FabGuard® Integrated Process Monitor (IPM)

 

공정별 도구 관리


INFICON 센서 통합 및 분석 시스템은 탐지된 오류 및 그에 대한 가능성 있는 원인에 대해 공정 장비 또는 공정 엔지니어에게 즉각적인 자동 피드백을 제공하고 공정을 최적화하기 위해 주요 공정 파라미터의 실행 간 제어를 비롯한 공정 확인 및 제어 기능을 제공합니다.


FabGuard 센서 통합 및 분석 시스템은 현장 센서에서 데이터를 가져와서 해당 데이터를 공정 장비 자체의 데이터와 통합하고, 이를 응축 및 분석하여 공정 엔지니어에게 실행 가능한 정보를 제공합니다. 또는 FabGuard가 제어 명령을 공정 장비에 직접 자동으로 보내도록 엔지니어가 선택할 수 있습니다.

 

향상된 생산성을 위한 강력한 데이터 관리


Fab 데이터를 활용하십시오. FabGuard 센서 통합 및 분석 시스템은 공정 제어를 제공하고 공정 드리프트, 오염, 도구 오작동 또는 불필요한 테스트 웨이퍼로 인한 손실을 줄여 도구 생산성을 향상합니다.


FabGuard는 지속적으로 공정을 모니터링하고 제어합니다. FabGuard는 적절한 작동을 위해 도구가 사용하는 내장 센서와 INFICON 센서 모두에서 사용 가능한 모든 데이터를 자동으로 수집하여 시작합니다. 이 데이터는 저장되고 분석 결과는 SQL 검색 가능 데이터베이스에 저장됩니다. 작업자는 일관되고 사용하기 쉬운 단일 인터페이스를 통해 이 정보를 볼 수 있습니다. 그런 다음 FabGuard는 정교한 물리적 모델과 통계 기법을 사용하여 데이터를 분석하고 여러 파라미터 간의 상관관계를 찾고 공정을 이전 실행에서 개발된 모델과 초 단위로 비교합니다. 이러한 강력한 기술을 통해 FabGuard는 공정 이벤트를 신뢰성 있게 탐지하여 공정 제어에 사용할 수 있으므로 공정 오류를 신속하게 탐지하면서 오경보가 훨씬 적어집니다.


공정, 도구 또는 전체 Fab을 관리하십시오. FabGuard의 고급 데이터 분석은 신뢰할 수 있는 정보를 생성하며, 이 정보는 이벤트 기반(예: 엔드포인트 탐지), 이동/중지 및 통계 공정 제어(SPC) 기술, RbR(run-by-run) 제어와 실시간 오류 탐지, 실행 중 공정 수정 등을 발전시키는 데 사용될 수 있습니다. 결과적으로, 광범위한 테스트 웨이퍼 사용 또는 공정 설정 시간 없이 문제가 더 빨리 탐지되고 공정이 보다 안정화되므로 수율이 증가합니다.

특징

  • Run-by-run and real-time analysis for process control and fault finding reduces scrap and improves process control
  • Automated data collection and storage for historical files to enhance SPC data combined from multiple sensors reduces hardware redundancy while allowing all data from an entire tool, process or fab to be integrated for convenient access and analysis
  • Single user interface for all tool data reduces learning curve
  • Classification of faults for quicker response to problems, minimizing downtime
  • Overall impression of tool/process health to aid preventive maintenance personnel

브로슈어

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