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Crystal 12® 센서
생산 시간을 극대화하는 자동 크리스탈 전환
INFICON Crystal 12 센서는 INFICON IC6 박막 증착 컨트롤러와 함께 사용할 경우 공정을 중단하지 않고도 크리스탈을 자동으로 교체합니다. 크리스탈이 불안정해지거나 오류가 발생할 때마다 IC6은 Crystal 12 센서 캐러셀에 신호를 보내, 연속적인 증착 속도 모니터링을 위해 새로운 크리스탈로 즉시 교체합니다. 가동 중지 시간을 최소화하기 위해 크리스탈을 2차 옵션 캐러셀에 미리 로드할 수 있습니다. 그러면 기능이 다한 크리스탈이 포함된 캐러셀을 쉽고 빠르게 교체하여 시스템이 열려 있는 시간을 최소화할 수 있습니다.
특징
- 안정적인 자동 전환 기능으로 12개의 크리스탈을 사용하여 공정 가동 시간을 극대화함
- 제거하기 쉬운 캐러셀로 12개의 크리스탈 모두를 빠르게 교체할 수 있음
- 공압 방식으로 크리스탈을 전환하므로 크리스탈 온도가 안정적임(경쟁 제품은 발열 모터 사용)
- 제거하기 쉬운 전면 증착 실드는 재료 축적으로부터 크리스탈과 캐러셀을 보호하여 유지보수를 위해 전체 센서를 제거할 필요성을 줄여줌
- 옵션인 마운팅 포스트 키트는 계측 하드웨어에 맞게 사용자 수정이 가능함
사양
| 유형 | Crystal 12 Sensor | |
|---|---|---|
| 최대 베이크아웃 온도(물 없음) | 130°C | |
| 최소 수류의 최대 작동 등온 환경 온도 | 300° C | |
| 크기(최대 엔벌로프) | 4.0 in. (102 mm) dia. x 3.3 in. (84 mm) high 4.75 in. (121 mm) dia. x 3.46 in. (88 mm) with optional mounting posts installed | |
| 워터 및 에어 길이 | Standard 30 in. (762 mm) | |
| 크리스탈 교환 | Front-loading | |
| 장착 | Six #4-40 tapped holes on the back of the sensor body, six #4-40 tapped holes on outside circumference. Three #6-32 tapped holes with optional mounting kit (IPN 750-670-G1). | |
| 중량 | 4.92 lb. (2.23 kg) | |
| 설치 요건 | ||
| 피드스루 |
Qty (1) 2-3/4 in. ConFlat® with one coaxial feedthrough, two pass water, one air, IPN 750-685-G1, or, Qty (1) 750-685-G2, with one coaxial feedthrough three tube with Ultra-Torr compression fittings or, Qty (1) 1 in. bolt with one coaxial feedthrough, two pass water, one air IPN 750-030-G1 |
|
| 장착 | User to provide mounting structure adequate to support weight of Crystal12 and designed to facilitate removal and replacement with minimal change in exact position. An optional mounting post kit, IPN 750-670-G1, may be purchased for this purpose. | |
| 공기 및 물 연결 | User to provide vacuum-tight braze joints or connectors for the water and air tubes. Valve assembly for air, IPN 750-420-G1 (not provided), with a 0.022 in. restrictor orifice installed by the user. (Orifice included with Crystal12 accessory kit.) | |
| 유틸리티 | Minimum water flow 150-200 cc/min, 30° C max (Do not allow water to freeze). Coolant should not contain chlorides as stress corrosion cracking may occur. Regulated air supply 80-90 PSIG (5.5 bar – 6.2 bar) [550 kPa - 620 kPa] 2 meter maximum length of 1/8 in. tubing between sensor head and the solenoid valve. | |
| 재료 | ||
| 판, 재료 실드, 기계 부품, 바디 및 캐러솔 | 304 type stainless steel | |
| 스프링, 전기 접촉 | Au plated Be-Cu, Au Plated 302 stainless steel | |
| 워터 및 에어 튜브 | S-304, 0.125 in. (3.2 mm) O.D. x .016 in. (0.4 mm) Wall Thickness x 30 in. Long (762 mm) seamless stainless steel tubing | |
| 커넥터 | Stainless steel | |
| 절연체 | Teflon, Peek® | |
| 케이블 | Teflon insulated copper plated steel | |
| 크리스탈 | 0.550 in. (13.97 mm) diameter | |
| 1인치 볼트 및 Ultra-Torr(압축 피팅) 마감: | ||
| 재료 | 304 stainless steel, Teflon, ceramic, beryllium nickel, VITON® | |
| 온도 | Operational environment to 300° C with water cooling or 165° C without | |
| 장착 | 1.015 in. ±0.010 in. diameter aperture | |
| CF 40 용접 마감: | ||
| 재료 | 304 stainless steel, Teflon, ceramic, beryllium nickel | |
| 온도 | Operational environment to 450° C with water cooling or 165° C without | |
| 장착 | Mates with 2 ¾ in. ConFlat type flanges with 1.375 in. I.D. min. | |
부속품
| 이름 | 명세 |
|---|---|
| QCM 센서 피드스루 | QCM 센서 피드스루 |
| Crystal 12 Sensor | |
|---|---|
| 부품 번호 | 설명 |
| 750-420-G1 | 솔레노이드 밸브, 24V(셔터식 및 멀티크리스털 센서에서 사용) |
소비재
| 이름 | 명세 |
|---|---|
| 석영 모니터 크리스탈 | 석영 모니터 크리스탈 |
예비 부품
| Crystal 12 Sensor | |
|---|---|
| 부품 번호 | 설명 |
| 750-276-P3 | 액추에이터 커버 |
| 750-644-G1 | CAROUSEL HOUSING WELDMENT |
| 750-658-G1 | 증착 실드 |
| 750-286-P2 | 공압 액추에이터 |
| 750-291-P1 | 디텐트 |
| 750-294-P2 | 스톱 래칫 |
| 750-293-P2 | 래칫 |
| 750-256-P2 | 확장 스프링 |
| 750-252-P2 | DET,SPRING POST |
| 750-649-G1 | 전기 연결 |
| 750-295-G1 | 폴 및 액추에이터 |
| 750-258-P2 | 베어링 샤프트 |
| 070-0779 | Ball Bearing, CrystalSix |
| 750-652-G1 | Crystal Carousel, Crystal 12 Sensor |
| 750-650-P1 | RESISTOR NETWORK APERTURE PLATE |
| 070-1253 | Dowel Pin, CrystalSix |
| 750-651-P1 | RESISTOR NETWORK SUPPORT |
| 750-655-P1 | RESISTOR NETWORK INSULATOR |
| 750-642-G1 | 저항기 네트워크 |
| 750-661-P1 | 접촉 터미널(캐러솔 컴포넌트) |
| 750-656-P1 | 크리스탈 절연체(캐러솔 컴포넌트) |
| 321-038-P6 | 리프 스프링(캐러셀 컴포넌트) |
| 750-657-P1 | 접지 리프 스프링 |
| 750-671-P1 | 비틀림 스프링 |
| 750-626-P1 | 스퍼터링 헤드 커버용 스프링 |
| 750-647-P1 | Carousel Spindle Body, Crystal 12 |
| 070-1268 | Bearing, CrystalSix |
| 070-1254 | E-Ring(스핀들 컴포넌트) |
| 750-660-P1 | Location Screw, 6-32, Crystal 12 |
| 007-126 | DET-30"STN STL SEAMLESS TUBING |
| 070-201 | #4 SPLIT LOCKWASHER SS |
| 084-004 | #4-40 X .187 육각 소켓 헤드 나사 |
| 070-398 | 5103-12H,EXT CRESCENT RET RING |
| 070-0867 | B4-10,1/8"SHAFT SPACER .094TH |
| 070-170 | #2 SPLIT LOCKWASHER SS |
| 070-177 | #4-40 X 3.12 육각 헤드 나사 |
| 080-038 | SCREW 0-80 x .375 LG PHIL PAN HD SS |
| 082-032 | #2 내부 잠금 와셔 |
| 082-045 | Screw, Philips Pan Head, 2-56 x 0.187in. |
| 084-054 | Split Washer, #4, Stainless Steel |
| 082-022 | #2 평 와셔 |
| 082-024 | #2-56 x .250 육각 소켓 나사 |
| 750-292-P2 | 디텐트 스페이서 |
| 080-013 | Washer, Split Lock Stainless Steel |
| 080-007-P1 | Flat Washer, Stainless Steel |
| 080-009-P1 | #0-80 X .188 소켓 헤드 나사 |
| 084-048 | SCREW 4-40 x .250 LG PHIL FLAT HD SS |
| 750-665-P1 | Shoulder Screw, 2-56, Torsion Spring |
| 084-093 | #4-40 x 1.125 소켓 헤드 나사 |
| 086-084-P2 | #6-21 x 1/8 세트 나사 |
| 086-041 | WASHER 6 FLAT SS |
| 086-038 | WASHER 6 SPLIT LOCK SS |
| 086-036 | SCREW 6-32 x .375 LG SOC HD CAP SS |
| In-vacuum cables | |
| 321-039-G12 | 진공 케이블, 15.2cm(6in) |
| 007-252 | 진공 케이블, 30.5cm(12in) |
| 321-039-G11 | 진공 케이블, 61.0cm(24in) |
| 007-044 | 진공 케이블, 78.1cm(30.75in) |
| 007-059 | 진공 케이블, 91.4cm(36in) |
| 007-061 | 진공 케이블, 121.9cm(48in.) - ModeLock 컨트롤러 필요 |
| 321-039-G13 | 진공 케이블, 154.2cm(60in) - ModeLock 컨트롤러 필요 |
| 321-039-G14 | 진공 케이블, 182.9cm(72in) - ModeLock 컨트롤러 필요 |
| 321-039-G15 | 진공 케이블, 3.5m(137.8 in) - ModeLock 컨트롤러 및 4m XIU 필요 |
| 321-039-G16 | 진공 케이블, 4m(157.5in) - ModeLock 컨트롤러 및 4m XIU 필요 |
