IC6 박막 증착 컨트롤러

탁월한 결과의 반복

기능이 풍부한 IC6은 가능한 최고의 측정 정밀도를 제공합니다.

IC6 박막 증착 컨트롤러는 증착 공정을 최대한 활용할 수 있는 고유한 기능들과 INFICON 박막 컨트롤러의 입증된 성능을 결합하여 탁월한 가치를 제공합니다. IC6은 당사의 ModeLock 주파수 측정 시스템을 사용하여 1/10초마다 0.00433 Å/s이라는 업계 최고 수준의 속도 해상도로 안정적인 고해상도 속도 및 두께 측정을 제공합니다. 다른 어떤 석영 크리스탈 컨트롤러도 IC6의 성능, 품질 및 기능을 제공하지 못하므로 탁월한 결과를 반복해서 얻을 수 있습니다.

특징

  • INFICON ModeLock 기술은 매우 낮은 속도에서도 가장 안정적이고 가장 높은 해상도의 속도 및 두께 측정 가능
  • Auto Z 기능은 재료가 증착됨에 따라 Z 비율을 자동으로 결정하여 두께 정확도를 향상시킴
  • 최대 6개의 소스를 동시에 동시증착
  • 컬러 TFT LCD 디스플레이로 공정 진행 상황을 쉽게 볼 수 있음
  • 100 ms 샘플에 대해 +/-0.0035 Hz
  • 스크린샷, 레시피 저장 및 데이터 로깅을 위한 USB 데이터 저장
  • 간단하거나 복잡한 시스템에 통합할 수 있는 강력한 입출력 기능(확장 가능한 입력(28) 및 출력(24개 릴레이, 14 TTL 출력)과 로직 함수 사용(100개의 로직문)
  • 6개의 DAC 출력을 표준으로 제공하며 소스 제어, 속도 또는 두께 모니터링용으로 위해 6개 추가 선택 가능
  • 200개 층 각각에 최대 50개 공정을 처리할 수 있으며 최대 10,000개 층에 대해 공정을 서로 연결할 수 있음
  • 최대 8개의 센서에 대한 다중 센서 평균화
  • 4미터 XIU 옵션으로 대형 시스템에 대해 긴 진공 센서 케이블을 사용할 수 있음
  • 이더넷 통신 선택 가능
  • Optional IC6 Configuration Editor Software (part number 781-620-G1) - LabVIEW® based Windows® software that allows for offline creation and editing of IC6 configuration files and converts IC/5 configuration files to IC6 format.
  • RoHS 준수

일반적인 응용 분야

  • 고급 광학 코팅

사양

유형 IC6
측정 성능  
주파수 해상도 ±0.0035 Hz @ 6 MHz
두께 및 비율 해상도/측정(1) ±0.00433 Å
측정 주파수 범위 6.0 to 4.5 MHz (fixed)
두께 정확성(2) 0.5%
측정 간격 0.10 s
다중 측정 평균 0.1, 0.4, 1.0, 4.0, 10.0, 20.0, and 30.0 sec. averaging allowed
설계 특징  
Auto Z yes
자동 톤 yes
공증착 yes (up to 6 sources)
공정 처방 및 데이터 관리  
재료 프로그램 32
공정 층(공정당) 200
공정 50 (processes can be linked together)
USB 메모리 yes
데이터 기록 yes
하드웨어 특징  
센서(3)  
단일 8
듀얼 / CrystalTwo® 4 / 8 (with CrystalTwo® Switch)
CrystalSix® 8
Crystal 12® 8
일반 8
소스 제어  
소스 수(4) up to 6
소스 제어 전압 0 to +/-10 V, adjustable
출력 해상도 15 bits over full range (0 to 10V)
도가니 위치 64
입력/출력  
입력 14 standard, up to 28 optional; TTL/CMOS logic compatible or closure to ground
출력 8 standard, up to 24 optional programmable SPST relays rated at 30 V(dc) or 30 V(ac) RMS or 42 V peak @ 2.5 amps; 14 optional TTL outputs
레코더 출력(4) 0 to +10 V, adjustable
로직문 100 fully programmable; up to 5 actions, 5 events per statement
통신  
표준 RS232
선택사항 Ethernet
화면  
두께 해상도

1 Å for 0 to 9.999 kÅ

10 Å for 10.00 to 99.99 kÅ

100 Å for 100.0 to 999.9 kÅ

1 kÅ for 1000 to 9999 kÅ

속도 해상도

0.001 for 0 to 9.999 Å/s if rate filter time setting is 10 seconds or greater

0.01 for 0 to 99.99 Å/s

0.1 for 100 to 999.9 Å/s

작동  
소요 전력

100 – 230 V (ac) +/- 15%

50 / 60 Hz +/- 3 Hz

사용 온도 0 to 50 C (32 to 122 F)
크기(마운트 제외)(h x w x d) 5.25” x 19” x 13” (133mm x 483mm x 330 mm)
중량 23 lbs (10.5 kg)

(1) 툴링/밀도 = 100/1, 기본 주파수 = 6MHz

(2) 프로세스에 따라 달라짐, 수치는 일반적인 정확도를 반영함

(3) 각 유형의 최대 구성

(4) IC6은 6개의 DAC 출력을 표준으로 제공하고, 6개 이상은 옵션으로 추가할 수 있습니다.  12개 중 임의의 출력을 소스 제어 전압이나 레코더 출력으로 구성할 수 있지만 동시에 제어할 수 있는 소스 수는 6개입니다.

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부속품

이름 명세
전면 장착 싱글 센서 전면 장착 싱글 센서
전면 장착 듀얼 센서 전면 장착 듀얼 센서
Cool Drawer 싱글 센서 Cool Drawer 싱글 센서
Cool Drawer 듀얼 센서 Cool Drawer 듀얼 센서
로우 프로파일 듀얼 센서 로우 프로파일 듀얼 센서
UHV 베이커블 센서 UHV 베이커블 센서
ALD 센서 ALD 센서
스퍼터링 센서 스퍼터링 센서
CrystalSix® 센서 CrystalSix® 센서
Easy Rate Single Sensor Easy Rate Single Sensor
Crystal 12® 센서 Crystal 12® 센서
RSH-600 회전 센서 RSH-600 회전 센서
부품 번호 설명
755-262-G1 Handheld Power Controller
779-220-G1 CrystalTwo 스위치, 15.2cm(6in.) BNC 케이블
779-220-G2 CrystalTwo 스위치, 50.8cm(20in.) BNC 케이블
Oscillator kits (오실레이터 및 케이블 포함)
781-611-G15 4.6m(15ft) 케이블 포함 XIU PKG - Cygnus 2, IC6 또는 XTC/3에서 사용
781-611-G30 9.1m(30ft) 케이블 포함 XIU PKG - Cygnus 2, IC6 또는 XTC/3에서 사용
781-611-G50 15.2m(50ft) 케이블 포함 XIU PKG - Cygnus 2, IC6 또는 XTC/3에서 사용
781-611-G100 30.5m(100ft) 케이블 포함 XIU PKG - Cygnus 2, IC6 또는 XTC/3에서 사용
781-612-G15 4.6m(15ft) XIU 케이블 포함 4m XIU PKG - 4m 진공 케이블 및 6in BNC(XIU-피드스루) 케이블 포함 - Cygnus 2, IC6 또는 XTC/3에서 사용
781-612-G30 9.1m(30ft) XIU 케이블 포함 4m XIU PKG - 4m 진공 케이블 및 6in BNC(XIU-피드스루) 케이블 포함 - Cygnus 2, IC6 또는 XTC/3에서 사용
781-612-G50 15.2m(50ft) XIU 케이블 포함 4m XIU PKG - 4m 진공 케이블 및 6in BNC(XIU-피드스루) 케이블 포함 - Cygnus 2, IC6 또는 XTC/3에서 사용
781-612-G100 30.5m(100ft) XIU 케이블 포함 4m XIU - 4m 진공 케이블 및 6in BNC(XIU-피드스루) 케이블 포함 - Cygnus 2, IC6 모든 XTC/3에서 사용
781-613-G15 4.6m(15ft) XIU 케이블 포함 4m XIU PKG - 3.5m 진공 케이블 및 20in BNC(XIU-피드스루) 케이블 포함 - Cygnus 2, IC6 또는 XTC/3에서 사용
781-613-G30 9.1m(30ft) XIU 케이블 포함 4m XIU 패키지 - 3.5m 진공 속 케이블 및 20in BNC(XIU-피드스루) 케이블 포함 - Cygnus 2, IC6 또는 XTC/3에서 사용함
781-613-G50 15.2m(50ft) XIU 케이블 포함 4m XIU PKG - 3.5m 진공 케이블 및 20in BNC(XIU-피드스루) 케이블 포함 - Cygnus 2, IC6 또는 XTC/3에서 사용
781-613-G100 30.5m(100ft) XIU 케이블 포함 4m XIU PKG - 3.5m 진공 케이블 및 20in BNC(XIU-피드스루) 케이블 포함 - Cygnus 2, IC6 또는 XTC/3에서 사용
Oscillator Only (포함된 케이블 없음)
781-600-G1 XIU(오실레이터) - XIU-센서 헤드 케이블의 경우, 15~183cm(6~72in) 길이 - Cygnus 2, IC6 또는 XTC/3에서 사용
781-600-G2 XIU(오실레이터) - XIU-센서 헤드 케이블의 경우, 3~4m(118~157in) 길이 - Cygnus 2 또는 IC6에서 사용
Cables
600-1261-P100 30.5(100ft) 케이블, Cygnus 2, IC6 또는 XTC/3 컨트롤러-XIU
600-1261-P15 4.6m(15ft) 케이블, Cgynus 2, IC6 또는 XTC/3 컨트롤러-XIU
600-1261-P30 9.1m(30ft) 케이블, Cygnus 2, IC6 또는 XTC/3 컨트롤러-XIU
600-1261-P50 15.2m(50ft) 케이블, Cygnus 2, IC6 또는 XTC/3 컨트롤러-XIU
755-257-G6 15.2cm(6in) BNC 케이블, XIU-진공 피드스루
Configuration Editor Software
781-620-G1 IC6 Configuration Editor Software - LabVIEW® based Windows® software that allows for offline creation and editing of IC6 configuration files and converts IC/5 configuration files to IC6 format.

소비재

이름 명세
석영 모니터 크리스탈 석영 모니터 크리스탈
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