MPG40x ATM~초고진공 게이지

 

INFICON 전환형 마그네트론 피라니 게이지 MPG400 및 MPG401은 5 x 10-9mbar부터 대기압까지 측정합니다(3.8 x 10-9Torr ~ 대기압). 하나의 단일 컴팩트 유닛을 하나의 로그 아날로그 출력신호와 결합하는 기술을 사용하여 설치, 설정 및 통합 복잡성을 상당히 개선했습니다.

장점

  • Direct replacement for PTR 90 Vacuum Transmitters
  • 컴비네이션 게이지 – Inverted Magnetron & Pirani
  • 5 x 10-9mbar ~ 대기압의 광범위한 측정 범위
  • 소손될 필라멘트 없음
  • 뛰어난 점화 특성
  • 세척 용이
  • FPM 또는 금속 씰 피드스루
  • 고전압 LED 표시등
  • 로그 아날로그 출력신호

일반적인 응용 분야

  • 고진공 압력 모니터링
  • 이베포레이션 및 스퍼터 시스템 베이스 압력
  • 중진공 범위 및 고진공 범위에서 일반적인 진공 측정 및 제어

뉴스

MAG400 series is direct replacement for PTR 90 Vacuum Transmitters
  • MPG400/ 401 Inverted Magnetron Pirani Gauge

사양

유형 MPG400 FPM sealed
정확성(N2)  
1 x 10-8 … 100mbar % of reading ≈±30%
반복성  
1 x 10-8 … 100mbar % of reading ≈±5%
장착 방향 any
허용 압력 bar (absolute) ≤10 (limited to inert gases)
허용 온도  
작동(주변) °C +5 … +55
보관 °C –40 … +65
베이크 아웃 (1) °C 150
필라멘트 온도(피라니) °C 120
공급 전압  
게이지 V (dc) +15 … +30
최대 케이블 길이의 공급 유닛에서 (2) V (dc) +16 … +30
리플 V (p-p) ≤1
전력 소모량 W ≤2
연결할 퓨즈 AT ≤1
출력신호(측정 신호)  
전압 범위 V 0 … +10.5
측정 범위 V +1.82 … +8.6
전압 대 압력 logarithmic, 0.6 volts per decade
에러 신호  
공급 없음 V <0.5
피라니 센서, 필라멘트 파손 V >9.5
출력 임피던스 2 x 10
최소 부하시 임피던스 kΩ 10, short-circuit proof
응답 시간  
p > 10-6mbar ms <10
p = 10-8mbar ms ≈1000
게이지 식별 85, referenced to supply common
상태  
피라니 전용 모드 V 0 (low)
결합된 피라니 / 콜드 캐소드 모드 V 15 … 30 (high)
LED LED green high voltage on
전기 연결 FCC 68 appliance connector, 8 poles, female
센서 케이블 8 poles plus shielding
케이블 길이 m ≤50 (8 x 0.14 mm2)
작동 전압 kV ≤3.3
작동 전류 µA ≤500
진공에 노출된 재료 stainless steel, Al2O3, FPM75, Mo, Ni, Au, W
내부 용적 cm³ ≈20
무게  
DN 25 ISO-KF g ≈700
DN 40 ISO-KF g ≈720
DN 40 CF-F g ≈980
보호 범주 IP 40
표준  
CE 준수 EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1

1) 전자장치 및 자기 차폐 장치 없음.

2) 공급 유닛의 최소 전압이 센서 케이블의 길이에 비례하여 증가해야 합니다.

부품 번호

MPG400 FPM sealed
부품 번호 설명
351-010 MPG400 FPM 씰, DN 25 ISO-KF
351-011 MPG400 FPM 씰, DN 40 ISO-KF
351-012 MPG400 FPM 씰, DN 40 CF-F
351-998 MPG400 REPAIR SET
351-995 MxG40x/50x Spare parts ignition aid (10)
351-994 MPG40X IGNITION TOOL SET
351-999 MPG400 MAINTENANCE SET
211-113 CENTERING RING WITH BAFFLE DN 25 KF

부속품

MPG400 FPM sealed
부품 번호 설명
351-023 마그네틱 쉴드
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