RFS100 RF 센서

 

실시간 플라즈마 공정 분석을 제공하여 공정 변동성을 크게 줄이는 FabGuard가 포함된 RF 센서

INFICON RF 센서 기술은 반도체 공정 도구에 대한 매우 정확한 광대역 주파수 판별 RF 측정 기능을 제공합니다. 이 RF 데이터는 공정 개발 및 생산 공정 문제 모두의 실제 플라즈마 조건에 대한 상세한 통찰력을 제공하여 공정 변동성을 크게 줄입니다. 고급 공정 제어 현장 센서 제품군의 최신 제품인 비간섭식 인라인 케이블 마운트 RF 센서는 FabGuard 센서 통합 및 분석 시스템을결합하여 중요한 진단 정보(예: 정확한 챔버, 공정 전력, 임피던스 측정), 결함의 근본 원인 분석(예: 매칭 네트워크 문제), 챔버 매칭을 위한 공정 핑거프린팅, PVD/CVD/에칭 분야의 웨이퍼 계측 모델링을 제공합니다.

INFICON RF 센서 기술과 FabGuard는 위상각 측정 등 기본 및 고조파 전압과 전류를 측정하고 수행하여 웨이퍼 계측 결과를 예측하는 매우 정확한 모델을 생성하므로, 엔지니어는 처리된 각 웨이퍼에서 실제 웨이퍼 결과를 제어할 수 있습니다. 이제 FabGuard만의 강력한 알고리즘 기능이 RF 센서 기술과 결합되어 해석하기 쉬운 사용자 인터페이스를 통해 제공된 실시간 측정과 상관관계를 바탕으로 반도체 공정의 반복성, 안정성 및 정확성을 크게 높입니다.

특징

  • CVD 분야

       - 웨이퍼 계측 모델링(막 응력, 막 두께)

       - 실제 공정 챔버의 유효 전력 제어로 전력 공급

       - FDC(예: 플라즈마 불안정, 충전)

       - 챔버 매칭(RF 지문)

  • PVD 분야

       - 웨이퍼 계측 모델링(비저항)

       - FDC

       - 챔버 매칭(RF 지문)

  • Etch 분야

       - 웨이퍼 계측 모델링(에칭률)

       - 실제 공정 챔버의 유효 전력 제어로 전력 공급

       - FDC

       - 챔버 매칭(RF 지문)

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