SKY® CDG045D 0.05 ... 1000Torr / mbar

INFICON SKY CDG045D manometers are your best choice for high accurate total pressure measurement and control. CDG045D gauges are temperature controlled at 45 °C for superior signal stability and repeatability. They are available for full scale ranges from 50 mTorr to 1000 Torr, with all common flange types and fieldbus interfaces and provide a linear 0 to 10 V, gas type independent, pressure signal. INFICON capacitance manometers use an ultra pure alumina ceramic diaphragm which is corrosion proof. The advantages of the ceramic sensor are better signal stability, faster recovery from atmosphere, short warm up time and an extraordinary lifetime. INFICON CDG are high quality, cost effective pressure sensors for demanding vacuum applications.

INFICON's CDG045D are direct drop-in replacements for the listed part numbers below and many other drop-in products are available on request.
 MKS
 part number
 MKS
 part number
 Oerlikon
  Leybold
 part number
 Flange type Full scale INFICON
 part number
 627 series * AA02A CTR 101   [Torr] CDG045D
 627F13TDE1B AA02A13TGAS34B 230 320 DN16 ISO-KF 10003CC1-F51-2300
 627F12TDE1B AA02A12TGAS34B 230 321  1003CC1-C51-2300
 627F21TDE1B AA02A21TGAS34B   203CC1-951-2300
 627F11TDE1B AA02A11TGAS34B 230 322  103CC1-951-2300
 627F01TDE1B AA02A01TGAS34B 230 323  13CC1-651-2300
 627F.1TDE1B AA02A.1TGAS34B 230 324  0.13CC1-351-2300
      
 627F13TCE1B AA02A13THAS34B 230 325 DN16 CF-R 1000 3CC1-F53-2300
 627F12TCE1B AA02A12THAS34B 230 326  100 3CC1-C53-2300
 627F11TCE1B AA02A11THAS34B 230 327  10 3CC1-953-2300
 627F01TCE1B AA02A01THAS34B 230 328  1 3CC1-653-2300
 627F.1TCE1B AA02A.1THAS34B 230 329  0.1 3CC1-353-2300
      
 627F13TBE1B AA02A13TCES34B 230 330 Cajon 8 VCR 1000 3CC1-F5E-2300
 627F12TBE1B AA02A12TCES34B 230 331  100 3CC1-C5E-2300
 627F11TBE1B AA02A11TCES34B 230 332  10 3CC1-95E-2300
 627F01TBE1B AA02A01TCES34B 230 333  1 3CC1-65E-2300
 627F.1TBE1B AA02A.1TCES34B 230 334  0.1 3CC1-35E-2300
      
 627F13TAE1B AA02A13TBAS34B 230 335 1/2" tube 1000 3CC1-F59-2300
 627F12TAE1B AA02A12TBAS34B 230 336  100 3CC1-C59-2300
 627F11TAE1B AA02A11TBAS34B 230 337  10 3CC1-959-2300
 627F01TAE1B AA02A01TBAS34B 230 338  1 3CC1-659-2300
 627F.1TAE1B AA02A.1TBAS34B 230 339  0.1 3CC1-359-2300
   * compatible to legacy series 627 A, B, C, D, custom solutions for heater status option
                                             (listed companies: MKS Instruments, Andover, MA, USA;  Leybold GmbH, Cologne, Germany) 

장점

  • Fully compatible with listed vacuum gauges
  • CoO(소유 비용) 절감, 예열 속도 50% 증가, 에너지 효율적인 저전력 소비
  • 간편한 통합, 다양한 규모, 플랜지 및 인터페이스, 2개의 설정점을 포함한 표준
  • 손쉬운 하나의 누름 버튼 또는 원격 신호 제로 명령, 제로 오프셋 조정 가능
  • 신속한 서비스 및 유지보수를 위한 진단 포트
  • 2년 보증, 고급 가열 개념을 이용한 수명 연장 및 게이지 보호
  • 열악한 플라즈마 응용 분야에서도 탁월한 신호 안정성과 반복성으로 인해 장기간 재교정 없음
  • 준수 및 표준: CE, EN, UL, SEMI, RoHS

일반적인 응용 분야

  • Etch, CVD, PVD 및 기타 반도체 생산 프로세스
  • 화학 및 부식 진공 프로세스
  • 일반 박막 및 진공 프로세스
  • 국제 표준에 따른 테스트 기기 모니터링을 위한 기준 센서
  • 추적성 측정을 위한 전달 표준

뉴스

이제 EtherCAT 디지털 인터페이스 사용 가능!

  • CDGxxxD geheizt Massbild.gif

사양

유형 1000 Torr, 1100 mbar 500 ... 1 Torr / mbar 0.5 ... 0.05Torr / mbar
정확성 (1) % of reading 0.15 0.15 0.15
온도 영향      
제로 percent FS/°C 0.0025 0.0025 0.005
스팬 % of reading / °C 0.01 0.01 0.01
최대 압력 kPa (absolute) 400 260 130
해상도 percent FS 0.003 0.003 0.003
최저 측정값 percent FS 0.01 0.01 0.01
권장 최저 측정값 percent FS 0.05 0.05 0.05
최저 권장 제어 압력 percent FS 0.5 0.5 0.5
온도      
작동(주변) °C +10 … +40 +10 … +40 +10 … +40
플랜지에서 베이크 아웃 °C ≤110 ≤110 ≤110
보관 °C –20 … +65 –20 … +65 –20 … +65
공급 전압 +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%) +14 … +30 VDC or ±15 V (±5%)
전력 소모량      
히팅 하는 동안 W ≤12 ≤12 ≤12
작동 온도 W ≤8 ≤8 ≤8
출력신호(아날로그) V (dc) 0 … +10 0 … +10 0 … +10
응답 시간 (2) ms 30 30 130 / 30 (3)
보호 수준 IP 40 IP 40 IP 40
표준      
CE 준수 EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL 인증 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1
SEMI 준수 SEMI S2 SEMI S2 SEMI S2
전기 연결 D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male
셋포인트      
셋포인트 개수 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2)
릴레이 접점 ≤30 ≤30 ≤30
히스테리시스 percent FS 1 1 1
진단 포트      
프로토콜 RS232-C RS232-C RS232-C
읽기 pressure, status, ID pressure, status, ID pressure, status, ID
설정 set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
진공에 노출된 재료 Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4)) Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4)) Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (4))
내부 용적      
내부 볼륨 1/2" 튜브 cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
내부 볼륨 DN 16 ISO KF cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
내부 볼륨 DN 16 CF-R cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
내부 볼륨 8 VCR® cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
무게      
무게 1/2" 튜브 g 837 837 837
무게 DN 16 ISO KF g 852 852 852
무게 DN 16 CF-R g 875 875 875
무게 8 VCR® g 897 897 897
EtherCAT      
프로토콜 EtherCAT protocol specialized for EtherCAT protocol specialized for EtherCAT protocol specialized for EtherCAT
통신 표준 ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge" ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge" ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge"
노드 주소 Explicit Device Identification Explicit Device Identification Explicit Device Identification
물리적 레이어 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 100BASE-Tx (IEEE 802.3)
디지털 기능 읽기 pressure, status, ID pressure, status, ID pressure, status, ID
디지털 기능 설정 set points, filter, zero adjust, reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
프로세스 데이터 Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
사서함(CoE) SDO requests, responses and information SDO requests, responses and information SDO requests, responses and information
EtherCAT 커넥터 RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
케이블 shielded Ethernet CAT5e or higher shielded Ethernet CAT5e or higher shielded Ethernet CAT5e or higher
케이블 길이 m (ft.) ≤100 (330) ≤100 (330) ≤100 (330)
디바이스넷      
프로토콜 DeviceNet™, group 2 slave only DeviceNet™, group 2 slave only DeviceNet™, group 2 slave only
데이터 속도 kBaud 125, 250, 500 by switch or network programmable 125, 250, 500 by switch or network programmable 125, 250, 500 by switch or network programmable
케이블 길이 125kbps m (ft.) 500 (1650) 500 (1650) 500 (1650)
케이블 길이 250kbps m (ft.) 250 (825) 250 (825) 250 (825)
케이블 길이 500kbps m (ft.) 100 (330) 100 (330) 100 (330)
MAC ID address 00 - 63 by switch or network programmable address 00 - 63 by switch or network programmable address 00 - 63 by switch or network programmable
디지털 기능 읽기 pressure, status, ID pressure, status, ID pressure, status, ID
디지털 기능 설정 set points, filter, zero adjust, reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
사양 DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" (ODVA) DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" (ODVA) DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" (ODVA)
장치 유형 ''VG'' vacuum gauge ''VG'' vacuum gauge ''VG'' vacuum gauge
I/O 슬레이브 메시징 polling only polling only polling only
D-sub 커넥터에서 게이지 공급 전압 +14 … +30 VDC or ±15 V / ≤12 W +14 … +30 VDC or ±15 V / ≤12 W +14 … +30 VDC or ±15 V / ≤12 W
마이크로스타일 커넥터에서 디바이스넷 트랜시버 공급 전압 24 V nom / <2 W (11 … 25 V) 24 V nom / <2 W (11 … 25 V) 24 V nom / <2 W (11 … 25 V)
디바이스넷 커넥터 microstyle, 5 pin, male microstyle, 5 pin, male microstyle, 5 pin, male
CDG 커넥터(아날로그 출력, 공급 전압 CDG, 셋포인트) D-sub, 15 pin, male D-sub, 15 pin, male D-sub, 15 pin, male
Profibus DP      
전송 속도 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
주소 address 00 - 125 by switch or network programmable address 00 - 125 by switch or network programmable address 00 - 125 by switch or network programmable
디지털 기능 읽기 pressure, status, ID pressure, status, ID pressure, status, ID
디지털 기능 설정 set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
Profibus DP 커넥터 D-sub, 9 pin, female D-sub, 9 pin, female D-sub, 9 pin, female
CDG 커넥터(아날로그 출력, 공급 전압, 셋포인트) D-sub, 15 pin, male D-sub, 15 pin, male D-sub, 15 pin, male

(1) 2시간 작동 후 온도 영향 없이 25°C 주변 작동 온도에서 비선형성, 이력현상, 반복성.

(2) 10 … 90% FS 증가  

(3) 압력 제어 유형 전용

(4) 18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe

  • CDG045D Sky PIM Ordering Information.png

부품 번호

1000 Torr, 1100 mbar
부품 번호 설명
3CC1-351-2300 CDG045D 0.1 TORR; 16-KF
3CC1-353-2300 CDG045D 0.1 Torr; 16-CF
3CC1-359-2300 CDG045D 0.1 Torr; 1/2¨Ø
3CC1-35E-2300 CDG045D 0.1 TORR; 8-VCR
3CC1-651-2300 CDG045D 1 Torr; 16-KF.
3CC1-653-2300 CDG045D 1 Torr; 16-CF
3CC1-659-2300 CDG045D 1 Torr; 1/2¨Ø
3CC1-65E-2300 CDG045D 1 Torr; 8-VCR
3CC1-951-2300 CDG045D 10 Torr; 16-KF
3CC1-953-2300 CDG045D 10 Torr; 16-CF
3CC1-959-2300 CDG045D 10 Torr; 1/2"Ø
3CC1-95E-2300 CDG045D 10 Torr; 8-VCR
3CC1-C51-2300 CDG045D 100 Torr; 16-KF
3CC1-C53-2300 CDG045D 100 Torr; 16-CF
3CC1-C59-2300 CDG045D 100 Torr; 1/2"Ø
3CC1-C5E-2300 CDG045D 100 Torr; 8-VCR
3CC1-F51-2300 CDG045D 1000 TORR; 16-KF
3CC1-F53-2300 CDG045D 1000 Torr; 16-CF
3CC1-F59-2300 CDG045D 1000 Torr; 1/2"Ø
3CC1-F5E-2300 CDG045D 1000 Torr; 8-VCR
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