PSG5xx ATM~중간진공 게이지

 

INFICON 피라니 표준 게이지인 PSG500, PSG502-S, PSG510-S, PSG512-S에는 시장에서 제공되는 최첨단 디지털 피라니 기술이 적용되어 있습니다. 견고한 스테인리스 스틸 센서 셀 및 소형 디자인 덕분에 반도체 시스템에 사용하거나 전면 진공 라인 등의 표준 적용개소에 사용하기에 적합합니다.

장점

  • 간단한 푸시 버튼 ATM 및 HV 조정
  • 공간 절약형의 견고한 디자인
  • 알루미늄 하우징
  • 모든 방향으로 장착 가능
  • 금속 씰링 피드스루가 있는 스테인레스강 측정 셀
  • 로그 신호 출력으로 손쉬운 통합
  • 나사산 연결부가 있는 10 bar 절대 과압
  • 250°C 베이크 가능 버전
  • 부식성 분야를 위한 니켈 필라멘트 옵션
  • 부식성이 매우 강한 분야에 적합한 세라믹 피드스루(PSG510 및 PSG512)
  • 셋포인트 옵션
  • RoHS 준수

일반적인 응용 분야

  • 고진공 이온화 게이지 제어
  • 초기 진공 압력 모니터링
  • 진공 시스템 내 안전 회로
  • 미세 진공부터 일차 진공 범위까지 일반 진공 측정 및 제어
  • tiba29e1 Massbild.gif

사양

유형 PSG500 tungsten PSG500-S tungsten, setpoints PSG502-S nickel, setpoints PSG510-S tungsten, setpoints, ceramic feedthroughs PSG512-S nickel, setpoints, ceramic feedthroughs
측정 원리 thermal conductance according to Pirani thermal conductance according to Pirani thermal conductance according to Pirani thermal conductance according to Pirani thermal conductance according to Pirani
정확성(N2)          
1 x 10-3 … 100mbar % of reading ±15% ±15% ±15% ±15% ±15%
5 x 10-4 … 1 x 10-3mbar % of reading ±50% ±50% ±50% ±50% ±50%
100 … 1,000mbar % of reading ±50% ±50% ±50% ±50% ±50%
반복성(공기)          
1 x 10-3 … 100mbar % of reading 2% 2% 2% 2% 2%
출력신호(측정 신호)          
전압 범위 V 0 … +10.3 0 … +10.3 0 … +10.3 0 … +10.3 0 … +10.3
측정 범위 V +1.9 … +10.0 +1.9 … +10.0 +1.9 … +10.0 +1.9 … +10.0 +1.9 … +10.0
측정 범위(공기, 02, CO, N2) mbar 5 x 10-4 to 1000 5 x 10-4 to 1000 5 x 10-4 to 1000 5 x 10-4 to 1000 5 x 10-4 to 1000
셋포인트          
셋포인트 개수 none 2 2 2 2
설정 범위 mbar 2 x 10-3 … 500 2 x 10-3 … 500 2 x 10-3 … 500 2 x 10-3 … 500
히스테리시스 % of reading 10% above lower threshold 10% above lower threshold 10% above lower threshold 10% above lower threshold
릴레이 접점 30 30 30 30
릴레이 접점: 스위칭 시간 ms <20 <20 <20 <20
공급 전압          
게이지 V (dc) +14 …+30 +14 …+30 +14 …+30 +14 …+30 +14 …+30
리플 V (p-p) ≤1 ≤1 ≤1 ≤1 ≤1
전압 대 압력 logarithmic 1.286 Volts per decade logarithmic 1.286 Volts per decade logarithmic 1.286 Volts per decade logarithmic 1.286 Volts per decade logarithmic 1.286 Volts per decade
내부 용적          
DN 16 ISO-KF, DN 16 CF-R, 7/16-20 UNF cm³ (in.³) 1.5 (0.092) 1.5 (0.092) 1.5 (0.092) 1.5 (0.092) 1.5 (0.092)
DN 16 ISO-KF 및 DN 16 CF-R 긴 튜브 cm³ (in.³) 10 (0.61) 10 (0.61) 10 (0.61) 10 (0.61) 10 (0.61)
1/8" NPT, 4 VCR, 8 VCR, 1/2" 튜브 cm³ (in.³) 2 (0.122) 2 (0.122) 2 (0.122) 2 (0.122) 2 (0.122)
허용 온도          
작동 °C +5 … +60 +5 … +60 +5 … +60 +5 … +60 +5 … +60
진공 연결 (1) °C 80 / 250 (2) 80 / 250 (2) 80 / 250 (2) 80 / 250 (2) 80 / 250 (2)
보관 °C -20 … +65 -20 … +65 -20 … +65 -20 … +65 -20 … +65
무게          
DN 16 ISO-KF, 7/16-20 UNF g 80 80 80 80 80
DN 16 CF-R, 4 VCR g 100 100 100 100 100
1/8" NPT, 1/2" 튜브 g 70 70 70 70 70
8 VCR, DN 16 ISO-KF 긴 튜브 g 130 130 130 130 130
DN 16 CF-R 긴 튜브 g 140 140 140 140 140
에러 신호 V 0 … +0.5 (filament rupture) 0 … +0.5 (filament rupture) 0 … +0.5 (filament rupture) 0 … +0.5 (filament rupture) 0 … +0.5 (filament rupture)
출력 임피던스 2 x 4.7 2 x 4.7 2 x 4.7 2 x 4.7 2 x 4.7
최소 부하시 임피던스 kΩ 10, short-circuit proof 10, short-circuit proof 10, short-circuit proof 10, short-circuit proof 10, short-circuit proof
응답 시간 ms 80 80 80 80 80
게이지 식별 kΩ 27.0, referenced to supply common 27.0, referenced to supply common 27.0, referenced to supply common 27.0, referenced to supply common 27.0, referenced to supply common
조정 one tactile switch for ATM and HV adjustment one tactile switch for ATM and HV adjustment one tactile switch for ATM and HV adjustment one tactile switch for ATM and HV adjustment one tactile switch for ATM and HV adjustment
전류 소모량 mA <500 (max. starting current) <500 (max. starting current) <500 (max. starting current) <500 (max. starting current) <500 (max. starting current)
전력 소모량 W ≤1 ≤1 ≤1 ≤1 ≤1
전기 연결 FCC 68 / RJ45 appliance connector, 8 poles, male FCC 68 / RJ45 appliance connector, 8 poles, male FCC 68 / RJ45 appliance connector, 8 poles, male FCC 68 / RJ45 appliance connector, 8 poles, male FCC 68 / RJ45 appliance connector, 8 poles, male
센서 케이블 8 poles plus shielding 8 poles plus shielding 8 poles plus shielding 8 poles plus shielding 8 poles plus shielding
케이블 길이 m ≤100 (8 x 0.14 mm2) ≤100 (8 x 0.14 mm2) ≤100 (8 x 0.14 mm2) ≤100 (8 x 0.14 mm2) ≤100 (8 x 0.14 mm2)
진공에 노출된 재료 glass, Ni, NiFe, DIN 1.4301 / 1.4305 / 1.4435 glass, Ni, NiFe, DIN 1.4301 / 1.4305 / 1.4435 glass, Ni, NiFe, DIN 1.4301 / 1.4305 / 1.4435 AI2O3, Ni, DIN 1.3981 / 1.4305 / 1.4435 AI2O3, Ni, DIN 1.3981 / 1.4305 / 1.4435
필라멘트 W W Ni W Ni
허용 압력 bar (absolute) 10, limited to inert gases 10, limited to inert gases 10, limited to inert gases 10, limited to inert gases 10, limited to inert gases
장착 방향 any any any any any
보호 수준 IP40 IP40 IP40 IP40 IP40

(1) 수평 장착 방향에서

(2) 긴 튜브

부품 번호

PSG500 tungsten
부품 번호 설명
350-060 PSG500 DN 16 ISO-KF
350-061 PSG500 1/8" NPT
350-062 PSG500 DN 16 CF-R
350-063 PSG500 1/2" Tube
350-064 PSG500 8-VCR (1/2")
350-065 PSG500 4-VCR (1/4")
350-066 PSG500 7/16-20 UNF
350-067 PSG500 DN 16 ISO-KF, ext. body
350-068 PSG500 DN 16 CF-R, ext. body
PSG500-S tungsten, setpoints
부품 번호 설명
350-080 PSG500-S DN 16 ISO-KF
350-081 PSG500-S 1/8" NPT
350-082 PSG500-S DN 16 CF-R
350-083 PSG500-S 1/2" Tube
350-084 PSG500-S 8-VCR (1/2")
350-085 PSG500-S 4-VCR (1/4")
350-086 PSG500-S 7/16-20 UNF
350-087 PSG500-S DN 16 ISO-KF, ext. body
350-088 PSG500-S DN 16 CF-R, ext. body
PSG502-S nickel, setpoints
부품 번호 설명
350-140 PSG502-S DN 16 ISO-KF
350-141 PSG502-S 1/8" NPT
350-142 PSG502-S DN 16 CF-R
350-143 PSG502-S 1/2" Tube
350-144 PSG502-S 8-VCR (1/2")
350-145 PSG502-S 4-VCR (1/4")
350-146 PSG502-S 7/16-20 UNF
350-147 PSG502-S DN 16 ISO-KF, ext. body
350-148 PSG502-S DN 16 CF-R, EXT. BODY
PSG510-S tungsten, setpoints, ceramic feedthroughs
부품 번호 설명
350-200 PSG510-S DN 16 ISO-KF
PSG512-S nickel, setpoints, ceramic feedthroughs
부품 번호 설명
350-300 PSG512-S DN 16 ISO-KF

부속품

PSG500 tungsten
부품 번호 설명
211-001 CLAMPING RING DN 10-16 ISO-KF
PSG500-S tungsten, setpoints
부품 번호 설명
211-001 CLAMPING RING DN 10-16 ISO-KF
PSG502-S nickel, setpoints
부품 번호 설명
211-001 CLAMPING RING DN 10-16 ISO-KF
PSG510-S tungsten, setpoints, ceramic feedthroughs
부품 번호 설명
211-001 CLAMPING RING DN 10-16 ISO-KF
PSG512-S nickel, setpoints, ceramic feedthroughs
부품 번호 설명
211-001 CLAMPING RING DN 10-16 ISO-KF

예비 부품

PSG500 tungsten
부품 번호 설명
350-920 PSG500 SPARE SENSOR DN 16 KF
350-921 PSG500 Spare Sensor 1/8" NPT
350-922 PSG500 Spare Sensor DN 16 CF-R
350-923 PSG500 Spare Sensor 1/2" Tube
350-924 PSG500 Spare Sensor 8-VCR (1/2")
350-925 PSG500 Spare Sensor 7/16-20 UNF
350-926 PSG500 Spare Sensor 4-VCR (1/4")
350-927 PSG500 Spare Sensor DN 16 KF,ext.body
350-928 PSG500 Spare Sensor DN 16 CF-R,ext.body
PSG500-S tungsten, setpoints
부품 번호 설명
350-920 PSG500 SPARE SENSOR DN 16 KF
350-921 PSG500 Spare Sensor 1/8" NPT
350-922 PSG500 Spare Sensor DN 16 CF-R
350-923 PSG500 Spare Sensor 1/2" Tube
350-924 PSG500 Spare Sensor 8-VCR (1/2")
350-925 PSG500 Spare Sensor 7/16-20 UNF
350-926 PSG500 Spare Sensor 4-VCR (1/4")
350-927 PSG500 Spare Sensor DN 16 KF,ext.body
350-928 PSG500 Spare Sensor DN 16 CF-R,ext.body
PSG502-S nickel, setpoints
부품 번호 설명
350-900 PSG502 SPARE SENSOR DN 16 KF
350-901 PSG502 Spare Sensor 1/8" NPT
350-902 PSG502 Spare Sensor DN 16 CF-R
350-903 PSG502 Spare Sensor 1/2" Tube
350-904 PSG502 Spare Sensor 8-VCR (1/2")
350-905 PSG502 Spare Sensor 7/16-20 UNF
350-906 PSG502 Spare Sensor 4-VCR (1/4")
350-907 PSG502 Spare Sensor DN 16 KF,ext.body
350-908 PSG502 Spare Sensor DN 16 CF-R,ext.body
PSG510-S tungsten, setpoints, ceramic feedthroughs
부품 번호 설명
350-930 PSG510 Spare Sensor DN 16 KF
PSG512-S nickel, setpoints, ceramic feedthroughs
부품 번호 설명
350-940 PSG512 Spare Sensor DN 16 KF
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