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PCG55x ATM~중간진공 게이지
INFICON 피라니 커패시턴스 다이어프램 게이지(PCG55x)는 단일 제품으로 INFICON 피라니 기술을 세라믹 커패시턴스 다이어프램 센서의 이점과 결합했습니다.
10mbar에서 대기압 사이의 측정 범위에서 커패시턴스 다이어프램 기술은 신뢰할 수 있는 압력 측정을 위해 기체 유형과 상관없이 매우 정확한 값을 제공합니다. 또한 PCG55x는 다양한 기능을 제공하여 까다로운 분야에 알맞은 제품 구성을 할 수 있습니다.
장점
- 10mbar 이상에서의 가스타입 독립성은 모든 혼합된 가스로 안전한 벤팅 가능
- 신뢰할 수 있는 대기압 감지를 위해 대기에서 높은 정확성 및 재현성
- 신속한 대기 상태 감지 - 대기 시간 제거 및 프로세스 사이클 단축
- 모든 방향으로 장착 – 장비 설계 시 자유롭게 적용 가능
- 텅스텐(PCG550) 또는 니켈(PCG552) 필라멘트 및 부식성이 강한 분야를 위한 완전 세라믹 코팅(PCG554) 필라멘트 옵션
- 온보드 보정 데이터와 함께 플러그 앤 플레이 센서 엘리먼트를 교환하기 쉽기 때문에 높은 재현성과 낮은 소유 비용을 보장합니다.
- 통합 용이성을 지원하는 선택 가능한 출력신호
- 대기압 스위치, 디스플레이 및 디지털 인터페이스 옵션
일반적인 응용 분야
- 로드락 제어
- Fore 진공 압력 측정
- 진공 시스템 내 안전 회로
- 중진공 및 러프 진공 범위에서 일반적인 진공 측정 및 제어
뉴스
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사양
| 유형 | PCG550 Tungsten | PCG554 ceramic coated | |
|---|---|---|---|
| 측정 범위 | 5×10-5 … 1500 | 5×10-5 … 1500 | |
| 정확성 | |||
| 5×10-4 … 1×10-3mbar(N2) | % of reading | ±50 | ±50 |
| 1×10-3 … 100mbar(N2) | % of reading | ±15 | ±15 |
| 100 … 950mbar | % of reading | ±5 | ±5 |
| 950 … 1,050mbar | % of reading | ±2.5 | ±2.5 |
| 반복성 | |||
| 1×10-3 … 1,100mbar(N2) | % of reading | ±2 | ±2 |
| 허용 압력 | bar (absolute) | ≤5 | ≤5 |
| 최대 압력 | bar (absolute) | ≥10 | ≥10 |
| 허용 온도 | |||
| 작동(주변) | °C | +10 … +50 | +10 … +50 |
| 보관 | °C | -20 … +65 | -20 … +65 |
| 플랜지에서 베이크 아웃 | °C | ≤80 | ≤80 |
| 플랜지 긴 튜브에서 베이크 아웃 | °C | ≤250 | ≤250 |
| 공급 전압 | V (dc) | +15 … +30 | +15 … +30 |
| 전력 소모량 | |||
| fieldbus 없음 | W | ≤2.5 | ≤2.5 |
| 디바이스넷 | W | ≤3 | ≤3 |
| Profibus | W | ≤3 | ≤3 |
| 출력신호 아날로그 3PCx-0xx-xxx0 | V | 0 … +10.23 | 0 … +10.23 |
| 출력신호 아날로그 3PCx-0xx-xxx1 | V | 0 … +8.68 | 0 … +8.68 |
| 출력신호 아날로그 3PCx-0xx-xxx2 | V | 0 … +5.659 | 0 … +5.659 |
| 출력신호 아날로그 3PCx-0xx-xxx3 | V | 0 … +9.05 | 0 … +9.05 |
| 측정 범위 3PCx-0xx-xxx0 | V | +0.61 … +10.23 | +0.61 … +10.23 |
| 측정 범위 3PCx-0xx-xxx1 | V | +1.2 … +8.68 | +1.2 … +8.68 |
| 측정 범위 3PCx-0xx-xxx2 | V | +0.375 … +5.659 | +0.375 … +5.659 |
| 측정 범위 3PCx-0xx-xxx3 | V | +1.57 … +9.05 | +1.57 … +9.05 |
| 전압 대 압력 | |||
| 3PCx-0xx-xxx0 | volts per decade | 1.286 | 1.286 |
| 3PCx-0xx-xxx1/-xxx2/-xxx3 | volts per decade | 1 | 1 |
| 부하 임피던스 | kΩ | >10 | >10 |
| 셋포인트 릴레이 | |||
| 셋포인트 개수 | 2 | 2 | |
| 범위(N2) | mbar | 5×10-5 … 1000 | 5×10-5 … 1000 |
| 릴레이 접점 | n.o., potential free | n.o., potential free | |
| 히스테리시스 | % of threshold | 10 | 10 |
| 접점 정격 솔리드 스테이트 릴레이 | ≤30 | ≤30 | |
| 접점 정격 기계식 릴레이 | ≤30 | ≤30 | |
| 스위칭 시간 | ms | ≤30 | ≤30 |
| 인터페이스(디지털) | RS232C | RS232C | |
| 전기 연결 | |||
| 3PCx-0xx-x0xx | FCC, 8-pin | FCC, 8-pin | |
| 3PCx-0xx-x1xx | D-Sub, 9-pin, male | D-Sub, 9-pin, male | |
| 3PCx-0xx-x2xx | D-Sub, 15-pin HD, male | D-Sub, 15-pin HD, male | |
| 3PCx-0xx-x4xx | D-Sub, 15-pin HD, with RS485, male | D-Sub, 15-pin HD, with RS485, male | |
| 케이블 길이 | m (ft.) | ≤100 (≤330) | ≤100 (≤330) |
| RS232C 작동 | m (ft.) | ≤30 (≤100) | ≤30 (≤100) |
| 진공에 노출된 재료 | W, Ni, NiFe, Al2O3, SnAg, stainless steel, glass | Al2O3, stainless steel | |
| 내부 용적 | |||
| DN 16 ISO-KF | cm³ | 4.7 | 4.7 |
| DN 16 ISO-KF 긴 튜브 | cm³ | 14.5 | 14.5 |
| DN 16 CF-F | cm³ | 8 | 8 |
| DN 16 CF-R 긴 튜브 | cm³ | 14 | 14 |
| DN 25 ISO-KF, 4 VCR | cm³ | 5.5 | 5.5 |
| 8 VCR | cm³ | 7 | 7 |
| 1/8" NPT, 7/16-20 UNF | cm³ | 5.2 | 5.2 |
| 표면 장착 29mm/1.15" | cm³ | 4.9 | 4.9 |
| 4 VCR 90° | cm³ | 7.9 | 7.9 |
| 무게 | |||
| fieldbus 인터페이스 없음 | g | 115 … 130 | 115 … 130 |
| 필드버스 인터페이스 있음 | g | 230 … 250 | 230 … 250 |
| 보호 수준 | IP 40 | IP 40 | |
| 표준 | |||
| CE 준수 | EN 61000-6-2/-6-3, EN 61010 | EN 61000-6-2/-6-3, EN 61010 | |
| ETL 인증 | UL 61010-1, CSA 22.2 No.61010-1 | UL 61010-1, CSA 22.2 No.61010-1 | |
| 디바이스넷 | |||
| 프로토콜 | DeviceNet™, group 2 slave only | DeviceNet™, group 2 slave only | |
| 데이터 속도 스위치 | kBaud | 125, 250, 500 or network programmable | 125, 250, 500 or network programmable |
| 케이블 길이 125kbps | m (ft.) | 500 (1650) | 500 (1650) |
| 케이블 길이 250kbps | m (ft.) | 250 (825) | 250 (825) |
| 케이블 길이 500kbps | m (ft.) | 100 (330) | 100 (330) |
| MAC ID | 2 switches (address 00 - 63) or network programmable | 2 switches (address 00 - 63) or network programmable | |
| 디지털 기능 | read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error | read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error | |
| 사양 | DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" | DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" | |
| 장치 유형 | ''CG'' for combination gauge | ''CG'' for combination gauge | |
| I/O 슬레이브 메시징 | polling only | polling only | |
| 디바이스넷 3PI6-/3PI7-/3PI8-0xx-xxxx의 공급 전압 | V (dc) | +15 … +30 | +15 … +30 |
| 전원 소모량 3PI6-/3PI7-/3PI8-0xx-xxxx | W | ≤3 | ≤3 |
| 디바이스넷 커넥터 | Micro-Style, 5-pin, male | Micro-Style, 5-pin, male | |
| Profibus DP | |||
| 전송 속도 | 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 | 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 | |
| 주소 | 2 switches (address 00 - 127) or network programmable | 2 switches (address 00 - 127) or network programmable | |
| 디지털 기능 | read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error | read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error | |
| Profibus DP 커넥터 | D-Sub, 9-pin, female | D-Sub, 9-pin, female | |
| RS485C | |||
| 전송 속도 | kBaud | 9.6 / 19.2 / 38.4 /57.6 | 9.6 / 19.2 / 38.4 /57.6 |
| 주소 | 2 switches (address 00 - 255) | 2 switches (address 00 - 255) | |
| 디지털 기능 | read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error | read pressure, select units: Torr, mbar, Pa, micron, counts; monitor gauge status, detailed alarm and warning information, safe state allows definition of behavior in case of error | |
| RS485 커넥터 | D-Sub, 15-pin HD, male | D-Sub, 15-pin HD, male | |
| EtherCAT | |||
| 프로토콜 EtherCAT | protocol specialized for EtherCAT | protocol specialized for EtherCAT | |
| 통신 표준 | ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge" | ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge" | |
| 노드 주소 | Explicit Device Identification | Explicit Device Identification | |
| 물리적 레이어 | 100BASE-Tx (IEEE 802.3) | 100BASE-Tx (IEEE 802.3) | |
| EtherCAT 커넥터 | RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT | RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT | |
| 케이블 | shielded Ethernet CAT5e or higher | shielded Ethernet CAT5e or higher | |
| 케이블 길이 | m (ft.) | ≤100 (330) | ≤100 (330) |
| 프로세스 데이터 | Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping | Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping | |
| 사서함(CoE) | SDO requests, responses and information | SDO requests, responses and information | |
부품 번호
| PCG550 Tungsten | |
|---|---|
| 부품 번호 | 설명 |
| 3PC1-001-0000 | PCG550 FCC,16KF |
| 3PC1-00F-0000 | PCG550 FCC,1/8NPT |
| 3PC1-001-2000 | PCG550 FCC,2SP,16KF |
| 3PC1-00F-2000 | PCG550 FCC,2SP,1/8NPT |
| 3PC1-001-1000 | PCG550 FCC,LCD,16KF |
| 3PC1-001-4000 | PCG550 FCC,2SP,LCD,16KF |
| 357-925 | PCG550 SPARE SENSOR, DN16ISO-KF |
| 357-930 | PCG550 Spare Sensor, 1/8" NPT |
| PCG554 ceramic coated | |
| 부품 번호 | 설명 |
| 3PC3-001-0000 | PCG554 FCC,16KF |
부속품
| PCG550 Tungsten | |
|---|---|
| 부품 번호 | 설명 |
| 211-001 | CLAMPING RING DN 10-16 ISO-KF |
| 211-097 | Centering ring with fine filter DN 16 KF |
| 303-333 | Diagnostic cable 1.9m (P3) |
| PCG554 ceramic coated | |
| 부품 번호 | 설명 |
| 211-001 | CLAMPING RING DN 10-16 ISO-KF |
| 211-097 | Centering ring with fine filter DN 16 KF |
| 303-333 | Diagnostic cable 1.9m (P3) |
데이터시트
브로슈어
설명서
- TINA56E1_PxG55x_Operating manual |EN| |DE|
- TIRA56E1_PxG55x Communication Protocol Profibus |EN|
- TIRA58E1_PxG55x Communication protocol DeviceNet |EN|
- TIRA59E1_PxG55x Communication Protocol RS232c_RS485C |EN|
- TIRA85E1_PxG55x_Communication protocol EtherCat |EN|
- TIRB51e1_PxG55x_Communication protocol EtherCAT_New Generation.pdf |EN|
3D Step Files
- PxG55x_9DSub_4VCR |EN|
- PxG55x_9DSub_8VCR |EN|
- PxG55x_9DSub_16CF |EN|
- PxG55x_9DSub_16KF |EN|
- PxG55x_9DSub_25KF |EN|
- PxG55x_9DSub_16K_long.zip |EN|
- PxG55x_9DSub_29x29 |EN|
- PxG55x_9DSub_4VCR_90 |EN|
- PxG55x_15DSub_4VCR |EN|
- PxG55x_15DSub_16CF |EN|
- PxG55x_15DSub_16KF |EN|
- PxG55x_FCC_4VCR |EN|
- PxG55x_FCC_16CF |EN|
- PxG55x_FCC_16KF |EN|
- PxG55x_FCC_25KF |EN|
- PxG55x_FCC_4VCR_90 |EN|
- PxG55x_FCC_29x29 |EN|
- PxG55x_9DSub_DNet_4VCR |EN|
- PxG55x_9DSub_DNet_16CF |EN|
- PxG55x_9DSub_DNet_16KF |EN|
- PxG55x_15DSub_DNet_4VCR |EN|
- PxG55x_15DSub_DNet_16CF |EN|
- PxG55x_15DSub_DNet_16KF |EN|
- PxG55x_FCC_DNet_4VCR |EN|
- PxG55x_FCC_DNet_16CF |EN|
- PxG55x_FCC_DNet_16KF |EN|
- PxG55x_9DSub_PBus_4VCR |EN|
- PxG55x_9DSub_PBus_16CF |EN|
- PxG55x_9DSub_PBus_16KF |EN|
- PxG55x_9DSub_PBus_25KF |EN|
- PxG55x_15DSub_PBus_4VCR |EN|
- PxG55x_15DSub_PBus_16CF |EN|
- PxG55x_15DSub_PBus_16KF |EN|
- PxG55x_FCC_PBus_4VCR |EN|
- PxG55x_FCC_PBus_16CF |EN|
- PxG55x_FCC_PBus_16KF |EN|
- PxG55x_9DSub_DNet_25KF |EN|
- PxG55x_9DSub_EtherCAT_16KF.zip |EN|
- PxG55x_9DSub_EtherCAT_4VCR.zip |EN|
- PxG55x_9DSub_EtherCAT_16CF.zip |EN|
기타 파일
- PCG55X-PC19 Int.eds |한국| |EN| |DE| |ES| |日文| |中文|
- PCG55X-PC19 Real.eds |한국| |EN| |DE| |ES| |日文| |中文|
- PCG55X-PC20 Int.eds |한국| |EN| |DE| |ES| |日文| |中文|
- PCG55X-PC20 Real.eds |한국| |EN| |DE| |ES| |日文| |中文|
- PxG_0C85.GSD |한국| |EN| |DE| |ES| |日文| |中文|
- EtherCAT ESI file PCG V1_2_1_0.xml |한국| |EN| |DE| |ES| |日文| |中文|
- EtherCAT ESI file PCG ATM V1_2_1_0.xml |한국| |EN| |DE| |ES| |日文| |中文|
