플라즈마 아크 검출용 Sion™ RF 검출기

 

 

비침습형 클램프온(CLAMP-ON) RF 검출기는 iPVD, PECVD 및 에칭에서 고속 아크 검출 기능 제공

웨이퍼 손실 절감 및 수율 증가
플라즈마 처리 도중 아크가 발생되면 대상과 챔버가 손상되어 기판이 손상되고 입자가 생성됩니다. 피처 크기가 감소함에 따라 마이크로 전자 장치는 아크에 의한 손상에 점점 더 취약해집니다. 아킹은 iPVD(ionized Physical Vapor Deposition), PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition), 에칭 등의 모든 플라즈마 보조 공정에서 발생할 수 있습니다. INFICON Sion 아크 검출기는 중요한 첫 번째 방어선을 제공합니다. Sion은 마이크로 아크를 신속하게 탐지하여 심각한 손상이나 스크랩이 발생하기 전에 대응하게 해줍니다. 이 시스템은 플라즈마 마이크로 아킹 현상을 실시간으로 탐지하고 분석합니다.

특징

  • 기존 도구 세트에 쉽게 내장됨
  • 비침습형 센서 설치
  • 고속 데이터 수집(250 kHz)
  • FabGuard로 통합 데이터 관리
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