PSG5xx ATM~중간진공 게이지

 

INFICON 피라니 표준 게이지 PSG500, PSG502-S, PSG510-S 및 PSG512-S에는 시장에서 사용 중인 최신 디지털 피라니 기술이 적용되어 있습니다. 견고한 스테인리스강 센서 셀 및 컴팩트한 디자인은 반도체 시스템 및 전방 진공 라인과 같은 표준 분야 사용에 적합합니다.

장점

  • 1:1 compatible to TTR 91 and TTR 96 Pirani Transmitter Series
  • 간단한 푸시 버튼 ATM 및 HV 조정
  • 견고한 공간 절약형 디자인
  • 알루미늄 하우징
  • 모든 방향으로 장착
  • 금속 씰링 피드스루가 있는 SUS 측정 셀
  • 통합 용이성을 지원하는 로그 신호 출력
  • 나사산 연결부가 있는 10bar 절대 과압
  • 250°C 베이크 가능 버전
  • 부식성 공정을 위한 니켈 필라멘트 옵션
  • 극도로 부식성이 강한 분야에 적합한 세라믹 피드스루(PSG510 및 PSG512)
  • 셋포인트 옵션
  • RoHS 준수

일반적인 응용 분야

  • 고진공 이온화 게이지 제어
  • Fore 진공 압력 모니터링
  • 진공 시스템 내 안전 회로
  • 미세 범위 및 러프 진공 범위에서 일반적인 진공 측정 및 제어

뉴스

PSG500 / PSG502 Gauge series is compatible with TTR 91/ TTR 96 Vacuum Transmitters
  • tiba29e1 Massbild.gif

사양

유형 PSG500 tungsten PSG500-S tungsten, setpoints PSG502-S nickel, setpoints
측정 원리 thermal conductance according to Pirani thermal conductance according to Pirani thermal conductance according to Pirani
정확성(N2)      
1 x 10-3 … 100mbar % of reading ±15% ±15% ±15%
5 x 10-4 … 1 x 10-3mbar % of reading ±50% ±50% ±50%
100 … 1,000mbar % of reading ±50% ±50% ±50%
반복성(공기)      
1 x 10-3 … 100mbar % of reading 2% 2% 2%
출력신호(측정 신호)      
전압 범위 V 0 … +10.3 0 … +10.3 0 … +10.3
측정 범위 V +1.9 … +10.0 +1.9 … +10.0 +1.9 … +10.0
측정 범위(공기, 02, CO, N2) mbar 5 x 10-4 to 1000 5 x 10-4 to 1000 5 x 10-4 to 1000
셋포인트      
셋포인트 개수 none 2 2
설정 범위 mbar 2 x 10-3 … 500 2 x 10-3 … 500
히스테리시스 % of reading 10% above lower threshold 10% above lower threshold
릴레이 접점 30 30
릴레이 접점: 스위칭 시간 ms <20 <20
공급 전압      
게이지 V (dc) +14 …+30 +14 …+30 +14 …+30
리플 V (p-p) ≤1 ≤1 ≤1
전압 대 압력 logarithmic 1.286 Volts per decade logarithmic 1.286 Volts per decade logarithmic 1.286 Volts per decade
내부 용적      
DN 16 ISO-KF, DN 16 CF-R, 7/16-20 UNF cm³ (in.³) 1.5 (0.092) 1.5 (0.092) 1.5 (0.092)
DN 16 ISO-KF 및 DN 16 CF-R 긴 튜브 cm³ (in.³) 10 (0.61) 10 (0.61) 10 (0.61)
1/8" NPT, 4 VCR, 8 VCR, 1/2" 튜브 cm³ (in.³) 2 (0.122) 2 (0.122) 2 (0.122)
허용 온도      
작동 °C +5 … +60 +5 … +60 +5 … +60
진공 연결 (1) °C 80 / 250 (2) 80 / 250 (2) 80 / 250 (2)
보관 °C -20 … +65 -20 … +65 -20 … +65
무게      
DN 16 ISO-KF, 7/16-20 UNF g 80 80 80
DN 16 CF-R, 4 VCR g 100 100 100
1/8" NPT, 1/2" 튜브 g 70 70 70
8 VCR, DN 16 ISO-KF 긴 튜브 g 130 130 130
DN 16 CF-R 긴 튜브 g 140 140 140
에러 신호 V 0 … +0.5 (filament rupture) 0 … +0.5 (filament rupture) 0 … +0.5 (filament rupture)
출력 임피던스 2 x 4.7 2 x 4.7 2 x 4.7
최소 부하시 임피던스 kΩ 10, short-circuit proof 10, short-circuit proof 10, short-circuit proof
응답 시간 ms 80 80 80
게이지 식별 kΩ 27.0, referenced to supply common 27.0, referenced to supply common 27.0, referenced to supply common
조정 one tactile switch for ATM and HV adjustment one tactile switch for ATM and HV adjustment one tactile switch for ATM and HV adjustment
전류 소모량 mA <500 (max. starting current) <500 (max. starting current) <500 (max. starting current)
전력 소모량 W ≤1 ≤1 ≤1
전기 연결 FCC 68 / RJ45 appliance connector, 8 poles, male FCC 68 / RJ45 appliance connector, 8 poles, male FCC 68 / RJ45 appliance connector, 8 poles, male
센서 케이블 8 poles plus shielding 8 poles plus shielding 8 poles plus shielding
케이블 길이 m ≤100 (8 x 0.14 mm2) ≤100 (8 x 0.14 mm2) ≤100 (8 x 0.14 mm2)
진공에 노출된 재료 glass, Ni, NiFe, DIN 1.4301 / 1.4305 / 1.4435 glass, Ni, NiFe, DIN 1.4301 / 1.4305 / 1.4435 glass, Ni, NiFe, DIN 1.4301 / 1.4305 / 1.4435
필라멘트 W W Ni
허용 압력 bar (absolute) 10, limited to inert gases 10, limited to inert gases 10, limited to inert gases
장착 방향 any any any
보호 수준 IP40 IP40 IP40

(1) 수평 장착 방향

(2) 긴 튜브

부품 번호

PSG500 tungsten
부품 번호 설명
350-060 PSG500 DN 16 ISO-KF
350-061 PSG500 1/8" NPT
350-062 PSG500 DN 16 CF-R
350-068 PSG500 DN 16 CF-R, ext. body
350-920 PSG500 SPARE SENSOR DN 16 KF
350-921 PSG500 Spare Sensor 1/8" NPT
350-922 PSG500 Spare Sensor DN 16 CF-R
350-928 PSG500 Spare Sensor DN 16 CF-R,ext.body
PSG500-S tungsten, setpoints
부품 번호 설명
350-080 PSG500-S DN 16 ISO-KF
350-081 PSG500-S 1/8" NPT
350-087 PSG500-S DN 16 ISO-KF, ext. body
350-920 PSG500 SPARE SENSOR DN 16 KF
350-921 PSG500 Spare Sensor 1/8" NPT
350-922 PSG500 Spare Sensor DN 16 CF-R
350-928 PSG500 Spare Sensor DN 16 CF-R,ext.body
PSG502-S nickel, setpoints
부품 번호 설명
350-140 PSG502-S DN 16 ISO-KF
350-144 PSG502-S 8-VCR (1/2")
350-148 PSG502-S DN 16 CF-R, EXT. BODY
350-900 PSG502 SPARE SENSOR DN 16 KF
350-901 PSG502 Spare Sensor 1/8" NPT
350-902 PSG502 Spare Sensor DN 16 CF-R

부속품

PSG500 tungsten
부품 번호 설명
211-001 CLAMPING RING DN 10-16 ISO-KF
PSG500-S tungsten, setpoints
부품 번호 설명
211-001 CLAMPING RING DN 10-16 ISO-KF
PSG502-S nickel, setpoints
부품 번호 설명
211-001 CLAMPING RING DN 10-16 ISO-KF

데이터시트

브로슈어

설명서

3D Step Files

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