Guardian™ EIES 컨트롤러

최대 8개 재료 동시 증착

CIGS 박막에 적합

Guardian은 증착 속도 0.1 ~ 10,000 Å/s 제어 가능. 이는 최대 8개 재료를 동시 증착하면서 1 ~2개의 센서를 작동하고 최대 8개의 광학 입력이 가능하며 최대 8개의 증착 소스를 제어합니다.

INFICON Guardian은 광전지 모듈, OLED, 광전지, 초전도성 박막 및 MBE의 제조와 같은 적용개소에 적합합니다.

Guardian 증착 시스템은 EIES(Electron Impact Emission Spectroscopy)를 기반으로 합니다. EIES를 사용하면 증착되는 재료는 열전자 방출제에 의해 자극되며 결과적으로 광양자를 만듭니다. 생성된 빛은 광학 필터를 통해 광전자 증배관(PMT) 검출기로 들어가, 통과된 파장의 발광 강도가 측정됩니다. 그런 다음 INFICON Guardian 컨트롤러는 해당 재료에 대한 소스를 제어하는 신호를 생성합니다. 적절한 광학 필터를 장착한 추가 검출기가 다양한 재료에 대해 사용됩니다.

전체 Guardian 시스템은 하나 이상의 센서, 하나의 PMT 검출기, 광학 필터, Guardian 컨트롤러 장치 및 Guardian 소프트웨어가 설치된 PC(사용자 제공)로 구성됩니다. EIES는 일반적으로 다양한 재료의 증착을 제어하는 데 사용됩니다. 따라서 대부분의 EIES 시스템에는 일부 재료의 증착 속도를 보정하거나 제어하기 위해 추가 센서, 검출기, 광학 구성품(예: 빔 스플리터) 및 QCM이 포함되어 있습니다. 일반적인 시스템에 대한 자세한 내용은 아래 다운로드 탭의 Guardian 구성 설명서에 있습니다.

Guardian 동시 증착 시스템을 구성하려면 다음 사항을 고려하십시오.
증착 재료에 대한 기본 및 보조 방사 파장이 무엇입니까?

서로 다른 재료가 서로 너무 가까이에 피크를 가지고 있는 경우, 낮은 신호 강도를 가진 보조 파장을 모니터링해야 할 수 있습니다.

증착 공정 동안, 진공 챔버에 있는 배경 가스는 무엇입니까? 그리고 해당 가스에 대한 방사 파장은 무엇입니까?

배경 가스의 방사가 증착 재료를 방해할 경우 가스 보상형 센서를 사용하는 것이 좋습니다.

EIES는 고유하게 정의되는 원자 종류의 스펙트럼에 가장 효과적입니다. 불안정하거나 넓은 방사 스펙트럼을 생성하는 분자 종류는 정확하게 측정할 수 없습니다. EIES는 유기 재료에는 사용하지 않는 것이 좋습니다. 이러한 요인 및 기타 요인들은 각각의 특정 적용개소에 대한 최적의 EIES 시스템 구성을 결정합니다.

특징

  • 최대 8가지 재료의 동시 증착을 모니터링 및 제어
  • 0.1 ~ 10,000 Å/s의 증착 속도
  • 통합 EIES 및 QCM 박막 공정 제어
  • 12개의 릴레이 출력과 12개의 디지털 입력
  • 설치 및 작동을 위한 Windows 기반 소프트웨어
  • INFICON Sentinel® 센서와 호환

사양

유형 Guardian EIES Controller
센서  
사용 압력 <5x10-4 Torr
온도 450° C maximum during operation and/or bakeout
크기(근사치) 0.75 in. x 1.25 in. x 1.75 in. (19 mm x 32 mm x 45 mm)
필라멘트 수명(일반) ~1000 hours at 2mA emission (Yttria), 4mA for Thoria
센서-피드스루 연계 Rigid ss tube, adjustable from 7 in. to 22 in. (175 mm to 550 mm)
피드스루/플랜지 One optical and four electrical feedthroughs on 2.75 in.CF (NW35CF)
검출기  
광전자 증배관(PMT) Hamamatsu R7518 or equivalent
스펙트럼 반응 185 to 730 nm
검출 한도 Better than 5 fW of optical input power
PMT 게인 103 to 107 (detectors are independently adjustable)
출력 해상도 20-bit
광학 진입구 Built-in filter holder, for filters up to 1 in. (25mm) diameter and 0.2 in. (5mm) thick
크기 2 in. x 5.5 in. x 2.75 in. (50 mm x 140 mm x 70 mm) mounting holes on three sides (optional mounting brackets available)
컨트롤러  
센서

016-600-G22: Standard Sensor Assembly 22 in.

016-601-G22: Gas Compensating Sensor Assembly 22 in.

검출기 Eight optical detector channels
제어 출력 Eight source control outputs, 0 to ±10 VDC programmable
디지털 입출력 12 relay outputs and 12 logic inputs
전력 100-240 VAC, 50/60Hz, 150W
크기 19 in. x 3.5 in. x 12 in. (483 mm x 89 mm x 305 mm)
준수 CE
사용자 인터페이스 소프트웨어: Windows®-based setup program included with Controller
소프트웨어 표시 증착 속도: 4-digit numeric display of all channels, from 0.001 to 9999 Å/s, and graphical X-Y scrolling plot with selectable scales.
소프트웨어 표시 두께: 4-digit numeric display with range selection, from 0.001 to 9999 KÅ
컴퓨터 사용자 제공: Any PC with Windows® Vista/XP/2000 operating system, and Ethernet or RS-232 interface

부품 번호

Guardian EIES Controller
부품 번호 설명
782-900-031 센서 1개용 Guardian 컨트롤러(표준 또는 가스 보정)
782-900-050 센서 2개용 Guardian 컨트롤러(표준 또는 가스 보정)

부속품

부품 번호 설명
EIES Sensors
016-600-G22 Standard EIES Sensor, 22 in.
016-601-G22 Guardian 가스 보정 센서 및 피드스루 어셈블리, 22인치(539mm), CF40 Flange
Beam Splitters 광섬유 빔 분리기는 센서의 광선 빔을 분할하여 EIES 센서 당 복수 재료 측정을 가능하게 합니다.
782-900-034 Guardian 광섬유 빔 분리기(1:3) - 400mm 길이
782-900-034-x-yyy Guardian 광섬유 빔 분리기(1:x) - yyymm 길이
Filament Cables EIES 센서를 Guardian 컨트롤러에 연결합니다.
600-1406-P10 Guardian Single Filament 케이블, 10ft.(3m) - 표준 EIES 센서용
600-1406-P40 Guardian Single Filament 케이블, 40ft.(12m) - 표준 EIES 센서용
600-1407-P10 Guardian Dual Filament 케이블, 10ft.(3m) - 가스 보정 EIES 센서용
600-1407-P40 Guardian Dual Filament 케이블, 40ft.(12m) - 가스 보정 EIES 센서용
PMT Detector
782-900-030 Guardian PMT 검출기
PMT Detector Cables PMT 검출기를 Guardian 컨트롤러에 연결합니다.
782-505-065 PMT Detector Cable, 3m (10ft.), Guardian
782-505-065-40 Guardian 검출기 케이블, 40ft.(12m)
Optical Filters 재료에 적합한 파장을 선택합니다.
782-900-035-202 광학 필터 - 202nm, BP10nm(Zn)
782-900-035-241 Optical Filter, 241 nm, Guardian
782-900-035-252 Optical Filter, 252 nm, Guardian
782-900-035-265 Optical Filter, 265 nm, Guardian
782-900-035-267 Optical Filter, 267 nm, Guardian
782-900-035-294 광학 필터 294nm, BP2nm,(Hf)(Ga [가스 보정 센서 사용 시])
782-900-035-304 광학 필터 304nm, BP2nm(Ba, In [가스 보정 센서 사용 시])
782-900-035-325 광학 필터 - 325nm, BP10nm(Cu, Cd)
782-900-035-358 Optical Filter, 358 nm, Guardian
782-900-035-364 Optical Filter, 364 nm, Guardian
782-900-035-396 Optical Filter, 396 nm, Guardian
782-900-035-417 Optical Filter, 417 nm, Guardian
782-900-035-451 Optical Filter, 451 nm, Guardian
782-900-070 Guardian 모노크로메이터 키트

예비 부품

부품 번호 설명
016-201-G1 Emitter Assembly, EIES Sensor
782-900-038 Photomultiplier Tube, Guardian
016-509-G22 In-Vacuum Cable, 22 Inch, EIES Sensor
782-530-015 Guardian 센서 필라멘트 교체(불연속 782-900-029 및 -052 센서용)
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