CrystalSix® 센서

INFICON CrystalSix 센서는 지속적인 속도 제어가 요구되는 긴 공정에서 중요합니다. OLED, MBE, 태양광, 장기 광학 코팅 또는 챔버 환기 사이 시간이 긴 기타 공정 등에서 CrystalSix 센서는 하나의 센서 헤드에 6개의 석영 모니터 크리스탈의 안전을 담당합니다. INFICON 박막 컨트롤러와 함께 사용하면 CrystalSix는 현재 크리스탈이 고장 나거나 불안정할 때마다 새 크리스탈을 제위치로 자동으로 회전시킵니다. 연속적인 증착 속도 모니터링을 위해 공정을 중단하지 않고 크리스탈이 자동으로 교체됩니다.

 

크리스탈 인덱싱은 공압 구동 방식으로 이루어집니다. 이 공압 구동 모터는 열을 발생시키는 비싼 진공 전기 모터를 사용하는 경쟁 제품보다 우수한 크리스탈 열 안정성을 제공합니다. 1/8인치 수냉 튜브는 센서 헤드의 열 안정성을 유지하고 센서 배치에서 유연성을 제공합니다.

 

특정 INFICON 박막 컨트롤러와 함께 사용하면 이 센서는 위치 피드백을 제공하므로 특정 위치에서 특정 재료를 사용할 수 있습니다.

특징

  • 안정적인 자동 전환 기능으로 6개의 크리스탈을 사용하여 공정 가동 시간을 극대화함
  • 공압 방식으로 크리스탈을 전환하므로 크리스탈 온도가 안정적임(경쟁 제품은 발열 모터 사용)
  • 1/8인치 튜브는 열 안정성을 유지하고 센서 배치에 유연성 허용
  • 옵션인 크리스탈 셔터 사용 가능

사양

유형 CrystalSix Sensor
최대 베이크아웃 온도(물 없음) 130°C
최소 수류의 최대 작동 등온 환경 온도 400° C
워터, 에어 및 동축 길이 Standard 30 in. (76 cm)
크리스탈 교환 Front-loading, extraction tool required (supplied with unit)
장착 Six #4-40 tapped holes on the back of the sensor body
크기(최대 엔벌로프) 3.8 in. (9.7 cm) DIA x 2.0 in. (5.1 cm) high
설치 요건  
피드스루

Qty (1) 2¾ in. ConFlat® with one coaxial feedthrough, two pass water, one air IPN 750-685-G1,

 or,

Qty (1) 750-685-G2, with one coaxial feedthrough three tube with Ultra-Torr compression fittings

or,

Qty (1) 1 in. bolt with one coaxial feedthrough, two pass water, one air IPN 750-030-G1,

 

기타

User to provide vacuum-tight braze joints or connectors for the water and air tubes.

Valve assembly for air, IPN 750-420-G1 (not provided), with a 0.022 in. restrictor orifice installed by the user. (Orifice included with CrystalSix accessory kit.)

유틸리티  
최소 수류

150-200 cc/min, 30° C max (Do not allow water to freeze).

Coolant should not contain chlorides as stress corrosion cracking may occur.

조절된 공기 공급 80-90 PSIG (5.5 bar – 6.2 bar) [550 kPa – 620 kPa] 2 meter maximum length of 1/8 in. tubing between sensor head and the solenoid valve.
재료  
판, 홀더, 재료 실드, 기계 부품 304 type stainless steel
스프링, 전기 접촉 Au plated Be-Cu, Au Plate Inconel, 303 stainless steel
워터 및 에어 튜브 S-304, 0.125 in. (0.32 cm) O.D. x 0.016 in. (0.04 cm) Wall Thickness 30 in. Long (76 cm) seamless stainless steel tubing
커넥터(Microdot®) Stainless steel
절연체 >99% Al2O3
케이블 Teflon® insulated copper
크리스탈 0.550 in. Diameter
바디 및 캐러솔 2024 T351 Aluminum

부품 번호

CrystalSix Sensor
부품 번호 설명
750-446-G1 CrystalSix 센서(센서만, 포함된 피드스루 없음)

부속품

이름 명세
QCM 센서 피드스루 QCM 센서 피드스루
CrystalSix Sensor
부품 번호 설명
750-420-G1 솔레노이드 밸브, 24V(셔터식 및 멀티크리스털 센서에서 사용)

소비재

이름 명세
석영 모니터 크리스탈 석영 모니터 크리스탈

예비 부품

CrystalSix Sensor
부품 번호 설명
007-007 (크리스탈 홀더용) 리테이너 스프링
007-023 세라믹 리테이너
070-0170 2 SPLIT LOCKWASHER SS
070-0398 5103-12H,EXT CRESCENT RET RIN
070-0777 Compression Spring, CrystalSix
070-0778 볼 베어링(캐러셀 밑)
070-0779 Ball Bearing, CrystalSix
070-0870 Teflon 와셔(캐러셀 축)
070-0877 Shim Spacer, CrystalSix
070-0879 베어링(상판 용접 어셈블리 중앙)
073-114 .022 DIA SS WIRE SPR TMPR 304
082-026 Nut, 2-56 Hex, Stainless Steel
750-048-P1 007-048 및 751-619-G1 스퍼터링 헤드 바디용 리테이너 스프링
750-175-P1 절연체(리프 스프링 아래)
750-188-P3 Leaf Spring, Formed
750-249-P2 Retaining Pin, CrystalSix Sensor
750-250-G1 Deposition Shield, CrystalSix Sensor
750-256-P2 확장 스프링
750-257-P3 주름형 스프링 4.40 in.(11.2cm)
750-261-G1 Carousel Assembly, CrystalSix Sensor
750-262-G1 크리스탈 홀더
750-265-G1 Top Plate Weld Assembly, CrystalSix
750-276-P2 DET,ACTUATOR COVER PASSIVATED
750-278-P2 DET,WATER LINE
750-286-P2 공압 액추에이터
750-290-P3 캐러솔 전기 접촉(8개 세트)
750-291-P1 디텐트
750-293-P2 래칫
750-294-P2 스톱 래칫
750-295-G1 폴 및 액추에이터
750-336-G1 저항기 네트워크 어셈블리
750-338-P1 DET, CONTACT INSULATOR
In-vacuum cables
321-039-G12 진공 케이블, 15.2cm(6in)
007-252 진공 케이블, 30.5cm(12in)
321-039-G11 진공 케이블, 61.0cm(24in)
007-044 진공 케이블, 78.1cm(30.75in)
007-059 진공 케이블, 91.4cm(36in)
007-061 진공 케이블, 121.9cm(48in.) - ModeLock 컨트롤러 필요
321-039-G13 진공 케이블, 154.2cm(60in) - ModeLock 컨트롤러 필요
321-039-G14 진공 케이블, 182.9cm(72in) - ModeLock 컨트롤러 필요
321-039-G15 진공 케이블, 3.5m(137.8 in) - ModeLock 컨트롤러 및 4m XIU 필요
321-039-G16 진공 케이블, 4m(157.5in) - ModeLock 컨트롤러 및 4m XIU 필요
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