PCG55x ATM~중간진공 게이지

 

INFICON 피라니 용량식 격막 진공계(PCG55x)는 INFICON 피라니 기술과 세라믹 용량식 격막 센서의 이점을 단일 제품에 결합하고 있습니다.

10 mbar ~ 대기의 측정 범위에서 용량식 격막 기술은 신뢰할 수 있는 압력 측정을 위해 가스 유형 독립형의 매우 정확한 값을 제공합니다. PCG55x는 요구되는 분야에 적합한 제품 구성이 가능한 다양한 기능도 제공합니다.

장점

  • 10 mbar 초과하는 가스 유형 독립적 – 모든 가스 혼합물을 안전하게 환기할 수 있음
  • 대기에서의 높은 정확성 및 재현성 – 신뢰할 수 있고 신속한 대기압 탐지를 위해
  • 다양한 장착 방향 – 공구 설계에서 자유로운 엔지니어링 제공
  • 텅스텐(PCG550) 또는 니켈(PCG552) 필라멘트, 또는 부식성이 강한 적용개소를 위한 완전 세라믹 코팅(PCG554) 센서 장치와 함께 사용 가능
  • Latest EtherCAT protocol Standard ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0
  • 온보드 보정 데이터를 사용하여 플러그 앤 플레이 센서 요소를 교체하기 쉬움 – 높은 재현성과 낮은 소유 비용 보장
  • 통합 용이성을 위한 선택 가능한 출력신호
  • 옵션 대기 스위치, 디스플레이 및 디지털 인터페이스
  • 규정 준수 및 표준: CE, EN, UL, CSA, RoHS

일반적인 응용 분야

  • 로드록 제어
  • 초기 진공 압력 측정
  • 진공 시스템 내 안전 회로
  • 중진공부터 저진공 범위까지 일반 진공 측정 및 제어

뉴스

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  • PCG55x_Massbild Varianten.png

사양

유형 PCG550 Tungsten PCG552 Nickel PCG554 ceramic coated
측정 범위 5×10-5 … 1500 5×10-5 … 1500 5×10-5 … 1500
정확성      
5×10-4 … 1×10-3mbar(N2) % of reading ±50 ±50 ±50
1×10-3 … 100mbar(N2) % of reading ±15 ±15 ±15
100 … 950mbar % of reading ±5 ±5 ±5
950 … 1,050mbar % of reading ±2.5 ±2.5 ±2.5
반복성      
1×10-3 … 1,100mbar(N2) % of reading ±2 ±2 ±2
허용 압력 bar (absolute) ≤5 ≤5 ≤5
최대 압력 bar (absolute) 10 10 10
허용 온도      
작동(주변) °C +10 … +50 +10 … +50 +10 … +50
보관 °C -20 … +65 -20 … +65 -20 … +65
플랜지에서 베이크 아웃 °C ≤80 ≤80 ≤80
플랜지 긴 튜브에서 베이크 아웃 °C ≤250 ≤250 ≤250
공급 전압 V (dc) +15 … +30 +15 … +30 +15 … +30
전력 소모량      
fieldbus 없음 W ≤2.5 ≤2.5 ≤2.5
디바이스넷 W ≤3 ≤3 ≤3
Profibus W ≤3 ≤3 ≤3
EtherCAT W ≤4.5 ≤4.5 ≤4.5
출력신호 아날로그 3PCx-0xx-xxx0 V 0 … +10.23 0 … +10.23 0 … +10.23
출력신호 아날로그 3PCx-0xx-xxx1 V 0 … +8.68 0 … +8.68 0 … +8.68
출력신호 아날로그 3PCx-0xx-xxx2 V 0 … +5.659 0 … +5.659 0 … +5.659
출력신호 아날로그 3PCx-0xx-xxx3 V 0 … +9.05 0 … +9.05 0 … +9.05
측정 범위 3PCx-0xx-xxx0 V +0.61 … +10.23 +0.61 … +10.23 +0.61 … +10.23
측정 범위 3PCx-0xx-xxx1 V +1.2 … +8.68 +1.2 … +8.68 +1.2 … +8.68
측정 범위 3PCx-0xx-xxx2 V +0.375 … +5.659 +0.375 … +5.659 +0.375 … +5.659
측정 범위 3PCx-0xx-xxx3 V +1.57 … +9.05 +1.57 … +9.05 +1.57 … +9.05
전압 대 압력      
3PCx-0xx-xxx0 volts per decade 1.286 1.286 1.286
3PCx-0xx-xxx1/-xxx2/-xxx3 volts per decade 1 1 1
부하 임피던스 kΩ >10 >10 >10
셋포인트 릴레이      
셋포인트 개수 2 2 2
범위(N2) mbar 5×10-5 … 1000 5×10-5 … 1000 5×10-5 … 1000
릴레이 접점 n.o., potential free n.o., potential free n.o., potential free
히스테리시스 % of threshold 10 10 10
접점 정격 솔리드 스테이트 릴레이 ≤30 ≤30 ≤30
접점 정격 기계식 릴레이 ≤30 ≤30 ≤30
스위칭 시간 ms ≤30 ≤30 ≤30
인터페이스(디지털) RS232C RS232C RS232C
전기 연결      
3PCx-0xx-x0xx FCC, 8-pin FCC, 8-pin FCC, 8-pin
3PCx-0xx-x1xx D-Sub, 9-pin, male D-Sub, 9-pin, male D-Sub, 9-pin, male
3PCx-0xx-x2xx D-Sub, 15-pin HD, male D-Sub, 15-pin HD, male D-Sub, 15-pin HD, male
3PCx-0xx-x4xx D-Sub, 15-pin HD, with RS485, male D-Sub, 15-pin HD, with RS485, male D-Sub, 15-pin HD, with RS485, male
케이블 길이 m (ft.) ≤100 (≤330) ≤100 (≤330) ≤100 (≤330)
RS232C 작동 m (ft.) ≤30 (≤100) ≤30 (≤100) ≤30 (≤100)
진공에 노출된 재료 W, Ni, NiFe, Al2O3, SnAg, stainless steel, glass Ni, NiFe, Al2O3, SnAg, stainless steel, glass Al2O3, stainless steel
내부 용적      
DN 16 ISO-KF cm³ 4.7 4.7 4.7
DN 16 ISO-KF 긴 튜브 cm³ 14.5 14.5 14.5
DN 16 CF-F cm³ 8 8 8
DN 16 CF-R 긴 튜브 cm³ 14 14 14
DN 25 ISO-KF, 4 VCR cm³ 5.5 5.5 5.5
8 VCR cm³ 7 7 7
1/8" NPT, 7/16-20 UNF cm³ 5.2 5.2 5.2
표면 장착 29mm/1.15" cm³ 4.9 4.9 4.9
4 VCR 90° cm³ 7.9 7.9 7.9
무게      
fieldbus 인터페이스 없음 g 115 … 130 115 … 130 115 … 130
필드버스 인터페이스 있음 g 230 … 250 230 … 250 230 … 250
보호 수준 IP 40 IP 40 IP 40
표준      
CE 준수 EN 61000-6-2/-6-3, EN 61010 EN 61000-6-2/-6-3, EN 61010 EN 61000-6-2/-6-3, EN 61010
ETL 인증 UL 61010-1, CSA 22.2 No.61010-1 UL 61010-1, CSA 22.2 No.61010-1 UL 61010-1, CSA 22.2 No.61010-1
디바이스넷      
프로토콜 DeviceNet™, group 2 slave only DeviceNet™, group 2 slave only DeviceNet™, group 2 slave only
데이터 속도 스위치 kBaud 125, 250, 500 or network programmable 125, 250, 500 or network programmable 125, 250, 500 or network programmable
케이블 길이 125kbps m (ft.) 500 (1650) 500 (1650) 500 (1650)
케이블 길이 250kbps m (ft.) 250 (825) 250 (825) 250 (825)
케이블 길이 500kbps m (ft.) 100 (330) 100 (330) 100 (330)
MAC ID 2 switches (address 00 - 63) or network programmable 2 switches (address 00 - 63) or network programmable 2 switches (address 00 - 63) or network programmable
디지털 기능 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error
사양 DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
장치 유형 ''CG'' for combination gauge ''CG'' for combination gauge ''CG'' for combination gauge
I/O 슬레이브 메시징 polling only polling only polling only
디바이스넷 3PI6-/3PI7-/3PI8-0xx-xxxx의 공급 전압 V (dc) +15 … +30 +15 … +30 +15 … +30
전원 소모량 3PI6-/3PI7-/3PI8-0xx-xxxx W ≤3 ≤3 ≤3
디바이스넷 커넥터 Micro-Style, 5-pin, male Micro-Style, 5-pin, male Micro-Style, 5-pin, male
Profibus DP      
전송 속도 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
주소 2 switches (address 00 - 127) or network programmable 2 switches (address 00 - 127) or network programmable 2 switches (address 00 - 127) or network programmable
디지털 기능 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error
Profibus DP 커넥터 D-Sub, 9-pin, female D-Sub, 9-pin, female D-Sub, 9-pin, female
RS485C      
전송 속도 kBaud 9.6 / 19.2 / 38.4 /57.6 9.6 / 19.2 / 38.4 /57.6 9.6 / 19.2 / 38.4 /57.6
주소 2 switches (address 00 - 255) 2 switches (address 00 - 255) 2 switches (address 00 - 255)
디지털 기능 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error
RS485 커넥터 D-Sub, 15-pin HD, male D-Sub, 15-pin HD, male D-Sub, 15-pin HD, male
EtherCAT      
프로토콜 EtherCAT protocol specialized for EtherCAT protocol specialized for EtherCAT protocol specialized for EtherCAT
통신 표준 ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device Profile ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device Profile ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device Profile ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge
노드 주소 Explicit Device Identification Explicit Device Identification Explicit Device Identification
물리적 레이어 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 100BASE-Tx (IEEE 802.3)
EtherCAT 커넥터 2 x RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT 2 x RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT 2 x RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
케이블 shielded Ethernet CAT5e or higher shielded Ethernet CAT5e or higher shielded Ethernet CAT5e or higher
케이블 길이 m (ft.) ≤100 (330) ≤100 (330) ≤100 (330)
프로세스 데이터 Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
사서함(CoE) SDO requests, responses and information SDO requests, responses and information SDO requests, responses and information
PCG55x_Ordering Information

부속품

PCG550 Tungsten
부품 번호 설명
211-001 CLAMPING RING DN 10-16 ISO-KF
211-097 Centering ring with fine filter DN 16 KF
303-333 Diagnostic cable 1.9m (P3)
PCG552 Nickel
부품 번호 설명
211-001 CLAMPING RING DN 10-16 ISO-KF
211-097 Centering ring with fine filter DN 16 KF
303-333 Diagnostic cable 1.9m (P3)
PCG554 ceramic coated
부품 번호 설명
211-001 CLAMPING RING DN 10-16 ISO-KF
211-097 Centering ring with fine filter DN 16 KF
303-333 Diagnostic cable 1.9m (P3)

예비 부품

PCG550 Tungsten
부품 번호 설명
357-925 PCG550 SPARE SENSOR, DN16ISO-KF
357-926 PCG550 Spare Sensor, DN16ISO-KF, long
357-927 PCG550 Spare Sensor, DN16CF-F
357-928 PCG550 Spare Sensor, DN16CF-R, long
357-929 PCG550 Spare Sensor, DN25ISO-KF
357-930 PCG550 Spare Sensor, 1/8" NPT
357-931 PCG550 Spare Sensor, 8-VCR
357-932 PCG550 Spare Sensor, 4-VCR
357-933 PCG550 Spare Sensor, 7/16-20 UNF
357-934 PCG550 Spare Sensor, 29x29mm
357-935 PCG550 Spare Sensor, 4-VCR / 90°
PCG552 Nickel
부품 번호 설명
357-936 PCG552 Spare Sensor, DN16ISO-KF
357-937 PCG552 Spare Sensor, DN16ISO-KF, long
357-938 PCG552 Spare Sensor, DN16CF-F
357-939 PCG552 Spare Sensor, DN16CF-R, long
357-941 PCG552 Spare Sensor, 1/8" NPT
357-942 PCG552 Spare Sensor, 8-VCR
357-943 PCG552 Spare Sensor, 4-VCR
357-944 PCG552 Spare Sensor, 7/16-20 UNF
357-945 PCG552 Spare Sensor, 29x29mm
357-946 PCG552 Spare Sensor, 4-VCR / 90°
PCG554 ceramic coated
부품 번호 설명
357-947 PCG554 Spare Sensor, DN16ISO-KF
357-948 PCG554 Spare Sensor, DN16ISO-KF, long
357-949 PCG554 Spare Sensor, DN16CF-F
357-950 PCG554 Spare Sensor, DN16CF-R, long
357-951 PCG554 Spare Sensor, DN25ISO-KF
357-952 PCG554 Spare Sensor, 1/8" NPT
357-953 PCG554 Spare Sensor, 8-VCR
357-954 PCG554 Spare Sensor, 4-VCR
357-955 PCG554 Spare Sensor, 7/16-20 UNF
357-956 PCG554 Spare Sensor, 29x29mm
357-957 PCG554 Spare Sensor, 4-VCR / 90°

데이터시트

브로슈어

설명서

3D Step Files

기타 파일

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