Gemini™ ATM~초고진공 게이지

 

INFICON Gemini 전환형 마그네트론 진공 게이지는 모든 진공 측정 분야에 적용 가능한 장치입니다(진행 중). 두 개의 센서 시스템이 하나의 소형 장치에 결합된 Gemini는 대기압부터 1x10 ~ 9mbar 사이를 측정합니다. 특허 받은 초저 표류 자계 설계를 통해 새로운 분야를 열었습니다. 고유의 상호 교환 가능한 이중 챔버 센서 유닛은 세척 주기가 필요 없고 유지보수를 줄이므로 Gemini를 가장 강력하고 경제적인 진공 게이지로 만듭니다.

Gemini 냉음극 및 결합 장치는 완벽하게 통합된 디지털 전자장치를 제공함으로써 시스템 통합을 위한 최상의 유연성을 제공합니다. 냉음극 및 피라니 결합 옵션은 광범위한 분야에 걸쳐 원활한 전환, 신뢰성, 실용성 및 유연성을 제공합니다.

장점

  • MPG500 series represents the latest Technology to act as direct replacement for Cold Cathode or Penning Transmitters of the  PTR 90 / PTR 225 (analog Versions) series.

  • 혹독한 환경에서 긴 수명

  • 낮은 표류 자계 설계
  • 유지보수 필요 없음 - 교체 가능한 부속품
  • 매우 컴팩트한 크기
  • 신뢰할 수 있는 고속 점화
  • 내부식성 피드 스루
  • 선택 가능한 측정 전류

일반적인 응용 분야

  • 대기부터 증발 및 박막 증착 분야의 고진공에 이르기까지 베이스 압력 모니터링 및 제어.
  • 일반 진공 측정 – 산업용 용광로, 건축용 유리, 반도체, 냉매 및 에어 컨디셔닝.
  • 분석 및 R&D 분야 – 질량 분석, 전자 현미경, 의료, 안과, 광학 및 고에너지 물리학.

뉴스

냉음극/냉음극 피라니 컴비네이션 게이지의 새로운 시대가 열립니다. 지금 주문해보세요!

  • MxG50x dimensions

사양

유형 MAG50x MPG50x
측정 시스템 Cold cathode ionization measurement system (according to the inverted magnetron principle) Pirani and cold cathode ionization measurement system (according to the inverted magnetron principle)
측정 범위(공기, N2) 1×10-9 … 1×10-2 1×10-9 … 1000
정확성 (N2)    
1×10-8 … 1×10-2mbar % of reading 30 30
1×10-2 … 100mbar % of reading - 15
100 … 1,000mbar % of reading - 50
반복성 (N2)    
1×10-8 … 1×10-2mbar % of reading 5 -
1×10-8 … 100mbar % of reading - 5
장착 방향 any any
허용 압력 bar (absolute) 10 (limited to inert gases <50°C) 10 (limited to inert gases <50°C)
허용 온도    
작동(주변) °C +5 ... +55 +5 ... +55
플랜지에서 베이크 아웃 (1) °C <150 <150
보관 °C -40 ... +70 -40 ... +70
필라멘트 온도 °C - 120
상대 습도(1년/30일)    
1×10-7 … 1×10-2mbar % <95 (non-condensing) <95 (non-condensing)
1×10-8 … 1×10-2mbar % <70 (non-condensing) <70 (non-condensing)
공급 전압    
게이지 (2) V (dc) +14.5 ... +30 +14.5 ... +30
리플 V (p-p)

<1

<1

전력 소모량 W <2 <2
연결할 퓨즈 AT <1 <1
전압 범위    
아날로그 출력 V 0 ... +10.5 0 ... +10.5
측정 범위    
3MAx-00x-0x0N V +1.5 ... +8.5 -
3MBx-00x-0x0P V - +1.398 ... +8.598
3MAx-00x-0x0Q V +0.667 ... +10 -
전압 대 압력    
3MAx-00x-0x0N volts per decade 1 (logarithmic) -
3MBx-00x-0x0P volts per decade - 0.6 (logarithmic)
3MAx-00x-0x0Q volts per decade 1.33 (logaritmic) -
오류 신호    
오류 신호 V

<+0.5

09.5 ... +10.5

출력 임피던스 2x10 2x10
부하 임피던스 kΩ

>10 (short circuit-proof)

>10 (short circuit-proof)

스텝 응답 시간    
p > 10-6mbar ms

<10

<10

p = 10-8mbar ms

~1

~1

게이지 식별 kΩ 100 85
상태(핀 6)    
피라니 전용 모드 V - 0 (low)
냉음극 점화됨 V +15 ... +30 -
결합된 피라니/냉음극 모드 3) V - +15 ... +30 (high)
전기 연결    
3Mxx-00x-000x FCC68, 8-pin, female FCC68, 8-pin, female
3Mxx-00x-010x D-sub, 9-pin, male D-sub, 9-pin, male
센서 케이블    
3Mxx-00x-000x 8-pin, shielded 8-pin, shielded
케이블 길이    
50m 케이블 m < 50 (8x0.14 mm2) < 50 (8x0.14 mm2)
75m 케이블 m < 75 (8x0.25 mm2) < 75 (8x0.25 mm2)
100m 케이블 m < 100 (8x0.34 mm2) < 100 (8x0.34 mm2)
300m 케이블 m < 300 (8x1.00 mm2) < 300 (8x1.00 mm2)
작동 전압 kV <3.3 <3.3
높은 작동 전류 µA <500 <500
낮은 작동 전류 µA <100 <100
진공에 노출된 재료    
3Mx0-00x-0x0x Ni alloy, AI2O3, glass, stainless steels W, Ni alloy, AI2O3, glass, stainless steels
3Mx3-00x-0x0x Ni alloy, AI2O3, stainless steels Ni alloy, AI2O3, stainless steels
내부 용적 cm³ 22.8 22.8
무게    
DN 25 ISO-KF g

<280

<280

DN 40 ISO-KF g <320 <320
DN 40 CF-F 및 CF-R g <570 <570
보호 수준 IP 40 IP 40
표준    
CE 준수

EMC (EN 61000-6-2, EN 61000-6-3), EN 61010-1 & RoHS

EMC (EN 61000-6-2, EN 61000-6-3), EN 61010-1 & RoHS

유지보수 none none

1) 전자장치 없음.

2) 공급 유닛의 최소 전압은 센서 케이블 길이에 따라 증가해야 합니다.

3) 냉음극 점화됨.

부품 번호

MAG50x
부품 번호 설명
3MA0-007-000Q MAG500 SS,HC,FCC,40KF
351-512 MAG500 spare sensor, 40KF, SS
351-555 Spare ion chamber ss
351-550 MxG50x IGNITION TOOL SET
351-995 MxG40x/50x Spare parts ignition aid (10)
MPG50x
부품 번호 설명
3MB0-006-000P MPG500 SS,HC,FCC,25KF
3MB0-007-000P MPG500 SS,HC,FCC,40KF
3MB0-00Q-000P MPG500 SS,HC,FCC,40CF-F
351-506 MPG500 spare sensor, 25KF, SS
351-555 Spare ion chamber ss
351-550 MxG50x IGNITION TOOL SET
351-995 MxG40x/50x Spare parts ignition aid (10)

부속품

MAG50x
부품 번호 설명
211-098 CENTERING RING WITH FINE FILTER DN 25 KF
351-550 MxG50x IGNITION TOOL SET
MPG50x
부품 번호 설명
211-098 CENTERING RING WITH FINE FILTER DN 25 KF
351-550 MxG50x IGNITION TOOL SET
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