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Cygnus® 2 박막 증착 컨트롤러
OLED 적용개소에서 가능한 최상의 측정 정밀도
Cygnus 2 박막 증착 컨트롤러는 OLED 공정을 최대한 활용할 수 있는 고유한 기능들과 INFICON 박막 컨트롤러의 입증된 성능을 결합하여 탁월한 가치를 제공합니다. Cygnus 2는 당사의 ModeLock 주파수 측정 시스템을 사용하여 1/10초마다 0.00433 Å/s이라는 업계 최고 수준의 속도 해상도로 안정적인 고해상도 속도 및 두께 측정을 제공합니다. 다른 어떤 석영 크리스탈 컨트롤러도 Cygnus 2의 성능, 품질 및 기능을 제공하지 못하므로 탁월한 결과를 반복해서 얻을 수 있습니다.
특징
- INFICON ModeLock 기술은 매우 낮은 속도에서도 가장 안정적이고 가장 높은 해상도의 속도 및 두께 측정 가능
- Auto Z 기능은 재료가 증착됨에 따라 Z 비율을 자동으로 결정하여 두께 정확도를 향상시킴
- 최대 6개의 소스를 독립적으로 또는 1개의 Cygnus 2와 결합하여 동시에 제어할 수 있어 2개 또는 3개의 컨트롤러를 대신할 수 있음
- 컬러 TFT LCD 디스플레이로 공정 진행 상황을 쉽게 볼 수 있음
- 10 Hz 측정
- 100 ms 샘플에 대해 +/-0.0035 Hz
- 스크린샷, 레시피 저장 및 데이터 로깅을 위한 USB 데이터 저장
- 여러 소스의 두께 합계
- 밀도가 낮고 속도가 매우 낮은 재료에 대한 측정 속도 평균화(매우 낮은 속도의 OLED 도펀트 물질 증착을 위한 안정적인 소스와 함께 최대 30초 동안 사용 가능)
- 최대 0.001의 디스플레이 속도 해상도Å
- 4미터 XIU 옵션으로 대형 시스템에 대해 긴 진공 센서 케이블을 사용할 수 있음
- 비증착 제어를 사용하여 기판을 증착 챔버로 통과시키면서 연속적인 소스 제어 가능
- 6개의 DAC 출력을 표준으로 제공하며 소스 제어, 속도 또는 두께 모니터링용으로 위해 6개 추가 선택 가능
- 이더넷 통신 선택 가능
- RoHS 준수
사양
| 유형 | Cygnus 2 | |
|---|---|---|
| 측정 성능 | ||
| 주파수 해상도 |
±0.0035 Hz @ 6 MHz |
|
| 두께 및 비율 해상도/측정(1) | ±0.00433 Å | |
| 측정 주파수 범위 | 6.0 to 4.5 MHz (fixed) | |
| 두께 정확성(2) | 0.5% | |
| 측정 간격 | 0.10 s | |
| 다중 측정 평균 | 0.1, 0.4, 1.0, 4.0, 10.0, 20.0, and 30.0 sec. averaging allowed | |
| 설계 특징 | ||
| 다중 센서 측정 | yes (up to 6 sensors) | |
| Auto Z | yes | |
| 공증착 | yes (up to 6 sensors) | |
| 공정 처방 및 데이터 관리 | ||
| 재료 프로그램 | 6 independent materials | |
| USB 메모리 | yes | |
| 데이터 기록 | yes | |
| 하드웨어 특징 | ||
| 센서(3) | ||
| 단일 | 6 | |
| CrystalTwo® 포함 듀얼 | 6 (with one CrystalTwo Switch per sensor input) | |
| CrystalSix® | 6 | |
| Crystal 12® | 6 | |
| 일반 | 6 | |
| 소스 제어 | ||
| 소스 수(4) | up to 6 | |
| 소스 제어 전압 | 0 to +/-10 V, adjustable | |
| 출력 해상도 | 15 bits over full range (0 to 10V) | |
| 도가니 위치 | 64 | |
| 입력/출력 | ||
| 입력 | 14 standard, up to 28 optional; TTL/CMOS logic compatible or closure to ground | |
| 출력 | 8 standard, up to 24 optional programmable SPST relays rated at 30 V(dc) or 30 V(ac) RMS or 42 V peak @ 2.5 amps; 14 optional TTL outputs | |
| 레코더 출력(4) | 0 to +10 V, adjustable | |
| 로직문 | 100 fully programmable; up to 5 actions, 5 events per statement | |
| 통신 | ||
| 표준 | RS232 | |
| 선택사항 | Ethernet | |
| 화면 | ||
| 두께 해상도 |
1 Å for 0 to 9.999 kÅ 10 Å for 10.00 to 99.99 kÅ 100 Å for 100.0 to 999.9 kÅ 1 kÅ for 1000 to 9999 kÅ |
|
| 속도 해상도 |
0.001 for 0 to 9.999 Å/s 0.01 for 0 to 99.99 Å/s 0.1 for 100 to 999.9 Å/s |
|
| 작동 | ||
| 소요 전력 |
100 – 230 V (ac) +/- 15% 50 / 60 Hz +/- 3 Hz |
|
| 사용 온도 | 0 to 50 C (32 to 122 F) | |
| 크기(마운트 제외)(h x w x d) | 5.25” x 19” x 13” (133mm x 483mm x 330 mm) | |
| 중량 | 13 lbs (5.9 kg) | |
(1) 툴링/밀도 = 100/1, 기본 주파수 = 6MHz
(2) 프로세스에 따라 달라짐, 수치는 일반적인 정확도를 반영함
(3) 각 유형의 최대 구성
(4) Cygnus 2는 6개 DAC 출력을 표준으로 제공하고, 6개 이상은 옵션으로 추가할 수 있습니다. 12개 중 임의의 출력을 소스 제어 전압이나 레코더 출력으로 구성할 수 있지만 동시에 제어할 수 있는 소스 수는 6개입니다.
부속품
| 이름 | 명세 |
|---|---|
| 전면 장착 싱글 센서 | 전면 장착 싱글 센서 |
| 전면 장착 듀얼 센서 | 전면 장착 듀얼 센서 |
| Cool Drawer 싱글 센서 | Cool Drawer 싱글 센서 |
| Cool Drawer 듀얼 센서 | Cool Drawer 듀얼 센서 |
| 로우 프로파일 듀얼 센서 | 로우 프로파일 듀얼 센서 |
| ALD 센서 | ALD 센서 |
| UHV 베이커블 센서 | UHV 베이커블 센서 |
| 스퍼터링 센서 | 스퍼터링 센서 |
| CrystalSix® 센서 | CrystalSix® 센서 |
| Easy Rate Single Sensor | Easy Rate Single Sensor |
| Crystal 12® 센서 | Crystal 12® 센서 |
| RSH-600 회전 센서 | RSH-600 회전 센서 |
| 부품 번호 | 설명 |
|---|---|
| 755-262-G1 | Handheld Power Controller |
| 779-220-G1 | CrystalTwo 스위치, 15.2cm(6in.) BNC 케이블 |
| 779-220-G2 | CrystalTwo 스위치, 50.8cm(20in.) BNC 케이블 |
| Oscillator kits | (오실레이터 및 케이블 포함) |
| 781-611-G15 | 4.6m(15ft) 케이블 포함 XIU PKG - Cygnus 2, IC6 또는 XTC/3에서 사용 |
| 781-611-G30 | 9.1m(30ft) 케이블 포함 XIU PKG - Cygnus 2, IC6 또는 XTC/3에서 사용 |
| 781-611-G50 | 15.2m(50ft) 케이블 포함 XIU PKG - Cygnus 2, IC6 또는 XTC/3에서 사용 |
| 781-611-G100 | 30.5m(100ft) 케이블 포함 XIU PKG - Cygnus 2, IC6 또는 XTC/3에서 사용 |
| 781-612-G15 | 4.6m(15ft) XIU 케이블 포함 4m XIU PKG - 4m 진공 케이블 및 6in BNC(XIU-피드스루) 케이블 포함 - Cygnus 2, IC6 또는 XTC/3에서 사용 |
| 781-612-G30 | 9.1m(30ft) XIU 케이블 포함 4m XIU PKG - 4m 진공 케이블 및 6in BNC(XIU-피드스루) 케이블 포함 - Cygnus 2, IC6 또는 XTC/3에서 사용 |
| 781-612-G50 | 15.2m(50ft) XIU 케이블 포함 4m XIU PKG - 4m 진공 케이블 및 6in BNC(XIU-피드스루) 케이블 포함 - Cygnus 2, IC6 또는 XTC/3에서 사용 |
| 781-612-G100 | 30.5m(100ft) XIU 케이블 포함 4m XIU - 4m 진공 케이블 및 6in BNC(XIU-피드스루) 케이블 포함 - Cygnus 2, IC6 모든 XTC/3에서 사용 |
| 781-613-G15 | 4.6m(15ft) XIU 케이블 포함 4m XIU PKG - 3.5m 진공 케이블 및 20in BNC(XIU-피드스루) 케이블 포함 - Cygnus 2, IC6 또는 XTC/3에서 사용 |
| 781-613-G30 | 9.1m(30ft) XIU 케이블 포함 4m XIU 패키지 - 3.5m 진공 속 케이블 및 20in BNC(XIU-피드스루) 케이블 포함 - Cygnus 2, IC6 또는 XTC/3에서 사용함 |
| 781-613-G50 | 15.2m(50ft) XIU 케이블 포함 4m XIU PKG - 3.5m 진공 케이블 및 20in BNC(XIU-피드스루) 케이블 포함 - Cygnus 2, IC6 또는 XTC/3에서 사용 |
| 781-613-G100 | 30.5m(100ft) XIU 케이블 포함 4m XIU PKG - 3.5m 진공 케이블 및 20in BNC(XIU-피드스루) 케이블 포함 - Cygnus 2, IC6 또는 XTC/3에서 사용 |
| Oscillator Only | (포함된 케이블 없음) |
| 781-600-G1 | XIU(오실레이터) - XIU-센서 헤드 케이블의 경우, 15~183cm(6~72in) 길이 - Cygnus 2, IC6 또는 XTC/3에서 사용 |
| 781-600-G2 | XIU(오실레이터) - XIU-센서 헤드 케이블의 경우, 3~4m(118~157in) 길이 - Cygnus 2 또는 IC6에서 사용 |
| Cables | |
| 755-257-G6 | 15.2cm(6in) BNC 케이블, XIU-진공 피드스루 |
| 600-1261-P15 | 4.6m(15ft) 케이블, Cgynus 2, IC6 또는 XTC/3 컨트롤러-XIU |
| 600-1261-P30 | 9.1m(30ft) 케이블, Cygnus 2, IC6 또는 XTC/3 컨트롤러-XIU |
| 600-1261-P50 | 15.2m(50ft) 케이블, Cygnus 2, IC6 또는 XTC/3 컨트롤러-XIU |
| 600-1261-P100 | 30.5(100ft) 케이블, Cygnus 2, IC6 또는 XTC/3 컨트롤러-XIU |
소비재
| 이름 | 명세 |
|---|---|
| 석영 모니터 크리스탈 | 석영 모니터 크리스탈 |
