PCG55x ATM~중간진공 게이지

 

INFICON 피라니 커패시턴스 다이어프램 게이지(PCG55x)는 단일 제품으로 INFICON 피라니 기술을 세라믹 커패시턴스 다이어프램 센서의 이점과 결합했습니다.

10mbar에서 대기압 사이의 측정 범위에서 커패시턴스 다이어프램 기술은 신뢰할 수 있는 압력 측정을 위해 기체 유형과 상관없이 매우 정확한 값을 제공합니다. 또한 PCG55x는 다양한 기능을 제공하여 까다로운 분야에 알맞은 제품 구성을 할 수 있습니다.

장점

  • 10mbar 이상에서의 가스타입 독립성은 모든 혼합된 가스로 안전한 벤팅 가능
  • 신뢰할 수 있는 대기압 감지를 위해 대기에서 높은 정확성 및 재현성
  • 신속한 대기 상태 감지 - 대기 시간 제거 및 프로세스 사이클 단축
  • 모든 방향으로 장착 – 장비 설계 시 자유롭게 적용 가능
  • 텅스텐(PCG550) 또는 니켈(PCG552) 필라멘트 및 부식성이 강한 분야를 위한 완전 세라믹 코팅(PCG554) 필라멘트 옵션
  • 온보드 보정 데이터와 함께 플러그 앤 플레이 센서 엘리먼트를 교환하기 쉽기 때문에 높은 재현성과 낮은 소유 비용을 보장합니다.
  • 통합 용이성을 지원하는 선택 가능한 출력신호
  • 대기압 스위치, 디스플레이 및 디지털 인터페이스 옵션

일반적인 응용 분야

  • 로드락 제어
  • Fore 진공 압력 측정
  • 진공 시스템 내 안전 회로
  • 중진공 및 러프 진공 범위에서 일반적인 진공 측정 및 제어

뉴스

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  • tiba42e1 Massbild mit EtherCAT und Stecker.png

사양

유형 PCG550 Tungsten PCG554 ceramic coated
측정 범위 5×10-5 … 1500 5×10-5 … 1500
정확성    
5×10-4 … 1×10-3mbar(N2) % of reading ±50 ±50
1×10-3 … 100mbar(N2) % of reading ±15 ±15
100 … 950mbar % of reading ±5 ±5
950 … 1,050mbar % of reading ±2.5 ±2.5
반복성    
1×10-3 … 1,100mbar(N2) % of reading ±2 ±2
허용 압력 bar (absolute) ≤5 ≤5
최대 압력 bar (absolute) ≥10 ≥10
허용 온도    
작동(주변) °C +10 … +50 +10 … +50
보관 °C -20 … +65 -20 … +65
플랜지에서 베이크 아웃 °C ≤80 ≤80
플랜지 긴 튜브에서 베이크 아웃 °C ≤250 ≤250
공급 전압 V (dc) +15 … +30 +15 … +30
전력 소모량    
fieldbus 없음 W ≤2.5 ≤2.5
디바이스넷 W ≤3 ≤3
Profibus W ≤3 ≤3
출력신호 아날로그 3PCx-0xx-xxx0 V 0 … +10.23 0 … +10.23
출력신호 아날로그 3PCx-0xx-xxx1 V 0 … +8.68 0 … +8.68
출력신호 아날로그 3PCx-0xx-xxx2 V 0 … +5.659 0 … +5.659
출력신호 아날로그 3PCx-0xx-xxx3 V 0 … +9.05 0 … +9.05
측정 범위 3PCx-0xx-xxx0 V +0.61 … +10.23 +0.61 … +10.23
측정 범위 3PCx-0xx-xxx1 V +1.2 … +8.68 +1.2 … +8.68
측정 범위 3PCx-0xx-xxx2 V +0.375 … +5.659 +0.375 … +5.659
측정 범위 3PCx-0xx-xxx3 V +1.57 … +9.05 +1.57 … +9.05
전압 대 압력    
3PCx-0xx-xxx0 volts per decade 1.286 1.286
3PCx-0xx-xxx1/-xxx2/-xxx3 volts per decade 1 1
부하 임피던스 kΩ >10 >10
셋포인트 릴레이    
셋포인트 개수 2 2
범위(N2) mbar 5×10-5 … 1000 5×10-5 … 1000
릴레이 접점 n.o., potential free n.o., potential free
히스테리시스 % of threshold 10 10
접점 정격 솔리드 스테이트 릴레이 ≤30 ≤30
접점 정격 기계식 릴레이 ≤30 ≤30
스위칭 시간 ms ≤30 ≤30
인터페이스(디지털) RS232C RS232C
전기 연결    
3PCx-0xx-x0xx FCC, 8-pin FCC, 8-pin
3PCx-0xx-x1xx D-Sub, 9-pin, male D-Sub, 9-pin, male
3PCx-0xx-x2xx D-Sub, 15-pin HD, male D-Sub, 15-pin HD, male
3PCx-0xx-x4xx D-Sub, 15-pin HD, with RS485, male D-Sub, 15-pin HD, with RS485, male
케이블 길이 m (ft.) ≤100 (≤330) ≤100 (≤330)
RS232C 작동 m (ft.) ≤30 (≤100) ≤30 (≤100)
진공에 노출된 재료 W, Ni, NiFe, Al2O3, SnAg, stainless steel, glass Al2O3, stainless steel
내부 용적    
DN 16 ISO-KF cm³ 4.7 4.7
DN 16 ISO-KF 긴 튜브 cm³ 14.5 14.5
DN 16 CF-F cm³ 8 8
DN 16 CF-R 긴 튜브 cm³ 14 14
DN 25 ISO-KF, 4 VCR cm³ 5.5 5.5
8 VCR cm³ 7 7
1/8" NPT, 7/16-20 UNF cm³ 5.2 5.2
표면 장착 29mm/1.15" cm³ 4.9 4.9
4 VCR 90° cm³ 7.9 7.9
무게    
fieldbus 인터페이스 없음 g 115 … 130 115 … 130
필드버스 인터페이스 있음 g 230 … 250 230 … 250
보호 수준 IP 40 IP 40
표준    
CE 준수 EN 61000-6-2/-6-3, EN 61010 EN 61000-6-2/-6-3, EN 61010
ETL 인증 UL 61010-1, CSA 22.2 No.61010-1 UL 61010-1, CSA 22.2 No.61010-1
디바이스넷    
프로토콜 DeviceNet™, group 2 slave only DeviceNet™, group 2 slave only
데이터 속도 스위치 kBaud 125, 250, 500 or network programmable 125, 250, 500 or network programmable
케이블 길이 125kbps m (ft.) 500 (1650) 500 (1650)
케이블 길이 250kbps m (ft.) 250 (825) 250 (825)
케이블 길이 500kbps m (ft.) 100 (330) 100 (330)
MAC ID 2 switches (address 00 - 63) or network programmable 2 switches (address 00 - 63) or network programmable
디지털 기능 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error
사양 DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
장치 유형 ''CG'' for combination gauge ''CG'' for combination gauge
I/O 슬레이브 메시징 polling only polling only
디바이스넷 3PI6-/3PI7-/3PI8-0xx-xxxx의 공급 전압 V (dc) +15 … +30 +15 … +30
전원 소모량 3PI6-/3PI7-/3PI8-0xx-xxxx W ≤3 ≤3
디바이스넷 커넥터 Micro-Style, 5-pin, male Micro-Style, 5-pin, male
Profibus DP    
전송 속도 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
주소 2 switches (address 00 - 127) or network programmable 2 switches (address 00 - 127) or network programmable
디지털 기능 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error
Profibus DP 커넥터 D-Sub, 9-pin, female D-Sub, 9-pin, female
RS485C    
전송 속도 kBaud 9.6 / 19.2 / 38.4 /57.6 9.6 / 19.2 / 38.4 /57.6
주소 2 switches (address 00 - 255) 2 switches (address 00 - 255)
디지털 기능 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error
RS485 커넥터 D-Sub, 15-pin HD, male D-Sub, 15-pin HD, male
EtherCAT    
프로토콜 EtherCAT protocol specialized for EtherCAT protocol specialized for EtherCAT
통신 표준 ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge" ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"
노드 주소 Explicit Device Identification Explicit Device Identification
물리적 레이어 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 100BASE-Tx (IEEE 802.3)
EtherCAT 커넥터 RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
케이블 shielded Ethernet CAT5e or higher shielded Ethernet CAT5e or higher
케이블 길이 m (ft.) ≤100 (330) ≤100 (330)
프로세스 데이터 Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
사서함(CoE) SDO requests, responses and information SDO requests, responses and information

부품 번호

PCG550 Tungsten
부품 번호 설명
3PC1-001-0000 PCG550 FCC,16KF
3PC1-00F-0000 PCG550 FCC,1/8NPT
3PC1-001-2000 PCG550 FCC,2SP,16KF
3PC1-00F-2000 PCG550 FCC,2SP,1/8NPT
3PC1-001-1000 PCG550 FCC,LCD,16KF
3PC1-001-4000 PCG550 FCC,2SP,LCD,16KF
357-925 PCG550 SPARE SENSOR, DN16ISO-KF
357-930 PCG550 Spare Sensor, 1/8" NPT
PCG554 ceramic coated
부품 번호 설명
3PC3-001-0000 PCG554 FCC,16KF

부속품

PCG550 Tungsten
부품 번호 설명
211-001 CLAMPING RING DN 10-16 ISO-KF
211-097 Centering ring with fine filter DN 16 KF
303-333 Diagnostic cable 1.9m (P3)
PCG554 ceramic coated
부품 번호 설명
211-001 CLAMPING RING DN 10-16 ISO-KF
211-097 Centering ring with fine filter DN 16 KF
303-333 Diagnostic cable 1.9m (P3)

데이터시트

브로슈어

설명서

3D Step Files

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