HPG400 ATM~고진공 게이지

 

INFICON 고압 고온 이온화 피라니 게이지인 HPG400은 2×10-6 mbar부터 대기(1.5×10-6 Torr ~ 대기)까지의 압력을 측정하는 소형의 경제적인 단일 패키지에 고압 고온 이온화 및 피라니 센서를 결합합니다. HPG400은 정확한 스퍼터 공정 압력 제어를 위해 매우 반복성 높고 재현 가능한 압력 측정을 제공합니다.

장점

  • HPG400은 비용 및 장비 공간을 줄이고 진공 시스템 설치 및 설정 복잡성 감소
  • 고압 고온 이온 게이지는 향상된 공정 제어를 위해 1×10-5 … 1 mbar의 정확하고 신뢰할 수 있는 압력 측정 제공
  • 5×10-2 ~ 1 mbar의 사용자 선택형 고온 이온 배출 활성화
  • Pirani 인터록은 핫 필라멘트의 조기 단선 방지
  • 옵션인 그래픽 디스플레이 및 필드버스 인터페이스 사용 가능
  • 자동 고진공 Pirani 조정으로 작업자 개입 감소
  • RoHS 준수

일반적인 응용 분야

  • 반도체 제조, 전자장치 및 미디어 산업의 스터퍼 분야
  • 산업용 코팅
  • 저진공부터 고진공 범위까지 일반 진공 측정 및 제어
  • HPG400 High Pressure Ionisation Gauge

사양

유형 HPG400
측정 범위(공기, N2) 2×10-6 … 1000
정확성  
10-5 … 1mbar % of reading ±15 (1)
반복성  
10-5 … 10-1mbar % of reading 2
10-1 … 100mbar % of reading 30
핫 이온 이미션 온, 선택 가능  
옵션 1 mbar 1
옵션 2 mbar 5×10-1
옵션 3 mbar 2×10-1
옵션 4 mbar 1×10-1
옵션 5 mbar 5×10-2
최대 압력 bar (absolute) 2
온도  
작동(주변) °C 0 … +50
보관 °C -20 … +70
플랜지에서 베이크 아웃 °C 80
베이크 아웃 전자장치 제거 °C 150
공급 전압 20 … 28
출력신호 아날로그  
출력신호 V 0 … +10.2
측정 범위 핫 캐소드 V 1.5 … 7.5
측정 범위 피라니 V 8.5 … 9.75
전압 대 압력 핫 캐소드 volts per decade 1
전압 대 압력 피라니 volts per decade 0.25
에러 신호 핫 캐소드 V 0.3
에러 신호 피라니 V 0.5
최소 부하 임피던스 kΩ 10
인터페이스(디지털) (2) RS232C
전기 연결 D-Sub, 15-pin, male
케이블 길이, 최대 (3) m (ft.) 100 (330)
진공에 노출된 재료 Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
내부 용적 KF/CF cm³ (in.³) 20 (1.2) / 30 (1.8)
무게 KF/CF g 430 / 695
보호 수준 IP30
디바이스넷  
프로토콜 DeviceNet™, group 2 slave only
데이터 속도 스위치 kBaud 125, 250, 500 or network programmable
케이블 길이 125kbps m (ft.) 500 (1650)
케이블 길이 250kbps m (ft.) 250 (825)
케이블 길이 500kbps m (ft.) 100 (330)
MAC ID 2 switches (address 00 - 63) or network programmable
네트워크 크기 up to 64 nodes per segment
디지털 기능 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
아날로그 기능 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
비주얼 통신 표시등 LED network status (green / red) ; LED module status (green / red)
사양 DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
장치 유형 ''CG'' for combination gauge
I/O 슬레이브 메시징 polling only
셋포인트 릴레이: 셋포인트 개수 2
셋포인트 릴레이: 범위 mbar 2×10-6 … 100
셋포인트 릴레이: 릴레이 접점 n.o., potential free
셋포인트 릴레이: 히스테리시스 % of reading 10
셋포인트 릴레이: 접점 정격 60
디바이스넷 공급 전압 11 … 25
게이지 공급 전압 V (dc) 20 … 28
디바이스넷 커넥터 Microstyle, 5-pin
HPG 커넥터(아날로그 출력, 공급 전압, 셋포인트) D-Sub, 15-pin, male
Profibus DP  
전송 속도 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
주소 2 switches (address 00 - 127) or network programmable
디지털 기능 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
아날로그 기능 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
셋포인트 릴레이: 셋포인트 개수 2
셋포인트 릴레이: 범위 mbar 2×10-6 … 100
셋포인트 릴레이: 릴레이 접점 n.o., potential free
셋포인트 릴레이: 히스테리시스 % of reading 10
셋포인트 릴레이: 접점 정격 60
Profibus DP 커넥터 D-Sub, 9-pin, female
HPG 커넥터(아날로그 출력, 공급 전압, 셋포인트) D-Sub, 15-pin, male

(1) 10-5 mbar부터 일부 고온 이온 배출 값까지의 정확성

(2) RS232C 또는 VGC40x 시리즈 컨트롤러와 필드버스를 동시에 사용할 수 없음

(3) RS232C 동작의 경우 < 30m

부품 번호

HPG400
부품 번호 설명
353-520 HPG400 HP Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF
354-486 HPG400 Spare meas. system DN 25 ISO-KF
353-521 HPG400 HP Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF
353-522 HPG400 HP Pirani Gauge; DN 40 CF-F
353-523 HPG400 HP Pirani Gauge; DN 40 CF-F
353-525 HPG400-SP HP Pirani Gauge; DN25ISO-KF
353-526 HPG400-SP PBus, DN 40 CF-F
353-527 HPG400-SD HP Pirani Gauge; DN25ISO-KF
353-528 HPG400-SD 디바이스넷 DN 40 CF-F

부속품

HPG400
부품 번호 설명
211-113 CENTERING RING WITH BAFFLE DN 25 KF
353-511 POWER SUPPLY BPG400 24VDC
357-499 Baffle HPG (10 pieces)

예비 부품

HPG400
부품 번호 설명
354-487 HPG400 Spare meas. system DN 25 ISO-KF
354-488 HPG400 Spare meas. system DN 40 CF-F
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