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MPG40x ATM~초고진공 게이지
INFICON 전환형 마그네트론 피라니 게이지 MPG400 및 MPG401은 5 x 10-9mbar부터 대기압까지 측정합니다(3.8 x 10-9Torr ~ 대기압). 하나의 단일 컴팩트 유닛을 하나의 로그 아날로그 출력신호와 결합하는 기술을 사용하여 설치, 설정 및 통합 복잡성을 상당히 개선했습니다.
장점
- Direct replacement for PTR 90 Vacuum Transmitters
- 컴비네이션 게이지 – Inverted Magnetron & Pirani
- 5 x 10-9mbar ~ 대기압의 광범위한 측정 범위
- 소손될 필라멘트 없음
- 뛰어난 점화 특성
- 세척 용이
- FPM 또는 금속 씰 피드스루
- 고전압 LED 표시등
- 로그 아날로그 출력신호
일반적인 응용 분야
- 고진공 압력 모니터링
- 이베포레이션 및 스퍼터 시스템 베이스 압력
- 중진공 범위 및 고진공 범위에서 일반적인 진공 측정 및 제어
뉴스
MAG400 series is direct replacement for PTR 90 Vacuum Transmitters사양
| 유형 | MPG400 FPM sealed | |
|---|---|---|
| 정확성(N2) | ||
| 1 x 10-8 … 100mbar | % of reading | ≈±30% |
| 반복성 | ||
| 1 x 10-8 … 100mbar | % of reading | ≈±5% |
| 장착 방향 | any | |
| 허용 압력 | bar (absolute) | ≤10 (limited to inert gases) |
| 허용 온도 | ||
| 작동(주변) | °C | +5 … +55 |
| 보관 | °C | –40 … +65 |
| 베이크 아웃 (1) | °C | 150 |
| 필라멘트 온도(피라니) | °C | 120 |
| 공급 전압 | ||
| 게이지 | V (dc) | +15 … +30 |
| 최대 케이블 길이의 공급 유닛에서 (2) | V (dc) | +16 … +30 |
| 리플 | V (p-p) | ≤1 |
| 전력 소모량 | W | ≤2 |
| 연결할 퓨즈 | AT | ≤1 |
| 출력신호(측정 신호) | ||
| 전압 범위 | V | 0 … +10.5 |
| 측정 범위 | V | +1.82 … +8.6 |
| 전압 대 압력 | logarithmic, 0.6 volts per decade | |
| 에러 신호 | ||
| 공급 없음 | V | <0.5 |
| 피라니 센서, 필라멘트 파손 | V | >9.5 |
| 출력 임피던스 | Ω | 2 x 10 |
| 최소 부하시 임피던스 | kΩ | 10, short-circuit proof |
| 응답 시간 | ||
| p > 10-6mbar | ms | <10 |
| p = 10-8mbar | ms | ≈1000 |
| 게이지 식별 | 85, referenced to supply common | |
| 상태 | ||
| 피라니 전용 모드 | V | 0 (low) |
| 결합된 피라니 / 콜드 캐소드 모드 | V | 15 … 30 (high) |
| LED | LED green | high voltage on |
| 전기 연결 | FCC 68 appliance connector, 8 poles, female | |
| 센서 케이블 | 8 poles plus shielding | |
| 케이블 길이 | m | ≤50 (8 x 0.14 mm2) |
| 작동 전압 | kV | ≤3.3 |
| 작동 전류 | µA | ≤500 |
| 진공에 노출된 재료 | stainless steel, Al2O3, FPM75, Mo, Ni, Au, W | |
| 내부 용적 | cm³ | ≈20 |
| 무게 | ||
| DN 25 ISO-KF | g | ≈700 |
| DN 40 ISO-KF | g | ≈720 |
| DN 40 CF-F | g | ≈980 |
| 보호 범주 | IP 40 | |
| 표준 | ||
| CE 준수 | EN 61000-6-2, EN 61000-6-3, EN 61010-1 | |
1) 전자장치 및 자기 차폐 장치 없음.
2) 공급 유닛의 최소 전압이 센서 케이블의 길이에 비례하여 증가해야 합니다.
부품 번호
| MPG400 FPM sealed | |
|---|---|
| 부품 번호 | 설명 |
| 351-010 | MPG400 FPM 씰, DN 25 ISO-KF |
| 351-011 | MPG400 FPM 씰, DN 40 ISO-KF |
| 351-012 | MPG400 FPM 씰, DN 40 CF-F |
| 351-998 | MPG400 REPAIR SET |
| 351-995 | MxG40x/50x Spare parts ignition aid (10) |
| 351-994 | MPG40X IGNITION TOOL SET |
| 351-999 | MPG400 MAINTENANCE SET |
| 211-113 | CENTERING RING WITH BAFFLE DN 25 KF |
부속품
| MPG400 FPM sealed | |
|---|---|
| 부품 번호 | 설명 |
| 351-023 | 마그네틱 쉴드 |
데이터시트
설명서
- TINA48E1 MPG40x Operating manual_ long.pdf |한국| |EN| |DE| |ES| |日文| |中文|
- TINA48E1 MPG40x Operating Manual_long.pdf |한국| |EN| |DE| |ES| |日文| |中文|
- TINA48D1 MPG40x Gebrauchsanleitung_lang.pdf |한국| |EN| |DE| |ES| |日文| |中文|
- TIMA48E1 MPG40x Operating Manual_short.pdf |한국| |EN| |DE| |ES| |日文| |中文|
- TIMA48D1 MPG40x Gebrauchsanleitung_kurz.pdf |한국| |EN| |DE| |ES| |日文| |中文|
카탈로그
- TIMA48D1 MPG40x Gebrauchsanleitung_kurz.pdf |한국| |EN| |DE| |ES| |日文| |中文|
- TIMA48D1 MPG40x Operating Manual_short.pdf |한국| |EN| |DE| |ES| |日文| |中文|
3D Step Files
- 351-010 MPG400 FPM sealed, DN 25 ISO-KF |한국| |EN| |DE| |ES| |日文| |中文|
- 351-011 MPG400 FPM sealed, DN 40 ISO-KF |한국| |EN| |DE| |ES| |日文| |中文|
- 351-011 MPG400 FPM sealed, DN 40 CF-F |한국| |EN| |DE| |ES| |日文| |中文|
- 351-020 MPG401 metal sealed, DN 25 ISO-KF |한국| |EN| |DE| |ES| |日文| |中文|
- 351-021 MPG401 metal sealed, DN 40 ISO-KF |한국| |EN| |DE| |ES| |日文| |中文|
- 351-022 MPG401 metal sealed, DN 40 CF-F |한국| |EN| |DE| |ES| |日文| |中文|
