FabGuard® Tool Recipe Management (RMS)

 

도구 레시피의 통합 관리


제조의 복잡성과 더 나은 공정 제어를 위한 요구사항이 증가하기 때문에 보다 효과적인 통합과 관리가 필요합니다. 정확한 오류 방지 및 공장 장비 작동에 대한 엄격한 제어를 제공하기 위해서는 FDC와 공장 자동화 및 장비 제어의 원활한 통합이 꼭 필요합니다.

FabGuard™ 레시피 관리 시스템은 공정 장비 레시피의 관리 및 중앙 보관 기능을 제공하여 반도체, 디스플레이 및 태양광 제품 제조업체가 이러한 과제를 해결하는 데 도움을 줍니다. FabGuard FDC(Fault Detection and Classification) 시스템에 대한 추가 기능으로서 FabGuard FG-RMS는 기존 FabGuard 시스템을 확장하여 공장 전체에 걸쳐 도구 공정 레시피를 관리하는 데 필요한 기능을 포함시켰습니다.

 

중앙 관리로 생산성 증가



FabGuard는 친숙하고 견고한 FabGuard 인프라를 사용하여 도구 공정 레시피의 중앙 관리 기능을 제공합니다. 엔지니어는 공장의 PC나 데스크톱에서 공정 레시피를 보고 편집하고 배포하고 관리할 수 ​​있습니다. 엔지니어는 공정 레시피에 대한 중앙 액세스 기능을 통해 동일한 레시피에 여러 도구를 할당하고 전체 공정 레시피 수를 최소화하고 도구에서 수동으로 레시피를 변경하는 데 필요한 시간을 단축할 수 있습니다. 엔지니어는 여러 챔버에 할당된 하나의 레시피를 편집하고 변경사항을 즉시 또는 다음 자동화 요청 다운로드 시에 배포할 수 있습니다.


보관 및 버전 관리


레시피 관리 시스템에서는 배포 전에 버전 관리 및 필요한 종료 승인이 필요합니다. FabGuard 중앙화 전략의 일환으로, FabGuard는 변경사항 감사, 종료 승인 메커니즘, 개정 관리 및 롤백 수행 기능을 제공합니다.

새로운 Golden 레시피가 도구에서 업로드되거나 기존 Golden 레시피가 FabGuard RMS에서 수정되면 시스템은 이전 버전의 백업을 만들고 승인 전에 새 레시피의 사용을 보류할 수 있습니다. 이렇게 하면 레시피 배포가 제어되고 배포 전에 레시피의 검토와 검증이 이루어지도록 할 수 있습니다.

 

자동으로 레시피 다운로드 및 삭제 동기화


많은 반도체 공정 도구에는 공정 레시피를 업로드하고 조정하기 위한 맞춤형 방법이 있습니다. FabGuard RMS는 도구에 대한 맞춤형 상호 작용 제어를 구축하고 업로드, 다운로드 및 확인을 제어하는 표준 메시지 세트를 공장에 제공함으로써 기존 공장 자동화에 기능을 통합하기 위한 표준 메시징 구조를 제공합니다. 이는 전체 레시피를 간소화하고 공장 장비 통합 팀이 전체 자동화 제어를 할 수 있게 해줍니다.

 

레시피 확인


FabGuard 레시피 확인 기능을 확장한 FabGuard는 엔지니어가 레시피 관리 시스템에서 골든 카피로 도구의 레시피를 수동 또는 자동으로 확인할 수 있게 해줍니다. 대부분의 경우, 제거 및 교체 시간의 제약으로 인해 레시피가 장비에서 삭제되지 않을 수 있습니다. 이 경우에는 자동 또는 수동으로 적용된 확인을 수행할 수 있습니다. 이는 내부 FabGuard 트리거에 의해 또는 자동화의 SECS 요청을 통해 수행됩니다. 두 경우 모두, 레시피는 도구에서 다운로드되고 유휴 기간 또는 레시피가 사용되기 직전에 골든 카피와 비교하여 확인이 이루어집니다.

특징

  • Custom tool messaging as required by specific tool types
  • Central repository for process recipes
  • The same golden recipe can be shared across tools/chambers
  • Automated or manual recipe verification
  • Online editing of non-encoded recipes
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