IQM-233 박막 증착 컨트롤러 PCI-Express 카드

PCI EXPRESS 카드로 저비용 증착 제어

IQM-233 PCI Express 카드는 사용자의 PC를 박막 증착 컨트롤러로 변화시킵니다. INFICON에서 설계하고 제조한 이 제품은 시스템 OEM이나 박막 증착 컨트롤러를 기존 PC 또는 PLC 제어 시스템에 포함시키려는 모든 제조업체에게 이상적인 선택입니다. 설치는 간단합니다. 빈 PCI Express 슬롯만 있으면 됩니다. IQM-233은 표준 또는 소형 폼팩터 PC 타워에 끼워 사용할 수 있습니다.

비교할 수 없는 기능
IQM-233은 각 카드에 3개의 QCM 센서 입력과 3개의 소스 출력을 가지고 있는 것이 특징입니다. 최대 2개의 IQM-233 카드를 단일 PC에 설치하여(IQS-233 소프트웨어 옵션이 필요함) 최대 6개의 센서 입력과 6개의 소스 출력을 제공할 수 있습니다. INFICON만이 완전 통합된 PC 제어 QCM 컨트롤러에서 이러한 수준의 유연성을 제공합니다.

IQM-233은 INFICON 오실레이터 IPN 782-900-010과 호환될 수 있으므로, SQM-242 카드를 교체할 때 새 오실레이터가 필요하지 않습니다. 또한 모든 INFICON 싱글 및 듀얼 센서 헤드와 호환될 수 있습니다.

자신에게 적합한 소프트웨어 솔루션 선택
IQM-233은 IQM-233 카드 하나로 간단한 순차적 또는 동시 증착 공정을 설정하고 제어하기 위한 기본 Windows® 소프트웨어를 포함합니다. IQS-233 동시증착 Windows® 소프트웨어 옵션은 다층 동시증착, 그래프 작성 및 이벤트 선택 가능 릴레이/입력 기능과의 PLC 통합을 포함하여 더 복잡한 공정 설정이 가능합니다. IQS-233 소프트웨어를 이용해 최대 2개의 IQM-233 카드를 사용할 수 있습니다.

자신의 소프트웨어를 작성하고 싶어하는 고객을 위한 대안으로, IQM-233은 LabVIEW™ 샘플 프로그램을 포함하여 기본 기능을 제공하고 프로그래밍 방법을 보여줍니다.


특징

  • PCI Express
  • 3개의 센서 입력, 3개의 제어 출력
  • PC에 복수 카드 설치
  • 다중 소스의 동시증착
  • 간편한 PLC 통합으로 입출력 기능 추가
  • 간편한 사용
  • 가격

사양

유형 IQM-233
PC 인터페이스 PCIe x1 - PCE Express Slot
(Std or SFF)
센서 입력 및 성능  
센서 출력 3
커넥터 SMA - Includes one SMA/BNC adapter
주파수 해상도(1) ±0.10 Hz @ 6 MHz
측정 주파수 범위 Adjustable:
4.0 MHz minimum
6.1 MHz maximum
두께 및 비율 해상도/측정(2) ±0.12 Å
측정 간격 0.1 to 2.0 s (adjustable)
출력  
소스 출력 3
커넥터 15-pin high density D-sub
신호 0 to +/- 10 V (dc)
해상도 15 Bit Plus Sign
임피던스 50 Ω
(1) 0.25초 측정 간격에 지정된 해상도
(2) 툴링/밀도 = 100/1, 기본 주파수 = 6 MHz, 0.25초 측정 간격

부품 번호

IQM-233
부품 번호 설명
782-IQM-233-G1 표준 PCI Express 슬롯용 IQM-233 QCM 컨트롤러 카드
782-IQM-233-G2 SFF(Small Form Factor) PCI Express 슬롯용 IQM-233 QCM 컨트롤러 카드
782-IQS-233 IQS-233 동시 증착 소프트웨어

부속품

이름 명세
전면 장착 싱글 센서 전면 장착 싱글 센서
전면 장착 듀얼 센서 전면 장착 듀얼 센서
Cool Drawer 싱글 센서 Cool Drawer 싱글 센서
Cool Drawer 듀얼 센서 Cool Drawer 듀얼 센서
로우 프로파일 듀얼 센서 로우 프로파일 듀얼 센서
UHV 베이커블 센서 UHV 베이커블 센서
스퍼터링 센서 스퍼터링 센서
Easy Rate Single Sensor Easy Rate Single Sensor
부품 번호 설명
Oscillator kits (오실레이터 및 케이블 포함)
783-500-109-10 3m(10ft) 오실레이터 키트 - OSC-100 오실레이터, 15.2cm(6in) BNC 케이블 및 3m(10ft) BNC 케이블 포함
783-500-109-25 7.6m(25ft) 오실레이터 키트 - OSC-100 오실레이터, 15.2cm(6in) BNC 케이블 및 7.6m(25ft) BNC 케이블 포함
783-500-109-50 15.2m(50ft) 오실레이터 키트 - OSC-100 오실레이터, 15.2cm(6in) BNC 케이블 및 15.2m(50ft) BNC 케이블 포함
783-500-109-75 22.8m(75ft) 오실레이터 키트 - OSC-100 오실레이터, 15.2cm(6in) BNC 케이블 및 22.8m(75ft) BNC 케이블 포함
Oscillator Only (포함된 케이블 없음)
783-500-013 OSC-100 오실레이터만 해당(케이블 없음)
Cables
600-1441-P1 IQM-233 센서 입력용 SMA 대 BNC 어댑터
782-902-011 15.2cm(6in) BNC 케이블, 수/암
782-902-012-10 3m(10ft) BNC 케이블, 수/수
782-902-012-25 7.6m(25ft) BNC 케이블, 수/수
782-902-012-50 15.2m(50ft) BNC 케이블, 수/수
782-902-012-75 22.8m(75ft) BNC 케이블, 수/수

소비재

이름 명세
석영 모니터 크리스탈 석영 모니터 크리스탈
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