FabGuard® 컨트롤러

FabGuard 배치를 위한 강력하면서도 작은 크기의 솔루션

FabGuard 컨트롤러는 FabGuard 통합 공정 모니터링 솔루션을 배치하기 위해 작지만 강력한 솔루션을 제공합니다. 이러한 신뢰할 수 있는 산업용 컨트롤러는 FabGuard를 통해 도구와 센서에 연결되어 상세한 챔버별 분석이 필요한 경우 또는 Fab 와이드 SPC & FDC 시스템의 일부로서 실시간 데이터 수집 및 분석을 수행합니다. FabGuard 컨트롤러는 INFICON 센서, 타사 센서뿐만 아니라 Fab 전반에 걸쳐 볼 수 있는 다양한 도구를 지원합니다. FabGuard 고속 컨트롤러를 사용하여 고속 분야의 까다로운 요구사항도 충족할 수 있습니다.

특징

    • FabGuard 배치를 위한 INFICON 솔루션
    • FabGuard 제품군을 실행하기에 충분한 성능
    • INFICON 센서 및 타사 센서 지원 기능
    • 설치 편의를 위한 작은 설치 공간
    • 높은 신뢰성의 팬리스 산업용 컨트롤러
    • 데이터 저장소 확장을 위한 고용량 하드 드라이브
    • 선택적 데이터 수집 보드

사양

유형 FabGuard High Speed Controller FabGuard Controller
크기(길이) 10.5 inches 10.5 inches
크기(너비) 7.7 inches 7.7 inches
크기(높이) 3.1 inches 3.1 inches
CPU Core i5 Celeron P4500
메모리 4 GB 4 GB
하드 디스크 1 TB 500 GB
운영 체제 Windows 7 Professional, 32-bit Windows 7 Professional, 32-bit
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