Sub, 9-pin, female
RS485C      
전송 속도 kBaud 9.6 / 19.2 / 38.4 /57.6 9.6 / 19.2 / 38.4 /57.6 9.6 / 19.2 / 38.4 /57.6
주소 2 switches (address 00 - 255) 2 switches (address 00 - 255) 2 switches (address 00 - 255)
디지털 기능 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error
RS485 커넥터 D-Sub, 15-pin HD, male D-Sub, 15-pin HD, male D-Sub, 15-pin HD, male
EtherCAT      
프로토콜 EtherCAT protocol specialized for EtherCAT protocol specialized for EtherCAT protocol specialized for EtherCAT
통신 표준 ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge" ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge" ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"
노드 주소 Explicit Device Identification Explicit Device Identification Explicit Device Identification
물리적 레이어 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 100BASE-Tx (IEEE 802.3)
EtherCAT 커넥터 RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
케이블 shielded Ethernet CAT5e or higher shielded Ethernet CAT5e or higher shielded Ethernet CAT5e or higher
케이블 길이 m (ft.) ≤100 (330) ≤100 (330) ≤100 (330)
프로세스 데이터 Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
사서함(CoE) SDO requests, responses and information SDO requests, responses and information SDO requests, responses and information

부품 번호

PSG550 Tungsten
부품 번호 설명
3PI1-001-0000 PSG550 FCC,16KF
3PI1-001-1000 PSG550 FCC,LCD,16KF
3PI1-001-2010 PSG550 FCC,2SP,DNet,16KF
3PI1-001-2020 PSG550 FCC,2SP,PBus,16KF
355-925 PSG550 Ersatzsensor, DN16ISO-KF
PSG552 Nickel
부품 번호 설명
3PI2-001-1000 PSG552 FCC,LCD,16KF
3PI2-001-2020 PSG552 FCC,2SP,PBus,16KF
355-936 PSG552 Ersatzsensor, DN16ISO-KF
PSG554 ceramic coated
부품 번호 설명
3PI3-001-0000 PSG554 FCC,16KF
3PI3-001-2000 PSG554 FCC,2SP,16KF
3PI3-001-2020 PSG554 FCC,2SP,PBus,16KF
355-947 PSG554 Ersatzsensor, DN16ISO-KF

부속품

PSG550 Tungsten
부품 번호 설명
211-001 CLAMPING RING DN 10-16 ISO-KF
211-097 Centering ring with fine filter DN 16 KF
303-333 Diagnostic cable 1.9m (P3)
PSG552 Nickel
부품 번호 설명
211-001 CLAMPING RING DN 10-16 ISO-KF
211-097 Centering ring with fine filter DN 16 KF
303-333 Diagnostic cable 1.9m (P3)
PSG554 ceramic coated
부품 번호 설명
211-001 CLAMPING RING DN 10-16 ISO-KF
211-097 Centering ring with fine filter DN 16 KF
303-333 Diagnostic cable 1.9m (P3)

데이터시트

브로슈어

설명서

3D Step Files

기타 파일

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