전면 장착 듀얼 센서

INFICON 전면 장착 듀얼 크리스탈 센서는 입증된 안정성과 내구성을 제공하며 시장의 모든 센서 헤드 중 최고의 열 안정성을 보유하고 있습니다. 듀얼 센서는 백업 크리스탈을 제공하며 진공 챔버에 2차 크리스탈을 설치하는 것이 바람직한 중요한 공정에 필수적입니다.

전면 장착 설계여서 측면 삽입을 위한 공간이 불충분한 경우 크리스탈 홀더를 쉽게 삽입할 수 있습니다. 납땜이 아니라 기계적으로 조립되어, 부품을 현장에서 필요에 따라 편리하게 교체할 수 있습니다. 센서는 개별적으로 또는 압축 피팅에 조립하거나 용접할 수 있는 센서/피드스루 조합으로 주문할 수 있습니다.

특징

  • 듀얼 크리스털
  • 크리스탈 셔터
  • 전면 장착 크리스탈 홀더
  • 쉬운 설치
  • 다음 항목과 함께 사용: 2.54cm(1인치) 볼트 피드스루 및 CF40 피드스루
  • 압축 피팅과 함께 주문할 경우 길이 조정 가능
  • 압축 피팅과 함께 주문하거나 피드스루에 용접할 경우 납땜 필요 없음
  • 센서/피드스루 조합을 고객이 지정한 길이로 용접해서 제공할 수 있음

사양

유형 Front Load Dual Sensor
최대 베이크아웃 온도(물 없음) 130° C
최소 수류의 최대 작동 등온 환경 온도 400 ° C
크기(셔터를 제외한 최대 엔벨로프) 1.54 in. x 3.23 in. x 1.95 in. (39.12 mm x 82.04 mm x 49.54 mm)
워터 튜브 및 동축 길이, "E" 센서 Standard 30 in. (762 mm)
크리스탈 교환 Front-loading, self-contained package for ease of exchange. Shutter flips up to ease access to the holders.
장착 Two #4-40 tapped holes on the back of the sensor body
설치 요건  
피드스루

Qty. (1) 2¾ in. (69.85 mm) ConFlat® with 2 Microdot®, 2 pass water and air, or

Qty. (1) 1 in. (25.4 mm) bolt with 2 Microdot, 2 pass water and air.

기타

1) Valve assembly for air—IPN 750-420-G1

2) Two oscillators or one oscillator and 779-220-G1 CrystalTwo Switch designed to interface with the deposition controller.

3) For automatic operation, the deposition process controller must be designed for the implementation of this feature.

유틸리티

1) Minimum water flow 150-200 cc/min, 30°C max (Do not allow to freeze.)

2) Air, 80 PSIG (5.5 bar) [552 kPa] very low volume, DO NOT EXCEED 110 PSIG (7.6 bar) [760 kPa]

수질 Coolant should not contain chlorides as stress corrosion cracking may occur. Extremely dirty water may result in loss of cooling capacity.
재료  
바디 및 홀더 304 Type stainless steel
스프링 Au plated Be-Cu
워터 튜브 S-304, 0.125 in. (3.175 mm) OD x 0.015 in. (0.381 mm) Wall thickness seamless stainless steel tubing
커넥터(Microdot) Stainless steel, Teflon® and glass insulated
절연체 >99% Al2O3
와이어 Teflon insulated copper
기타 기계 부품 304 or 18-8 stainless steel
납땜 Vacuum process high temperature Ni-Cr alloy
크리스탈 0.550 in. (13.97 mm) diameter
피드스루 사양 1인치 볼트 및 Ultra-Torr(압축 피팅) 마감:  
재료 304 stainless steel, Teflon, ceramic, beryllium nickel, VITON®
온도 Operational environment to 300ºC with water cooling or 165° C without
장착 1.015 in. ±0.010 in. diameter aperture
피드스루 사양 CF 40(2 3/4 in. ConFlat) 용접 마감:  
재료 304 stainless steel, Teflon, ceramic, beryllium nickel
온도 Operational environment to 450° C with water cooling or 165° C without
장착 Mates with 2 ¾ in. ConFlat type flanges with 1.375 in. I.D. min.
FrontLoadDual_OrderChart_2013_web-01.png

부속품

이름 명세
QCM 센서 피드스루 QCM 센서 피드스루
Front Load Dual Sensor
부품 번호 설명
750-420-G1 솔레노이드 밸브, 24V(셔터식 및 멀티크리스털 센서에서 사용)

소비재

이름 명세
석영 모니터 크리스탈 석영 모니터 크리스탈

예비 부품

Front Load Dual Sensor
부품 번호 설명
007-007 (크리스탈 홀더용) 리테이너 스프링
007-023 세라믹 리테이너
080-018 세트 나사(암 동축)
082-044 Teflon 나사(리프 스프링용)
750-115-P4 커플링(풀무 어셈블리에 설치)
750-169-P2 풀무 어셈블리(커플링은 포함 안 됨)
750-171-P1 핑거 스프링 접촉
750-172-G1 크리스탈 홀더(리테이너 스프링 포함)
750-174-P2 암 동축
750-175-P1 절연체(리프 스프링 아래)
750-188-P3 Leaf Spring, Formed
008-007 CRYSTAL SNATCHER
750-210-G1 셔터 모듈(풀무 어셈블리, 샤프트 어셈블리 및 셔터 어셈블리)
750-215-G1 샤프트 어셈블리(셔터 모듈 부분)
750-216-G1 셔터 어셈블리(셔터 모듈 부분)
In-vacuum cables
321-039-G12 진공 케이블, 15.2cm(6in)
007-252 진공 케이블, 30.5cm(12in)
321-039-G11 진공 케이블, 61.0cm(24in)
007-044 진공 케이블, 78.1cm(30.75in)
007-059 진공 케이블, 91.4cm(36in)
007-061 진공 케이블, 121.9cm(48in.) - ModeLock 컨트롤러 필요
321-039-G13 진공 케이블, 154.2cm(60in) - ModeLock 컨트롤러 필요
321-039-G14 진공 케이블, 182.9cm(72in) - ModeLock 컨트롤러 필요
321-039-G15 진공 케이블, 3.5m(137.8 in) - ModeLock 컨트롤러 및 4m XIU 필요
321-039-G16 진공 케이블, 4m(157.5in) - ModeLock 컨트롤러 및 4m XIU 필요
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