FabGuard® Advanced Process Control (APC)


Fab 생산성을 높이고 시장에서 경쟁력을 유지하는 데는 적시에 정보를 받는 것이 필수입니다. 수익성 향상 압력 때문에 생산성 있고 유연하면서도 수율과 처리량이 높은 공장이 매우 중요합니다. FabGuard APC는 일상적인 장비나 공정 드리프트와 상관없이 공정 결과에서 목표를 달성하도록 RbR(run-by-run) 제어 전략을 실행하여 공장 운영 시 비용과 시간을 절약합니다.

APC 시스템은 제품 측정과 레시피 설정값을 수집하여 웨이퍼 처리를 최적화하는 새로운 레시피 설정값을 계산하는 데 사용합니다. APC 시스템을 사용하면 각 웨이퍼가 최대한 라인 메트릭 끝에 근접하도록 수행하여 전체 제품 수율을 극대화하고 수익을 높일 수 있습니다.

이점

FabGuard APC는 장비와 환경 변화를 보완하기 위해 최적의 공정 설정값을 제공하여 수율을 향상하고 비용을 절감하고 제조를 개선합니다.


  • 수율 조정: 고객이 더 빠른 계산 속도를 원하거나 더 낮은 전력 소비를 원하거나 기타 특정 장치 요구사항을 원할 때, FabGuard APC는 공정 레시피를 조정하여 고객이 원하거나 필요로 하는 쪽으로 제품 배포가 이루어지게 합니다. 수율이 향상되면 같은 수의 다이에 대한 웨이퍼 시작 횟수를 줄여 더 높은 생산 능력과 더 낮은 웨이퍼 비용이 가능합니다.
  • 도구의 가치 증대: 도구 드리프트와 성능 부족을 보완하여 기존 장비의 수명을 연장하십시오. FabGuard APC는 도구의 기능을 향상하여 더 넓은 처리 범위를 갖도록 하며 비싼 장비를 사용해야 할 필요성을 없애줍니다. 폐쇄 루프 제어로 이동하여 도구를 제어하십시오.
  • 재작업 제거: 웨이퍼 재작업은 비용이 많이 들고 귀중한 소모품과 처리 시간이 낭비됩니다. FabGuard APC를 사용하여 최상의 레시피 설정을 처음부터 적용하고 재작업 비율을 줄이십시오.

전략과 흐름

FabGuard APC는 맞춤형 로직과 비즈니스 규칙을 생성하는 도구를 제공합니다. 공정 제어 로직을 조정하여 현지 제조 요구사항을 충족하십시오. APC 로직은 미리 준비된 로트, 신제품 소개, 파라미터 및 데이터 완화 등의 특별한 요구사항을 처리하도록 쉽게 구성하여 낮은 가동 부품 또는 특수 상황을 처리할 수 있습니다.


제어 전략은 드래그 앤 드롭 래더 다이어그램 인터페이스를 활용하여 사용 편의성을 높이도록 설계되어 있습니다. 구성품은 로직 흐름을 따르고 다른 블록에 연결되며 제자리에 구성되어 로직 흐름을 신속하게 개발하고 시각화할 수 있도록 합니다.


또한 개발자는 타사 데이터 소스, 맞춤형 계산 또는 특정 및 독점 로직을 통합할 수 있도록 맞춤형 Java 블록을 추가하여 APC 시스템의 기능을 확장할 수 있습니다. 이러한 블록은 기존 시스템에 추가되고 핵심 기능에 영향을 미치지 않으면서 기능을 확장합니다.


통합 유연성

FabGuard APC 시스템은 메시지가 APC 시스템을 오갈 수 있게 하는 업스트림 및 다운스트림 통신을 제공합니다. 이를 통해 공장 자동화 시스템이 APC 시스템에 계측 데이터를 보내고 예측 계산 결과를 얻고 사용된 레시피 파라미터를 시스템에 보낼 수 있습니다.


  • 공장 자동화: 제어 요청 및 데이터 수집을 위해 XML 프로토콜(HTTP를 통한 E133.1 및 레거시 XML) 사용.
  • FabGuard FDC: FabGuard FDC(Fault Detection and Classification) 시스템과의 양방향 통신은 공정과 제어 동작을 보다 잘 이해하기 위해 FDC 및 제어 데이터를 병합합니다.

특징

  • 사용하기 쉬운 웹 기반 그래픽 사용자 인터페이스
  • FabGuard FDC 및 eOCAP와의 통합
  • 포괄적인 로깅 및 제어 이동 기록 보기
  • 계층적 파라미터, 제한 및 상수
  • SEMI E133.1 통신 지원
  • 사용자 기반 맞춤형 로직을 사용할 수 있도록 맞춤형 Java 블록 지원
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