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IQM-233 박막 증착 컨트롤러 PCI-Express 카드
PCI EXPRESS 카드로 저비용 증착 제어
IQM-233 PCI Express 카드는 사용자의 PC를 박막 증착 컨트롤러로 변화시킵니다. INFICON에서 설계하고 제조한 이 제품은 시스템 OEM이나 박막 증착 컨트롤러를 기존 PC 또는 PLC 제어 시스템에 포함시키려는 모든 제조업체에게 이상적인 선택입니다. 설치는 간단합니다. 빈 PCI Express 슬롯만 있으면 됩니다. IQM-233은 표준 또는 소형 폼팩터 PC 타워에 끼워 사용할 수 있습니다.
비교할 수 없는 기능
IQM-233은 각 카드에 3개의 QCM 센서 입력과 3개의 소스 출력을 가지고 있는 것이 특징입니다. 최대 2개의 IQM-233 카드를 단일 PC에 설치하여(IQS-233 소프트웨어 옵션이 필요함) 최대 6개의 센서 입력과 6개의 소스 출력을 제공할 수 있습니다. INFICON만이 완전 통합된 PC 제어 QCM 컨트롤러에서 이러한 수준의 유연성을 제공합니다.
IQM-233은 INFICON 오실레이터 IPN 782-900-010과 호환될 수 있으므로, SQM-242 카드를 교체할 때 새 오실레이터가 필요하지 않습니다. 또한 모든 INFICON 싱글 및 듀얼 센서 헤드와 호환될 수 있습니다.
자신에게 적합한 소프트웨어 솔루션 선택
IQM-233은 IQM-233 카드 하나로 간단한 순차적 또는 동시 증착 공정을 설정하고 제어하기 위한 기본 Windows® 소프트웨어를 포함합니다. IQS-233 동시증착 Windows® 소프트웨어 옵션은 다층 동시증착, 그래프 작성 및 이벤트 선택 가능 릴레이/입력 기능과의 PLC 통합을 포함하여 더 복잡한 공정 설정이 가능합니다. IQS-233 소프트웨어를 이용해 최대 2개의 IQM-233 카드를 사용할 수 있습니다.
자신의 소프트웨어를 작성하고 싶어하는 고객을 위한 대안으로, IQM-233은 LabVIEW™ 샘플 프로그램을 포함하여 기본 기능을 제공하고 프로그래밍 방법을 보여줍니다.
특징
- PCI Express
- 3개의 센서 입력, 3개의 제어 출력
- PC에 복수 카드 설치
- 다중 소스의 동시증착
- 간편한 PLC 통합으로 입출력 기능 추가
- 간편한 사용
- 가격
사양
| 유형 | IQM-233 | |
|---|---|---|
| PC 인터페이스 |
PCIe x1 - PCE Express Slot (Std or SFF) |
|
| 센서 입력 및 성능 | ||
| 센서 출력 | 3 | |
| 커넥터 | SMA - Includes one SMA/BNC adapter | |
| 주파수 해상도(1) | ±0.10 Hz @ 6 MHz | |
| 측정 주파수 범위 |
Adjustable: 4.0 MHz minimum 6.1 MHz maximum |
|
| 두께 및 비율 해상도/측정(2) | ±0.12 Å | |
| 측정 간격 | 0.1 to 2.0 s (adjustable) | |
| 출력 | ||
| 소스 출력 | 3 | |
| 커넥터 | 15-pin high density D-sub | |
| 신호 | 0 to +/- 10 V (dc) | |
| 해상도 | 15 Bit Plus Sign | |
| 임피던스 | 50 Ω | |
(2) 툴링/밀도 = 100/1, 기본 주파수 = 6 MHz, 0.25초 측정 간격
부품 번호
| IQM-233 | |
|---|---|
| 부품 번호 | 설명 |
| 782-IQM-233-G1 | 표준 PCI Express 슬롯용 IQM-233 QCM 컨트롤러 카드 |
| 782-IQM-233-G2 | SFF(Small Form Factor) PCI Express 슬롯용 IQM-233 QCM 컨트롤러 카드 |
| 782-IQS-233 | IQS-233 동시 증착 소프트웨어 |
부속품
| 이름 | 명세 |
|---|---|
| 전면 장착 싱글 센서 | 전면 장착 싱글 센서 |
| 전면 장착 듀얼 센서 | 전면 장착 듀얼 센서 |
| Cool Drawer 싱글 센서 | Cool Drawer 싱글 센서 |
| Cool Drawer 듀얼 센서 | Cool Drawer 듀얼 센서 |
| 로우 프로파일 듀얼 센서 | 로우 프로파일 듀얼 센서 |
| UHV 베이커블 센서 | UHV 베이커블 센서 |
| 스퍼터링 센서 | 스퍼터링 센서 |
| Easy Rate Single Sensor | Easy Rate Single Sensor |
| 부품 번호 | 설명 |
|---|---|
| Oscillator kits | (오실레이터 및 케이블 포함) |
| 783-500-109-10 | 3m(10ft) 오실레이터 키트 - OSC-100 오실레이터, 15.2cm(6in) BNC 케이블 및 3m(10ft) BNC 케이블 포함 |
| 783-500-109-25 | 7.6m(25ft) 오실레이터 키트 - OSC-100 오실레이터, 15.2cm(6in) BNC 케이블 및 7.6m(25ft) BNC 케이블 포함 |
| 783-500-109-50 | 15.2m(50ft) 오실레이터 키트 - OSC-100 오실레이터, 15.2cm(6in) BNC 케이블 및 15.2m(50ft) BNC 케이블 포함 |
| 783-500-109-75 | 22.8m(75ft) 오실레이터 키트 - OSC-100 오실레이터, 15.2cm(6in) BNC 케이블 및 22.8m(75ft) BNC 케이블 포함 |
| Oscillator Only | (포함된 케이블 없음) |
| 783-500-013 | OSC-100 오실레이터만 해당(케이블 없음) |
| Cables | |
| 600-1441-P1 | IQM-233 센서 입력용 SMA 대 BNC 어댑터 |
| 782-902-011 | 15.2cm(6in) BNC 케이블, 수/암 |
| 782-902-012-10 | 3m(10ft) BNC 케이블, 수/수 |
| 782-902-012-25 | 7.6m(25ft) BNC 케이블, 수/수 |
| 782-902-012-50 | 15.2m(50ft) BNC 케이블, 수/수 |
| 782-902-012-75 | 22.8m(75ft) BNC 케이블, 수/수 |
소비재
| 이름 | 명세 |
|---|---|
| 석영 모니터 크리스탈 | 석영 모니터 크리스탈 |
