MPG40x ATM~초고진공 게이지

 

INFICON 전환형 마그네트론 피라니 게이지인 MPG400 및 MPG401은 5 x 10-9 mbar ~ 대기(3.8 x 10-9 Torr ~ 대기)를 측정합니다. 하나의 로그 아날로그 출력 신호를 사용하는 하나의 소형 장치에 기술을 결합하면 설치, 설정 및 통합의 복잡성이 크게 줄어듭니다.

장점

  • 조합 게이지 – 전환형 마그네트론 및 Pirani
  • 5 x 10-9 mbar ~ 대기의 광범위한 측정 범위
  • 단선될 필라멘트 없음
  • 뛰어난 점화 특성
  • 세척 용이
  • FPM 또는 금속 씰링 피드스루
  • 고전압 LED 표시등
  • 로그 아날로그 출력 신호

일반적인 응용 분야

  • 고진공 압력 모니터링
  • 증발 및 스퍼터링 시스템에 대한 기저 압력
  • 중진공부터 고진공 범위까지 일반 진공 측정 및 제어
  • MPG400/ 401 Inverted Magnetron Pirani Gauge

사양

유형 MPG400 FPM sealed MPG401 metal-sealed
측정 범위(공기, N2) 5 x 10-9 … 1000 5 x 10-9 … 1000
정확성(N2)    
1 x 10-8 … 100mbar % of reading ≈±30% ≈±30%
반복성    
1 x 10-8 … 100mbar % of reading ≈±5% ≈±5%
장착 방향 any any
허용 압력 bar (absolute) ≤10 (limited to inert gases) ≤10 (limited to inert gases)
허용 온도    
작동(주변) °C +5 … +55 +5 … +55
보관 °C –40 … +65 –40 … +65
베이크 아웃 (1) °C 150 150
필라멘트 온도(피라니) °C 120 120
공급 전압    
게이지 V (dc) +15 … +30 +15 … +30
최대 케이블 길이의 공급 유닛에서 (2) V (dc) +16 … +30 +16 … +30
리플 V (p-p) ≤1 ≤1
전력 소모량 W ≤2 ≤2
연결할 퓨즈 AT ≤1 ≤1
출력신호(측정 신호)    
전압 범위 V 0 … +10.5 0 … +10.5
측정 범위 V +1.82 … +8.6 +1.82 … +8.6
전압 대 압력 logarithmic, 0.6 volts per decade logarithmic, 0.6 volts per decade
에러 신호    
공급 없음 V <0.5 <0.5
피라니 센서, 필라멘트 파손 V >9.5 >9.5
출력 임피던스 2 x 10 2 x 10
최소 부하시 임피던스 kΩ 10, short-circuit proof 10, short-circuit proof
응답 시간    
p > 10-6mbar ms <10 <10
p = 10-8mbar ms ≈1000 ≈1000
게이지 식별 85, referenced to supply common 85, referenced to supply common
상태    
피라니 전용 모드 V 0 (low) 0 (low)
결합된 피라니 / 콜드 캐소드 모드 V 15 … 30 (high) 15 … 30 (high)
LED LED green high voltage on high voltage on
전기 연결 FCC 68 appliance connector, 8 poles, female FCC 68 appliance connector, 8 poles, female
센서 케이블 8 poles plus shielding 8 poles plus shielding
케이블 길이 m ≤50 (8 x 0.14 mm2) ≤50 (8 x 0.14 mm2)
작동 전압 kV ≤3.3 ≤3.3
작동 전류 µA ≤500 ≤500
진공에 노출된 재료 stainless steel, Al2O3, FPM75, Mo, Ni, Au, W stainless steel, Al2O3, Ag, Cu, Sn, Mo, Ni, Au, W
내부 용적 cm³ ≈20 ≈20
무게    
DN 25 ISO-KF g ≈700 ≈730
DN 40 ISO-KF g ≈720 ≈750
DN 40 CF-F g ≈980 ≈1010
보호 범주 IP 40 IP 40
표준    
CE 준수 EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1 EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1

1) 전자장치 및 자기 차폐 장치가 없습니다.

2) 공급 장치의 최소 전압은 센서 케이블의 길이에 비례하여 증가해야 합니다.

부품 번호

MPG400 FPM sealed
부품 번호 설명
351-010 MPG400 FPM 씰, DN 25 ISO-KF
351-011 MPG400 FPM 씰, DN 40 ISO-KF
351-012 MPG400 FPM 씰, DN 40 CF-F
MPG401 metal-sealed
부품 번호 설명
351-020 MPG401 메탈 씰, DN 25 ISO-KF
351-021 MPG401 DN 40 ISO-KF
351-022 MPG401 메탈 씰, DN 40 CF-F
351-023 마그네틱 쉴드

부속품

MPG400 FPM sealed
부품 번호 설명
351-023 마그네틱 쉴드
MPG401 metal-sealed
부품 번호 설명
351-023 마그네틱 쉴드

예비 부품

MPG400 FPM sealed
부품 번호 설명
BN846469-T SPARE MEASUREMENT SYSTEM PKR 251
BN846470-T Spare measurement system MPG400 DN40 KF
BN846471-T Spare measurement system MPG400 DN40CF-F
351-994 MPG40X IGNITION TOOL SET
351-995 MxG40x/50x Spare parts ignition aid (10)
351-998 MPG400 REPAIR SET
351-999 MPG400 MAINTENANCE SET
MPG401 metal-sealed
부품 번호 설명
BN846472-T Replacement meas. unit MPG401 DN25 KF
BN846473-T Replacement meas. unit MPG401 DN40 KF
BN846474-T SPARE MEASURE SYSTEM, MPG401 DN40CF-F
351-994 MPG40X IGNITION TOOL SET
351-995 MxG40x/50x Spare parts ignition aid (10)
351-996 MPG401 REPAIR SET
351-997 MPG401 MAINTENANCE SET
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