Edge CDG100D2 1 … 1000Torr/mbar

 

INFICON Edge 용량식 격막 진공계는 열악한 제조 환경에 맞게 설계된 매우 정확한 진공 측정 기기입니다. 입증된 온도 제어식 부식 방지 초고순도 세라믹 센서는 최첨단 제로 안정성과 함께 수년 간 월등한 범위 안정성을 제공합니다. Edge는 원하지 않는 공정 부산물로부터 게이지를 보호하는 INFICON의 특허 받은 고유 센서 실드와 함께 제공됩니다. 고급 전자장치는 모든 응용 분야에서 구성 가능한 광범위한 신호 조절 기능과 선택적인 EtherCAT 필드버스 인터페이스를 제공합니다. 혁신적인 가열 개념을 사용하여 터치 표면을 냉각시키고 중요한 공구 공간을 확보할 수 있습니다. INFICON Edge는 동종 제품 중 가장 작은 진공 측정 기기입니다.

장점

  • 중요한 공구 공간을 절약하는 작은 크기
  • 간편한 통합, EtherCAT, 다양한 규모 및 플랜지, 2개의 셋포인트가 있는 표준
  • 손쉬운 하나의 누름 버튼 또는 원격 신호 제로 명령, 제로 오프셋 조정 가능
  • 신속한 서비스 및 유지보수를 위한 진단 포트
  • 2년 보증, 고급 가열 개념을 이용한 수명 연장 및 게이지 보호
  • 열악한 플라즈마 응용 분야에서도 탁월한 신호 안정성과 반복성으로 인해 장기간 재교정 없음
  • 규정 준수 및 표준: CE, EN, UL, SEMI, RoHS

일반적인 응용 분야

  • CVD, Etch, PVD 및 기타 반도체 생산 공정
  • tina__e1 CDG100D2 Edge Massbild mit EtherCAT.png

사양

유형 1000 ... 500 Torr / mbar 200 ... 1 Torr / mbar
정확성 (1) % of reading 0.15 0.15
온도 영향    
제로 percent FS/°C 0.0025 0.0025
스팬 % of reading / °C 0.02 0.02
최대 압력 kPa (absolute) 400 260
해상도 percent FS 0.003 0.003
최저 측정값 percent FS 0.01 0.01
권장 최저 측정값 percent FS 0.05 0.05
최저 권장 제어 압력 percent FS 0.5 0.5
온도    
센서 °C 100 100
작동(주변) (5) °C +10 … +50 +10 … +50
플랜지에서 베이크 아웃 °C ≤110 ≤110
보관 °C –20 … +65 –40 … +65
공급 전압 +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)
전력 소모량    
히팅 하는 동안 W ≤20 ≤20
작동 온도 W ≤14 ≤14
출력신호(아날로그) V (dc) 0 … +10 0 … +10
응답 시간 (2) ms 30 30
보호 수준 IP 40 IP 40
표준    
CE 준수 EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL 인증 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1
SEMI 준수 (5) SEMI S2  
전기 연결 D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male
셋포인트    
셋포인트 개수 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2)
릴레이 접점 ≤30 ≤30
히스테리시스 percent FS 1 1
진단 포트    
프로토콜 RS232-C RS232-C
읽기 pressure, status, ID pressure, status, ID
설정 set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
진공에 노출된 재료 Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4)) Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4))
내부 용적    
내부 볼륨 1/2" 튜브 cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
내부 볼륨 DN 16 ISO KF cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
내부 볼륨 DN 16 CF-R cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
내부 볼륨 8 VCR® cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
무게    
무게 1/2" 튜브 g 837 837
무게 DN 16 ISO KF g 852 852
무게 DN 16 CF-R g 875 875
무게 8 VCR® g 897 897
EtherCAT    
프로토콜 EtherCAT protocol specialized for EtherCAT protocol specialized for EtherCAT
통신 표준 ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device Profile ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device Profile ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge
데이터 속도 Kbps 100000 100000
노드 주소 Explicit Device Identification Explicit Device Identification
물리적 레이어 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 100BASE-Tx (IEEE 802.3)
디지털 기능 읽기 pressure, status, ID pressure, status, ID
디지털 기능 설정 set points, filter, zero adjust, reset, DC offset set points, filter, zero adjust, reset, DC offset
프로세스 데이터 Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
사서함(CoE) SDO requests, responses and information SDO requests, responses and information
EtherCAT 커넥터 2 x RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT 2 x RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
케이블 shielded Ethernet CAT5e or higher shielded Ethernet CAT5e or higher
케이블 길이 m (ft.) ≤100 (330) ≤100 (330)
CDG 커넥터(아날로그 출력, 공급 전압, 설정 지점) D-sub, 15 pin, male D-sub, 15 pin, male

(1) 2시간 작동 후 온도 영향 없이 25°C 주변 작동 온도에서 비선형성, 이력현상, 반복성.

(2) 10 … 90% FS 증가  

(3) 압력 제어 유형 전용

(4) 18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe

(5) 주변 온도가 40°C를 초과하면 표면 온도가 SEMI S2 적합 수준보다 높아질 수 있습니다.

CDG100D2 Edge PIM Ordering Information.png
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