FabGuard® FDC

 

공정별 Fab 와이드


FabGuard FDC는 Fab 엔지니어들이 공정 및 장비 작동의 거의 모든 측면을 쉽게 분석할 수 있는 강력한 도구와 FDC(Fault Detection and Classification) 기능을 결합하고 있습니다. 다른 어떤 시스템도 웨이퍼 손실을 막고 예상치 못한 도구 중단 시간을 줄이며 수율을 높이도록 뛰어난 기능을 제공하지 못합니다.

웨이퍼 크기나 제품 형상에 관계없이 Fab 생산성을 높이고 경쟁력을 유지하는 데는 적시에 정보를 받는 것이 필수입니다. 비용 절감에 대한 압력이 커짐에 따라 Fab 생산성을 극대화하고 스크랩 웨이퍼의 수를 줄이고 장비 활용도를 극대화하는 것이 중요합니다. FabGuard는 최첨단 Fab 생산성을 관리하는 통계 전문가와 엔지니어의 공동 경험을 결합하여 오늘날 반도체 제조의 과제를 해결합니다. FabGuard FDC는 공정과 장비 지식이 Fab 운영을 원활하게 하는 데 매우 중요하다는 원칙에 따라 제작되었습니다.

 

FDC 재정의 - FabGuard 탐지 및 분류



FabGuard FDC는 챔버별 자세한 실습 지식부터 Fab 와이드 SPC(Statistical Process Control)까지 모든 수준의 FDC 엔지니어링을 지원합니다.

FabGuard는 공정 엔지니어링 및 장비 문제 해결을 위해 Fab 와이드 FDC 시스템의 포괄적 기능에 도구별 데이터 분석 기능을 결합한 유일한 시스템입니다. 확립된 Fab SPC(Statistical Process Control) 방법은 FabGuard에 쉽게 프로그래밍될 수 있으며 실시간 도구 차단이라는 추가적 이점을 제공합니다. 결함이 탐지되는 즉시 도구 차단이 적용되면 웨이퍼 스크랩이 크게 줄어듭니다. FabGuard는 통제 불능 조건이 탐지될 때 문제가 되는 도구를 즉시 중지시킵니다.


FabGuard FDC 전문가 시스템이 공정 파악 후 문제 인식


SPC 규칙은 제품 손실을 방지하기 위한 첫 번째 방어선으로 흔히 사용됩니다. FabGuard는 훈련 가능한 전문가 시스템이라는 추가적 보호 수준을 제공합니다. Fab 엔지니어는 새로운 문제가 나타날 때 FabGuard가 이를 인식하고 재발할 때 자동으로 탐지하도록 훈련할 수 있습니다. Fab 엔지니어의 문제 해결 노하우는 모든 도구의 챔버에서 공정 단계를 모니터링하는 FabGuard 레시피로 쉽게 변환될 수 있습니다. SPC 기반 도구 차단과 병행하여 FabGuard 전문가 시스템 기능을 사용하면 SPC 방법으로 탐지하지 못할 수 있는 문제를 인식하도록 공정 및 장비 엔지니어가 FabGuard를 훈련할 수 있습니다. FabGuard 전문가 시스템은 FabGuard에 엔지니어링 노하우를 프로그래밍할 수 있어 웨이퍼 보호 및 결함 식별 기능을 더욱 높여줍니다.

 

Fab 와이드 보호


FabGuard FDC 시스템은 모든 웨이퍼 공정 장비의 실시간 SPC(Statistical Process Control)를 위해 공장 수준에서 배포 및 유지가 가능합니다. 단일 사용자 인터페이스를 통해 엔지니어는 도구와 공정 데이터를 매우 유연하고 쉽게 분류, 표시 및 분석할 수 있습니다.

  • Fab 엔지니어에게는 강력한 도구 기반 데이터 시각화 기능과 장비 및 공정 동작의 모든 측면을 분석할 수 있는 기능이 부여됩니다.
  • 공정 엔지니어는 장비 상태와 웨이퍼 결과 사이의 관계를 쉽게 판단할 수 있습니다.
  • 장비 엔지니어는 도구 문제를 신속하게 진단하여 예상치 못한 가동 중단 시간을 줄일 수 있습니다. 공정 챔버는 비교 및 일치가 가능합니다.


도구, 센서 및 게이지 통합

 

적시에 올바른 데이터를 수집하는 것은 오류를 탐지하고 공정을 특징짓는 데 매우 중요합니다. FDC 분석 및 오류 모니터링 기능뿐만 아니라, FabGuard는 엔지니어가 다양한 대체 데이터 소스로부터 데이터를 수집할 수 있는 통합 플랫폼의 역할을 합니다. FabGuard 아키텍처는 새로운 센서와 게이지를 쉽게 통합할 수 있게 해줍니다.

 

  • SECS
  • OPC
  • 고속 아날로그
  • INFICON 센서(RGA, OES, RF/DC 아크 검출)
  • 타사 센서 및 게이지

 


확장성, 지속 가능성


데이터는 보관되고 분석 결과는 관계형 데이터베이스에 저장됩니다. FabGuard는 Microsoft®SQL, PostgreSQL 또는 Oracle® 데이터베이스를 지원합니다. 전체 Fab에 걸쳐 하나의 도구에서 수백 가지 도구로 쉽게 확장할 수 있는 도구 기반 시스템을 통해 하드웨어 중복성이 제거됩니다. FDC 엔지니어는 사용하기 쉬운 웹 기반의 단일 인터페이스를 통해 모든 정보를 정렬하고 볼 수 있습니다. Fab 전반에 걸친 일관된 형식은 학습 곡선을 개선하고 여러 공정과 장비 그룹 간의 정보 공유를 용이하게 합니다. 경보, 보고 및 도구 차단은 사용자 그룹과 장비 상황의 특정 요구사항에 맞게 구성할 수 있습니다. INFICON은 전 세계 최고의 Fab 경험을 활용하여 배포되는 대로 신속하게 지불할 수 있는 시스템 템플릿을 만듭니다.

실시간 SPC와 전문가 시스템 기능의 특별한 조합으로 FabGuard FDC는 문제를 탐지하여 웨이퍼 손실을 막고 예상치 못한 도구 중단 시간을 줄이는 가장 강력한 시스템이 됩니다.

특징

  • 공정 제어 및 고장 검출에 대한 가동별 및 실시간 분석은 스크랩을 줄이고 공정 제어를 개선함
  • 여러 소스로부터 데이터를 분석할 수 있게 해주는 설비 및 센서 데이터의 완벽한 통합
  • 자동으로 보고서를 생성하고 시스템 유지보수를 수행하여 시스템 관리를 크게 줄일 수 있는 작업 시스템
  • 모든 공구 데이터에 대한 단일 사용자 인터페이스는 학습 곡선 단축
  • 문제점의 분류를 통해 문제에 대한 대응이 더 빨라지고 가동 중지 시간을 최소화함
  • 공구/공정 상태에 대한 전체적인 현황 제공으로 예방 유지보수 인력 지원
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