UL5000 건식 헬륨 누출 검출기

ULTRATEST™ 센서 기술

 

누출 검출에서 속도 및 정확도 정의

INFICON UL5000 모바일 헬륨 누출 검출기는 가장 중요하고 까다로운 누출 검출 분야에 맞게 설계되었습니다. 현장 검증된 진공 설계에서 INFICON 독점 소프트웨어 알고리즘 I-CAL 및 Hydro-S를 특징으로 하는 UL5000은 테스트 유연성, 높은 민감도 및 신속 정확한 결과를 제공하여 어떤 누출 검출 분야든 빠르고 쉽게 만들어 줍니다.

 UL5000은 모든 측정 범위에서 빠른 응답 시간을 제공하고 매우 짧은 주기 시간에 테스트 조건 및 최종 결과에 도달합니다. 특수 설계된 진공 구조는 사용자가 요구하는 지속적으로 높은 헬륨 펌핑 속도와 매우 빠른 응답 시간을 제공합니다.

장점

  • 검사 조건에 빠르게 도달할 수 있게 해주는 HYDRO-S(HYDROgen-Suppression).
  • 모든 측정 범위의 누출에 대해 빠른 반응 시간을 보장하는 I-CAL(Intelligent - Calculation Algorithm for Leak Rate)
  • 모든 압력에서 높은 헬륨 압축과 함께 최적화된 높은 헬륨 펌핑 속도를 제공하여 감도와 반응성이 탁월하고 빠른 청소가 가능한 특수 다중 입구 터보분자 펌프.
  • 최대 용량 및 챔버를 포함하여 모든 검사 대상에서 매우 빠른 반응을 위한 부스터 터보분자 펌프.
  • 문제 없고, 유지보수가 필요 없는 설계에서 수년 간의 정확하고 반복 가능한 결과로 현장에서 입증된 INFICON 자기 섹터 질량 분석계.
  • 헬륨 및 미립자 오염에서 UL5000을 보호하는 자체 보호 기능과 필요 시 UL5000을 즉시 사용할 수 있게 해주는 자동 퍼지 주기.
  • 유연한 작동을 위해 회전 가능한 디스플레이/제어 인터페이스 및 옵션 원격 핸드 컨트롤러.
  • 장치 및 시스템 소프트웨어에 대한 액세스 제어는 소프트웨어를 통해 활성화되어 무단 사용 또는 검사 설정에 대한 의도치 않은 변경을 방지할 수 있습니다.
  • UL5000을 최적의 성능으로 유지하기 위해 이메일을 통한 소프트웨어 업데이트.
  • 검사 편이성을 위해 ESD 매트 및 공구 상자를 포함하고 최적 높이의 작업 표면이 있는 워크스테이션 설계.

일반적인 응용 분야

  • 반도체 및 평면 패널 디스플레이 공구에서 사용되는 부품, 서브어셈블리 및 대형 챔버의 누출 검사
  • 반도체 및 평면 패널 공구의 누출 검사
  • 항공우주 부품, 서브어셈블리 및 시스템의 누출 검사
  • 저장 용기/저장 탱크의 누출 검사

사양

유형 UL5000 Helium Leak Detector
헬륨(진공 모드)에 대한 최소 탐지 누설률 mbar•L/s

< 5 • 10-12

헬륨(스니퍼 모드)에 대한 최소 탐지 누설률 mbar•L/s 8E-8
최대 입구 압력 GROSS 모드 mbar 15
최대 입구 압력 FINE 모드 mbar 2
최대 입구 압력 ULTRA 모드 mbar 0.4
배출 중 펌핑 속도 m³/h 25 at 50 Hz
헬륨 펌핑 속도 GROSS 모드 L/s max 8
헬륨 펌핑 속도 FINE 모드 L/s max 20
헬륨 펌핑 속도 ULTRA 모드 L/s >20
탐지 질량 2,3,4 amu
질량 분석기 섹터 필드 180 °C
필라멘트 이온원 이리듐/산화이트룸 코팅 2
보정된 내장 테스트 누설 E-7
테스트 포트 DN40KF
조절식 트리거 2
인터페이스 RS232
챠트 기록계 출력 2 x10 V
입력/출력 PLC compatible
허용 주위 온도(작동 중) °C +10...+40
중량 140
치수(LxWxL) 1068x530x1083
공급 전압 230(+-10%)50Hz
전력 소비 VA 1100

부품 번호

UL5000 Helium Leak Detector
부품 번호 설명
550-500A ULTRATEST UL5000, 230V, 50Hz, EU
550-501A ULTRATEST UL5000, 100/115V, 50/60Hz, US

부속품

UL5000 Helium Leak Detector
부품 번호 설명
14005 SL200, UL200/1000용 스니퍼 프로브
14022 RC1000 extension cable, 8 m
14090 LeakWare, PC SW for UL1000/UL5000
551-001 HELIUM BOTTLE HOLDER
551-010 리모컨 RC1000C, 케이블 포함
551-015 리모컨 RC1000WL, 무선
551-020 Wireless transmitter for RC1000WL
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