QCM 센서 피드스루


INFICON은 다양한 QCM(Quartz Crystal Monitor) 센서 피드스루를 제공하여 많은 QCM 센서와 챔버 구성을 수용합니다. CF40(2.75in ConFlat®) 및 2.54cm(1in) 볼트 스타일 피드스루를 전기 커넥터, 수냉 및 공기 튜브의 다양한 조합에 사용할 수 있습니다. 또한 INFICON 피드스루에는 설치 및 센서 길이 조정이 쉽게 Ultra-Torr O-링 압축 피팅이 장착될 수 있습니다. 다른 피드스루 스타일은 요청 시 사용할 수 있으므로(KF40 등), 필요한 피드스루는 INFICON에 문의하십시오.

언급되지 않은 경우, 일반적인 피드스루 전기 연결은 대기면의 동축 BNC 커넥터와 진공면의 Microdot® 커넥터로 구성됩니다. 이 전기 연결 방식은 INFICON 전면 장착 싱글, 전면 장착 듀얼, 스퍼터링, CrystalSix, and Crystal 12 센서 등 진공 케이블 센서와 함께 사용하기 위한 것입니다.

참고: 피드스루 물 및 공기 튜브는 바깥지름이 4.8 mm(3/16인치)입니다.


다음 표는 피드스루 요구사항 및 센서 유형에 따른 부품 번호에 대한 빠른 참조를 보여줍니다.

특징

  • 2.54cm(1인치) 볼트 또는 CF40(2.75인치 ConFlat®) 스타일 사용 가능
  • 사용 가능한 Ultra-Torr O-링 압축 피팅
  • 사용자 지정 피드스루 구성 사용 가능
  • 요청 시 기타 피드스루 스타일 사용 가능

부품 번호

QCM Sensor Feedthroughs
부품 번호 설명
2.54 cm (1 in.) Bolt Feedthroughs (VITON® O-링 포함)
002-042 1in 볼트 피드스루, 동축 1개, 튜브 2개
750-030-G1 1in 볼트 피드스루, 동축 1개, 튜브 3개
750-707-G1 1in 볼트 피드스루, 동축 2개, 튜브 3개
750-624-G1 1in 볼트 피드스루, 동축 1개, 튜브 2개
783-501-013 1in 볼트 피드스루, 동축 1개, 튜브 2개, Ultra-Torr O-링 압축 피팅
CF40 (2.75 in. ConFlat) Feedthroughs (구리 개스킷 포함)
002-043 CF40 피드스루, 동축 1개, 튜브 2개
750-685-G1 CF40 피드스루, 동축 1개, 튜브 3개
002-080 CF40 피드스루, 동축 2개, 튜브 3개
750-683-G1 CF40 피드스루, 동축 1개, 튜브 4개
206-878-G2 CF40 피드스루, 동축 1개, 튜브 2개, Ultra-Torr O-링 압축 피팅
750-685-G2 CF40 피드스루, 동축 1개, 튜브 3개, Ultra-Torr O-링 압축 피팅
206-890-G2 CF40 피드스루, 동축 2개, 튜브 3개, Ultra-Torr O-링 압축 피팅
KF40 Feedthroughs (VITON® O-링 포함)
130246 KF40 피드스루, 동축 1개, 튜브 2개
130239 KF40 피드스루, 동축 1개, 튜브 3개

부속품

이름 명세
윙 너트가 있는 클램핑 링 윙 너트가 있는 클램핑 링
QCM Sensor Feedthroughs
부품 번호 설명
782-902-022 BNC-Microdot® 어댑터 케이블, 15.2cm(6in)

예비 부품

QCM Sensor Feedthroughs
부품 번호 설명
002-064 4중 링 개스킷, VITON®, CF40
012-328 Gasket, Copper, CF40
070-0237 O-링, VITON®, 2.54cm(1in) 볼트
211-003 CLAMPING RING DN 32-40 ISO-KF
211-070 CENTERING RING DN 40 ISO-KF,SS/FPM
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