UL3000 Fab(PLUS) 드라이 헬륨 누출 감지기

 

INFICON 헬륨 누출 감지기 UL3000 Fab(PLUS)은 반도체 응용 분야의 누출 테스트 요구 사항에 맞게 설계되었습니다.

이 제품은 유연성, 이동성, 빠른 시동, 높은 민감도, 빠르고 정확한 테스트 결과와 안정성을 특징으로 합니다.

 

빠른 결과
유지 보수 빈도가 적은 진공 펌프를 탑재한 개선된 진공 시스템을 통해 대기 압력에서 시작되는 누출을 감지할 수 있습니다. 견고한 질량 분석계 시스템이 긴 작동 시간과 낮은 유지 보수 비용을 보장합니다. UL3000 Fab PLUS의 HYDRO-S 소프트웨어는 수증기 배경을 제거하고 누출 테스트를 훨씬 더 빠르게 수행합니다. 

UL3000 Fab PLUS는 또한 적절한 검증을 거친 길이 최대 10m의 스니퍼 라인 SL3000을 사용하여 향상된 스니퍼 기능을 제공합니다.

 

회전식 및 원격 제어식 디스플레이
새로운 터치스크린 디스플레이는 원거리에서도 테스트 결과와 상태 정보를 표시합니다. 미숙련 조작자도 사용자 안내 메뉴 구조를 통해 간편하게 조작할 수 있습니다. UL3000 Fab(PLUS)의  무선 제어는 특수 소프트웨어 또는 앱 없이 스마트폰이나 태블릿을 통해 가능합니다. 푸시 버튼을 통한 테스트 결과의 기록 및 저장은 추가 분석을 위해 다른 저장 매체로 전송할 수 있습니다.

 

뛰어난 조종성을 위한 슬림형 디자인
낮은 무게 중심, 큰 휠, 인체공학적으로 디자인된 핸들, 슬림형 하우징 덕분에 좁은 공간에서도 UL3000 Fab(PLUS)의 우수한 이동성이 보장됩니다.



장점

  • 대기 압력에서 바로 측정 가능
  • 터치 디스플레이를 통한 직관적인 사용자 안내
  • 먼지와 오염을 잘 견디는 강력한 진공 시스템
  • 작은 회전 반지름으로 인한 완벽한 이동성
  • 웹 브라우저를 통해 스마트폰으로 조작 가능
  • 장치에서 바로 사용 가능한 액세서리

일반적인 응용 분야

  • 기존 도구에 설치하기 전에 구성 요소의 누출 테스트
  • 공정 가스 시스템의 검사 및 설치
  • TC1000 테스트 챔버를 통한 완전 밀폐형 구성 요소의 자동 테스트
  • 테스트 조건 및 청결 요구 수준이 높은 환경에서의 누출 테스트

사양

유형 Helium Leak Detector UL3000 Fab (PLUS)
헬륨(진공 모드)에 대한 최소 탐지 누설률 mbar•L/s <5E-12
헬륨(스니퍼 모드)에 대한 최소 탐지 누설률 mbar•L/s

< 5 • 10-8

최대 입구 압력 MASSIVE 모드 mbar 1000
최대 입구 압력 FINE 모드 mbar 2
최대 입구 압력 ULTRA 모드 mbar 0.4
배출 중 펌핑 속도 m³/h > 30 at 50 Hz
헬륨 ULTRA 모드 L/s 4
탐지 질량 2,3,4 amu
질량 분석기 섹터 필드 180 °
필라멘트 이온원 이리듐/산화이트룸 코팅 2
보정된 내장 누설 mbar•L/s

∼ 10-7

테스트 포트 DN 25 KF 1
조절식 트리거

4

인터페이스 2 x USB, Ethernet / LAN
허용 주위 온도(작동 중) °C +10...+40
입력/출력 Via I/O 1000 module
보호 유형 IP 20
중량 110
치수(l x w x h) 1068 x 525 x 850
공급 전압 V (ac) 100...240 V (+/-10% ) 50/60 Hz
전력 소비 VA Typical 700, max. 1500

부품 번호

Helium Leak Detector UL3000 Fab (PLUS)
부품 번호 설명
550-200 ULTRATEST UL3000 Fab
550-250 ULTRATEST UL3000 Fab PLUS

부속품

Helium Leak Detector UL3000 Fab (PLUS)
부품 번호 설명
14005 SL200, UL200/1000용 스니퍼 프로브
525-001 SL3000-3, 3M LENGTHS
525-002 SL3000-5, 5M LENGTH
525-003 SL3000-10, 10M LENGTH
551-005 TC1000Test Chamber,DN25KF,ESD wrist band
551-010 리모컨 RC1000C, 케이블 포함
551-015 리모컨 RC1000WL, 무선
551-201 HELIUM BOTTLE HOLDER for UL3000 Fab
560-310 I/O 1000 모듈
560-335 데이터 케이블 5m
560-340 데이터 케이블 10m
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