선형 동작 피드스루 CF

INFICON의 매우 다양한 기계식 피드스루는 모든 까다로운 분야(예: 코팅 분야 챔버 또는 실험실 조건 하에 적용되는 연구 프로젝트)에 적합한 장치를 제공합니다.

사용 가능한 플랜지 설계 ISO-KF/ISO-K 및 CF는 당사 피팅 라인에 해당합니다. 모든 피드스루는 누출률 최대 1 x 10-9 mbarl/s인 진공 시스템에서 작동하기에 적합합니다. UHV의 경우 모든 금속 설계 피드스루도 사용할 수 있습니다.

장점

  • 점차 늘어나는 진공 요건을 충족하기 위해 벨로우즈 포함
  • 다이렉트 푸시 앤 풀 작동
  • 미동측정 나사를 사용하여 고정밀 조정
  • 2011/65/EU RoHS 준수
  • Linear Motion Feedthroughs CF

사양

유형 FPU016-H FPU040-H FPU016-Z FPU040-Z
진공 연결 DN 16 CF-R DN 40 CF-R DN 16 CF-R DN 40 CF-R
피드스루/씰 bellow bellow bellow bellow
축 연결 M4x16mm M6x10mm, Ø10mm M4x16mm M6x10mm, Ø10mm
액추에이터 manual manual micrometer screw micrometer screw
행정 mm 25 50 20 50
회전당 행정 mm ­ ­ 0.5 1
눈금 간격 mm 5 10 0.01 0.005
축 부하        
최대에서 반경방향 힘 N 20 100 20 100
축방향 힘 진공 N 85 140 185 440
ATM에 대한 축방향 힘 N 100 200 200 500
비틀림 토크 N•m 0.2 0.5 0.2 0.5
기밀성 mbar•L/s 5 x 10-11 5 x 10-11 5 x 10-11 5 x 10-11
압력 (절대압) 1 x 10-10 mbar ... 2 bar 1 x 10-10 mbar ... 2 bar 1 x 10-10 mbar ... 2 bar 1 x 10-10 mbar ... 2 bar
베이크 아웃 온도        
피드스루 °C 300 300 300 300
미동측정 나사 °C ­ ­ 100 100
공정 매체에 노출된 재료 stainless steel 304L/1.4306, stainless steel 316Ti/1.4571 stainless steel 304L/1.4306, stainless steel 316Ti/1.4571 stainless steel 304L/1.4306, stainless steel 316Ti/1.4571 stainless steel 304L/1.4306, stainless steel 316Ti/1.4571
무게 kg 0.15 0.75 0.25 1

부품 번호

FPU016-H
부품 번호 설명
214-330 FPU016-H Linear feedthrough DN 16 CF-R
FPU040-H
부품 번호 설명
214-332 FPU040-H Linear feedthrough DN 40 CF-R
FPU016-Z
부품 번호 설명
214-334 FPU016-Z Linear feedthrough DN 16 CF-R
FPU040-Z
부품 번호 설명
214-336 FPU040-Z Linear feedthrough DN 40 CF-R
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