PEG100 중간~초고진공 게이지

 

INFICON 페닝 게이지 PEG100은 신뢰도가 높은 진공 측정값을 제공합니다. 견고한 페닝 냉음극 센서에는 태워질 필라멘트가 없습니다. 티타늄 음극판과 플라즈마 점화 후 감소된 고전압으로 인해 게이지는 박막증착 분야에서도 사용할 수 있습니다. 로그 아날로그 출력 신호 외에도, 필드버스 옵션이 있어서 Profibus DP 또는 DeviceNet 프로토콜을 사용하여 진공 시스템에 쉽게 통합할 수 있습니다.

장점

  • 1 x 10-9 ~ 1 x 10-2 mbar(7.5 x 10-10 ~ 7.5 x 10-3 Torr)의 광범위한 측정 범위
  • 세라믹 피드스루가 있는 순금속 냉음극 센서(페닝)
  • 혁신적인 전극 형상으로 뛰어난 점화 특성 제공
  • 플라즈마 점화 후 감소된 고전압과 티타늄 음극 플레이트는 아르곤을 통한 스퍼터링 작업 동안에도 오염 위험을 감소시킴
  • 애노드 링 및 티타늄 캐소드를 쉽게 세척 또는 교환할 수 있음
  • 게이지에 인접한 최소 자기장 강도
  • 전원 및 플라즈마 점화용 LED 표시등
  • 로그 아날로그 출력 신호
  • 네트워크 통신을 사용하여 진공 시스템에 쉽게 통합할 수 있는 필드버스 인터페이스(Profibus DB, DeviceNet)

일반적인 응용 분야

  • 고진공 압력 모니터링
  • 증발 및 스퍼터링 시스템
  • 미세 진공부터 고진공 범위까지 일반 진공 측정 및 제어
  • PEG100 Penning Gauge

사양

유형 PEG100
측정 범위 1 x 10-9 to 1 x 10-2
정확성  
10-8 ~ 10-4mbar % of reading ±30
최대 압력(절대압) bar 10
온도  
작동(주변) °C +10 to +50
보관 °C -20 to +75
전자장치 없이 베이크 아웃 °C 350
플랜지에서 전자장치 포함한 베이크 아웃 °C 70
공급  
전압 V (dc) 14.5 to 36
최대 소모량 W <2
출력신호 아날로그  
출력신호 V 0 to 10.6
측정 범위 V 0.66 to 10
전압/압력 관계 volts per decade 1.333
커넥터 FCC 68, female, 8 pin (shielded)
케이블 길이, 최대(아날로그) m (ft.) 100 (330)
진공에 노출된 재료 Stainless steel, CrNi, AI2O3, NiFe, Mo, Cu, Ni, Ti
내부 용적 cm³ (in.³) 21 (1.28)
무게, 약 g 500
보호 유형 IP40
디바이스넷  
장치 유형 generic
명시적 P2P 메시징 no
I/O P2P 메시징 no
구성 일관성 no
결함 노드 복구 no
전송 속도 kBaud 125 / 250 / 500
마스터/스캐너 no
I/O 슬레이브 메시징: 비트 스트로브 yes
I/O 슬레이브 메시징: 폴링 yes
I/O 슬레이브 메시징: 사이클 yes
I/O 슬레이브 메시징: 상태 변경(COS) yes
디바이스넷에 대한 공급 V (dc) 11 to 25
디바이스넷 커넥터 Phoenix Combicon, 5 pin

부품 번호

PEG100
부품 번호 설명
351-000 PEG100 페닝 게이지, DN25KF
351-002 PEG100 Penning Gauge; DN40CF-F
351-003 PEG100-D Penning Gauge; DN25KF
351-004 PEG100-D Penning Gauge; DN40CF-F
351-490 캐소드 플레이트, 5개 세트 포함
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