엔드포인트 제어용 Sion™ RF 검출기

Sion™ RF 검출기는 챔버 청소 엔드포인트를 확실하고 정확하게 결정하여 화학적 증기 증착(CVD)과 에칭 공정에서 더 높은 제어 능력과 더 큰 수율을 제공합니다. 엔드포인트의 정확도를 높인다는 것은 웨이퍼 상의 입자 레벨을 낮추고 예방 유지보수 주기를 더 길게 한다는 의미입니다.

OES(발광분석기) 기반의 컨트롤러에 비해 여러 가지 이점을 제공하는 Sion은 FabGuard® 통합 및 분석 시스템과 함께 작동하여 챔버 청소 언더에칭 또는 오버에칭으로 인한 시간과 재료 낭비를 줄입니다.

특징

  • 더욱 정확한 엔드포인트 제어를 위한 OES 기반 기기의 드롭인 교체가 쉬움
  • 챔버 클린 언더에칭 및 오버에칭을 없애 시간과 재료 비용 절감
  • 필요한 클린 가스 유량 수준과 비용을 줄임
  • 챔버 창 유지보수 및 교체가 필요 없어 도구 가동 시간 증가
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