Gemini™ MxG5xx ATM~초고진공 게이지

 

INFICON Gemini™ 전환형 마그네트론 진공 게이지는 모든 진공 측정 분야에 적용 가능한 장치입니다(진행 중). 두 개의 센서 시스템이 하나의 소형 장치에 결합된 Gemini는 대기압부터 1x10 ~ 9mbar 사이를 측정합니다. 특허 받은 초저 표류 자계 설계를 통해 새로운 분야를 열었습니다. 고유의 상호 교환 가능한 이중 챔버 센서 유닛은 세척 주기가 필요 없고 유지보수를 줄이므로 Gemini를 가장 강력하고 경제적인 진공 게이지로 만듭니다.

Gemini 냉음극 및 결합 장치는 완벽하게 통합된 디지털 전자장치를 제공함으로써 시스템 통합을 위한 최상의 유연성을 제공합니다. 냉음극 및 피라니 결합 옵션은 광범위한 분야에 걸쳐 원활한 전환, 신뢰성, 실용성 및 유연성을 제공합니다.

장점

  • Long lifetime in harsh environments

  • 혹독한 환경에서 긴 수명 유지

  • 낮은 누출 자계
  • 유지보수 필요 없음 - 교체 가능한 부속품
  • 매우 작은 크기
  • 내부식성 피드스루
  • 선택 가능한 측정 전류
  • 2 relay setpoints (in conjunction with MxG55x EtherCAT Version)
  • EtherCAT and RS232/ RS485 digital interace

일반적인 응용 분야

  • 대기에서 증발 및 스터퍼 코팅 분야의 고진공까지 기저 압력 모니터링 및 제어.
  • 일반 진공 측정 – 산업용 용광로, 건축용 유리, 반도체, 냉동 및 공조.
  • 분석 및 R&D 분야 – 질량 분석, 전자 현미경, 의료, 안과, 광학 및 고에너지 물리학.

뉴스

냉음극/냉음극-Pirani 조합 게이지의 새로운 시대가 열립니다. 지금 주문할 수 있습니다!

  • Massbild Gemin plus EtherCAT_15.02.2019.PNG

사양

유형 MAG5xx MPG5xx
측정 시스템 Cold cathode ionization measurement system (according to the inverted magnetron principle) Pirani and cold cathode ionization measurement system (according to the inverted magnetron principle)
측정 범위(공기, N2) 1×10-9 … 1×10-2 1×10-9 … 1000
정확성 (N2)    
1×10-8 … 1×10-2mbar % of reading 30

-

1×10-2 … 100mbar % of reading - 30
100 … 1,000mbar % of reading - 50
반복성 (N2)    
1×10-8 … 1×10-2mbar % of reading 5 -
1×10-8 … 100mbar % of reading - 5
장착 방향 any any
허용 압력 bar (absolute) 10 (limited to inert gases <55°C) 10 (limited to inert gases <55°C)
허용 온도    
작동(주변) °C +5 ... +55 +5 ... +55
플랜지에서 베이크 아웃 (1) °C <150 <150
보관 °C -40 ... +70 -40 ... +70
필라멘트 온도 °C - 120
상대 습도(1년/30일)    
1×10-7 … 1×10-2mbar % <95 (non-condensing) <95 (non-condensing)
1×10-8 … 1×10-2mbar % <70 (non-condensing) <70 (non-condensing)
공급 전압    
게이지 (2) V (dc) +14.5 ... +30 +14.5 ... +30
리플 V (p-p)

<1

<1

전력 소모량 W <2 <2
연결할 퓨즈 AT <1 <1
전압 범위    
아날로그 출력 V 0 ... +10.5 0 ... +10.5
측정 범위    
3MAx-xxx-xxxN V <+0.5  
3MBx-xxx-xxxP V -  
3MAx-xxx-xxxQ V +0.667 ... +10  
전압 대 압력    
3MAx-xxx-xxxN volts per decade 1 (logarithmic)  
3MBx-xxx-xxxP volts per decade -  
3MAx-xxx-xxxQ volts per decade 1.33 (logaritmic)  
오류 신호    
3MAx-xxx-xxxN V <+0.5  
3MA-xxx-xxxQ V <+0.3  
3MBx-xxx-xxxP V -  
Output impedance

2 x 4.7 (short circuit-proof)

 
Load impedance kΩ >10 (short circuit-proof)  
스텝 응답 시간    
p > 10-6mbar ms

<100

<100

p = 10-8mbar s

~1

 
게이지 식별 (FCC connector gauges)    
3MAx-0xx-000N kΩ -  
3MAx-0xx-000Q kΩ 100  
3MBx-0xx-000P kΩ -  
상태(핀 6)    
Current rating mA 100 (sink)  
High Voltage is ON V (dc) +14.5 ... +30 (depending on supply voltage)  
High Voltage is OFF V (dc) 0  
Status signal, digital output (D-sub connector)    
Supply voltage V (dc)

<30

 
Current rating mA 100  
High voltage ON V (dc)

0

 
High voltage OFF open  
전기 연결    
3Mxx-0xx-000x FCC68, 8-pin, female  
3Mxx-0xx-010x D-sub, 9-pin, male  
3Mxx-0xx-04xx D-Sub HD, 15-pin, male (for RS232/485 version)  
3Mxx-xxx-x2Gx D-Sub HD, 15-pin, male (for EtherCAT Version)  
센서 케이블    
3Mxx-0xx-000x 8-pin, shielded  
3Mxx-0xx-010x 9-pin, shielded  
3Mxx-0xx-04xx D-Sub HD, 15-pin, male (for RS232/485 version)  
3Mxx-xxx-x2Gx D-Sub HD, 15-pin, male (for EtherCAT Version)  
케이블 길이    
FCC connector cable m

<50 (0.14 mm2/ conductor)

 
High voltage (in the measuring chamber)    
Ignition voltage kV <4.5  
작동 전압 kV <3.3 <3.3
Current (in the measuring chamber)    
High current µA <380  
Low current µA <130  
Setpoint relays (MxG55x)    
Range (N2) mbar bar 5x10-5 ... 1500  
Relay contact normally open (NO), potential free  
Hysteresis % of threshold 10  
Contact rating of mechanical relays V/A <30/ <1  
Switching time ms <30  
진공에 노출된 재료    
3Mx0-xxx-xxxx Ni alloy, Mo, AI2O3, glass, stainless steels  
3Mx3-xxx-xxxx Mo, AI2O3, stainless steels  
3Mx0-11x-xxxx Ni alloy, Mo, Al2O3, glass, Ti, stainless steels  
3Mx3-11x-xxxx Mo, Al2O3, Ti, stainless steels  
내부 용적    
DN 25 ISO-KF cm³
DN 40 ISO-KF cm³ ~20.9
DN 40 CF-F cm³ ~25.2  
DN 40 CF-R cm³ ~25.6  
내부 용적 cm³ 22.8 22.8
무게 (MxG50x)    
DN 25 ISO-KF g

<280

<280

DN 40 ISO-KF g <320
DN 40 CF-F 및 CF-R g <570 <570
Weight (MxG55x)    
DN 25 ISO-KF g

<280

<280

DN 40 ISO-KF g <320
DN 40 CF-F & CF-R g <570 <570
보호 수준 IP 40 IP 40
CE conformity    
RoHS 2011/65/EU  
EMC 2014/30/EU, EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61326-1  
Safety EN 61010-1  
RS232C / 485C (MxG50x)    
Baud rates kBaud 9.6/ 19.2/ 38.4/ 57.6  
Address 2 switches (address 00 - 255)  
Digital functions Read pressure, select Units: Torr, mbar, Pa, micron, counts. Monitor gauge Status, detailed Alarm and warning Information, safe state allows Definition of behaviour in case of error.  
Connector for RS232 & RS485 D-Sub HD, 15-pin, male  
EtherCAT® (MxG55x)    
Protocol EtherCAT®

 

 
Communication standard

ETG.5003.1  S (R) V1.1.0 4)

ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 5)

 
Node address Explicit Device Identification  
Physical layer 100Base-Tx (IEEE 802.3)  
Digital functions Read pressure, select Units: Torr, mbar, Pa, micron, counts. Monitor gauge Status, detailed Alarm and warning Information, safe state allows Definition of behaviour in case of error.  
EtherCAT connector 2 x RJ45, 8-pin (socket), Input & output  
EtherCAT cable Special Ethernet Patch cable or crossover cable, shielded (CAT5e Quality or higher)  
Cable lenght m (ft.) <100 (330)  

1) 전자장치가 없습니다.

2) 공급 장치의 최소 전압은 센서 케이블의 길이에 비례하여 증가해야 합니다.

3) 냉음극 점화됩니다.

Gemini Ordering Information_13.03.2019.PNG

부속품

MAG5xx
부품 번호 설명
211-098 CENTERING RING WITH FINE FILTER DN 25 KF
351-550 MxG50x IGNITION TOOL SET
211-113 CENTERING RING WITH BAFFLE DN 25 KF
353-512 BAFFLE FOR BPG400
MPG5xx
부품 번호 설명
211-098 CENTERING RING WITH FINE FILTER DN 25 KF
351-550 MxG50x IGNITION TOOL SET
211-113 CENTERING RING WITH BAFFLE DN 25 KF
353-512 BAFFLE FOR BPG400

예비 부품

MAG5xx
부품 번호 설명
351-500 MAG500 spare sensor, 25KF, SS
351-556 Spare ion chamber ti
351-512 MAG500 spare sensor, 40KF, SS
351-536 MAG500 spare sensor, 40CF-R, SS
351-524 MAG500 spare sensor, 40CF-F, SS
351-502 MAG500 spare sensor, 25KF, TI
351-514 MAG500 spare sensor, 40KF, TI
351-538 MAG500 spare sensor, 40CF-R, TI
351-526 MAG500 spare sensor, 40CF-F, TI
351-501 MAG504 spare sensor, 25KF, SS
351-513 MAG504 spare sensor, 40KF, SS
351-537 MAG504 spare sensor, 40CF-R, SS
351-525 MAG504 spare sensor, 40CF-F, SS
351-503 MAG504 Ersatzsensor, 25KF, TI
351-515 MAG504 spare sensor, 40KF, TI
351-539 MAG504 spare sensor, 40CF-R, TI
351-527 MAG504 spare sensor, 40CF-F, TI
351-995 MxG40x/50x Spare parts ignition aid (10)
351-555 Spare ion chamber ss
MPG5xx
부품 번호 설명
351-506 MPG500 spare sensor, 25KF, SS
351-518 MPG500 spare sensor, 40KF, SS
351-542 MPG500 spare sensor, 40CF-R, SS
351-530 MPG500 spare sensor, 40CF-F, SS
351-508 MPG500 spare sensor, 25KF, TI
351-520 MPG500 spare sensor, 40KF, TI
351-544 MPG500 spare sensor, 40CF-R, TI
351-532 MPG500 spare sensor, 40CF-F, TI
351-507 MPG504 spare sensor, 25KF, SS
351-519 MPG504 spare sensor, 40KF, SS
351-543 MPG504 spare sensor, 40CF-R, SS
351-531 MPG504 spare sensor, 40CF-F, SS
351-509 MPG504 spare sensor, 25KF, TI
351-521 MPG504 spare sensor, 40KF, TI
351-545 MPG504 spare sensor, 40CF-R, TI
351-533 MPG504 spare sensor, 40CF-F, TI
351-995 MxG40x/50x Spare parts ignition aid (10)
351-555 Spare ion chamber ss
351-556 Spare ion chamber ti
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