Crystal 12® 센서

생산 시간을 극대화하는 자동 크리스탈 전환

INFICON Crystal 12 센서는 INFICON IC6 박막 증착 컨트롤러와 함께 사용할 경우 공정을 중단하지 않고도 크리스탈을 자동으로 교체합니다. 크리스탈이 불안정해지거나 오류가 발생할 때마다 IC6은 Crystal 12 센서 캐러셀에 신호를 보내, 연속적인 증착 속도 모니터링을 위해 새로운 크리스탈로 즉시 교체합니다. 가동 중지 시간을 최소화하기 위해 크리스탈을 2차 옵션 캐러셀에 미리 로드할 수 있습니다. 그러면 기능이 다한 크리스탈이 포함된 캐러셀을 쉽고 빠르게 교체하여 시스템이 열려 있는 시간을 최소화할 수 있습니다.

특징

  • 안정적인 자동 전환 기능으로 12개의 크리스탈을 사용하여 공정 가동 시간을 극대화함
  • 제거하기 쉬운 캐러셀로 12개의 크리스탈 모두를 빠르게 교체할 수 있음
  • 공압 방식으로 크리스탈을 전환하므로 크리스탈 온도가 안정적임(경쟁 제품은 발열 모터 사용)
  • 제거하기 쉬운 전면 증착 실드는 재료 축적으로부터 크리스탈과 캐러셀을 보호하여 유지보수를 위해 전체 센서를 제거할 필요성을 줄여줌
  • 옵션인 마운팅 포스트 키트는 계측 하드웨어에 맞게 사용자 수정이 가능함

사양

유형 Crystal 12 Sensor
최대 베이크아웃 온도(물 없음) 130°C
최소 수류의 최대 작동 등온 환경 온도 300° C
크기(최대 엔벌로프) 4.0 in. (102 mm) dia. x 3.3 in. (84 mm) high 4.75 in. (121 mm) dia. x 3.46 in. (88 mm) with optional mounting posts installed
워터 및 에어 길이 Standard 30 in. (762 mm)
크리스탈 교환 Front-loading
장착 Six #4-40 tapped holes on the back of the sensor body, six #4-40 tapped holes on outside circumference. Three #6-32 tapped holes with optional mounting kit (IPN 750-670-G1).
중량 4.92 lb. (2.23 kg)
설치 요건  
피드스루

Qty (1) 2-3/4 in. ConFlat® with one coaxial feedthrough, two pass water, one air, IPN 750-685-G1,

or,

Qty (1) 750-685-G2, with one coaxial feedthrough three tube with Ultra-Torr compression fittings

or,

Qty (1) 1 in. bolt with one coaxial feedthrough, two pass water, one air IPN 750-030-G1

장착 User to provide mounting structure adequate to support weight of Crystal12 and designed to facilitate removal and replacement with minimal change in exact position. An optional mounting post kit, IPN 750-670-G1, may be purchased for this purpose.
공기 및 물 연결 User to provide vacuum-tight braze joints or connectors for the water and air tubes. Valve assembly for air, IPN 750-420-G1 (not provided), with a 0.022 in. restrictor orifice installed by the user. (Orifice included with Crystal12 accessory kit.)
유틸리티 Minimum water flow 150-200 cc/min, 30° C max (Do not allow water to freeze). Coolant should not contain chlorides as stress corrosion cracking may occur. Regulated air supply 80-90 PSIG (5.5 bar – 6.2 bar) [550 kPa - 620 kPa] 2 meter maximum length of 1/8 in. tubing between sensor head and the solenoid valve.
재료  
판, 재료 실드, 기계 부품, 바디 및 캐러솔 304 type stainless steel
스프링, 전기 접촉 Au plated Be-Cu, Au Plated 302 stainless steel
워터 및 에어 튜브 S-304, 0.125 in. (3.2 mm) O.D. x .016 in. (0.4 mm) Wall Thickness x 30 in. Long (762 mm) seamless stainless steel tubing
커넥터 Stainless steel
절연체 Teflon, Peek®
케이블 Teflon insulated copper plated steel
크리스탈 0.550 in. (13.97 mm) diameter
1인치 볼트 및 Ultra-Torr(압축 피팅) 마감:  
재료 304 stainless steel, Teflon, ceramic, beryllium nickel, VITON®
온도 Operational environment to 300° C with water cooling or 165° C without
장착 1.015 in. ±0.010 in. diameter aperture
CF 40 용접 마감:  
재료 304 stainless steel, Teflon, ceramic, beryllium nickel
온도 Operational environment to 450° C with water cooling or 165° C without
장착 Mates with 2 ¾ in. ConFlat type flanges with 1.375 in. I.D. min.
Crystal12_OrderChart_2013_web-01.png

부속품

이름 명세
QCM 센서 피드스루 QCM 센서 피드스루
Crystal 12 Sensor
부품 번호 설명
750-420-G1 솔레노이드 밸브, 24V(셔터식 및 멀티크리스털 센서에서 사용)

소비재

이름 명세
석영 모니터 크리스탈 석영 모니터 크리스탈

예비 부품

Crystal 12 Sensor
부품 번호 설명
750-276-P3 액추에이터 커버
750-644-G1 CAROUSEL HOUSING WELDMENT
750-658-G1 증착 실드
750-286-P2 공압 액추에이터
750-291-P1 디텐트
750-294-P2 스톱 래칫
750-293-P2 래칫
750-256-P2 확장 스프링
750-252-P2 DET,SPRING POST
750-649-G1 전기 연결
750-295-G1 폴 및 액추에이터
750-258-P2 베어링 샤프트
070-0779 Ball Bearing, CrystalSix
750-652-G1 Crystal Carousel, Crystal 12 Sensor
750-650-P1 RESISTOR NETWORK APERTURE PLATE
070-1253 Dowel Pin, CrystalSix
750-651-P1 RESISTOR NETWORK SUPPORT
750-655-P1 RESISTOR NETWORK INSULATOR
750-642-G1 저항기 네트워크
750-661-P1 접촉 터미널(캐러솔 컴포넌트)
750-656-P1 크리스탈 절연체(캐러솔 컴포넌트)
321-038-P6 리프 스프링(캐러셀 컴포넌트)
750-657-P1 접지 리프 스프링
750-671-P1 비틀림 스프링
750-626-P1 스퍼터링 헤드 커버용 스프링
750-647-P1 Carousel Spindle Body, Crystal 12
070-1268 Bearing, CrystalSix
070-1254 E-Ring(스핀들 컴포넌트)
750-660-P1 Location Screw, 6-32, Crystal 12
007-126 DET-30"STN STL SEAMLESS TUBING
070-201 #4 SPLIT LOCKWASHER SS
084-004 #4-40 X .187 육각 소켓 헤드 나사
070-398 5103-12H,EXT CRESCENT RET RING
070-0867 B4-10,1/8"SHAFT SPACER .094TH
070-170 #2 SPLIT LOCKWASHER SS
070-177 #4-40 X 3.12 육각 헤드 나사
080-038 SCREW 0-80 x .375 LG PHIL PAN HD SS
082-032 #2 내부 잠금 와셔
082-045 Screw, Philips Pan Head, 2-56 x 0.187in.
084-054 Split Washer, #4, Stainless Steel
082-022 #2 평 와셔
082-024 #2-56 x .250 육각 소켓 나사
750-292-P2 디텐트 스페이서
080-013 Washer, Split Lock Stainless Steel
080-007-P1 Flat Washer, Stainless Steel
080-009-P1 #0-80 X .188 소켓 헤드 나사
084-048 SCREW 4-40 x .250 LG PHIL FLAT HD SS
750-665-P1 Shoulder Screw, 2-56, Torsion Spring
084-093 #4-40 x 1.125 소켓 헤드 나사
086-084-P2 #6-21 x 1/8 세트 나사
086-041 WASHER 6 FLAT SS
086-038 WASHER 6 SPLIT LOCK SS
086-036 SCREW 6-32 x .375 LG SOC HD CAP SS
In-vacuum cables
321-039-G12 진공 케이블, 15.2cm(6in)
007-252 진공 케이블, 30.5cm(12in)
321-039-G11 진공 케이블, 61.0cm(24in)
007-044 진공 케이블, 78.1cm(30.75in)
007-059 진공 케이블, 91.4cm(36in)
007-061 진공 케이블, 121.9cm(48in.) - ModeLock 컨트롤러 필요
321-039-G13 진공 케이블, 154.2cm(60in) - ModeLock 컨트롤러 필요
321-039-G14 진공 케이블, 182.9cm(72in) - ModeLock 컨트롤러 필요
321-039-G15 진공 케이블, 3.5m(137.8 in) - ModeLock 컨트롤러 및 4m XIU 필요
321-039-G16 진공 케이블, 4m(157.5in) - ModeLock 컨트롤러 및 4m XIU 필요
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