BAG05x UHV Bayard-Alpert 고온 이온 패시브 진공 게이지

INFICON 베이어드-알퍼트 패시브 진공 게이지 헤드 BAG050, BAG051, BAG052 및 BAG053은 INFICON 진공 게이지 컨트롤러 VGC083A 및 VGC083B와 함께 사용하도록 설계되어 있습니다. 산화이트륨 코팅 이리듐 필라멘트는 공기 및 비활성 기체(예: N2, 아르곤)에서 일반적인 진공 적용개소에 제공됩니다. 산화이트륨 코팅 이리듐 필라멘트와 호환되지 않는 가스의 경우에는 텅스텐 필라멘트를 선택하십시오. BAG05x 게이지는 다른 제조업체의 호환 가능한 진공 게이지 컨트롤러로도 작동할 수 있습니다. INFICON 패시브 베이어드-알퍼트 이온화 진공 게이지(BAG05x)는 다음과 같이 3가지의 다른 구성으로 제공됩니다.

BAG050은 2×10-11 Torr의 낮은 압력 측정이 가능한 EB 디가스 UHV 누드 이온화 진공 게이지입니다.

BAG051은 4×10-10 Torr의 낮은 압력 측정이 가능한 저항성 디가스(I2R) 누드 이온화 진공 게이지입니다.

BAG052 및 BAG053은 4×10-10 Torr의 낮은 압력 측정이 가능한 저항성 디가스(I2R) 유리 밀폐형 이온화 진공 게이지입니다.

 

 

 

장점

  • 믿을 수 있고 입증된 게이지 헤드 설계

  • 대부분의 누드 고온 이온 게이지 헤드에 대해 드롭인

  • 광범위한 방출 전류(100 μA ~ 10 mA)

  • 단일/이중 산화이트륨 코팅 이리듐 및 이중 텅스텐 필라멘트 음극 어셈블리와 함께 사용 가능

  • 가스 제거: 모든 모델은 EB(전자 충격 가공)를 사용하여 가스를 제거할 수 있습니다.

    BAG051, BAG052 및 BAG053은 저항성 디가스(I2R)를 사용하여 가스를 제거할 수도 있습니다.

뉴스

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사양

유형 BAG050 BAG051 BAG052 BAG053 BAG055
측정 범위 2.7 x 10-11 ... 1.3 x 10-3 5.3 x 10-10 ... 1.3 x 10-3 5.3 x 10-10 ... 1.3 x 10-3 5.3 x 10-10 ... 1.3 x 10-3  
정확도 - N2(일반) % 20 20 20 +/-20 +/-15
X선 한계 Torr 2 x 10-11 4 x 10-10 4 x 10-10 4 x 10-10 5 x 10-10
감도 - N2 Torr 25-1 10-1 10-1 10-1 10-1 nominal
가스 제거          
EB(전자 충격 가공) W ≤40 70 nominal, ≤100 ≤100 ≤100 ≤3
I2R(저항 가열) - 6.3 ... 7.5 V (ac) at 10 A 6.3 ... 7.5 V (ac) at 10 A -
베이크아웃 온도 °C 450 450 450 450 200
필라멘트          
전류 A 2.5 ... 3.5 4 ... 6 4 ... 6 4 ... 6 2 ... 2.5
전압 V (dc) 3 ... 5 3 ... 5 3 ... 5 3 ... 5 1.5 ... 2
포텐셜 V (dc) +30 +30 +30 +30 +30
그리드 포텐셜 V (dc) +180 +180 +180 +180  
컬렉터 포텐셜 V 0 0 0 0 0
컬렉터 tungsten (W), ø0.005'' tungsten (W), ø0.010'' tungsten (W), ø0.010'' tungsten (W), ø0.010'' tungsten (W), ø0.010''
필라멘트 dual iridium (Ir), or dual tungsten (W) single hairpin iridium (Ir), or dual hairpin iridium (Ir), or dual tungsten (W) single hairpin iridium (Ir) dual hairpin tungsten (W) dual yttria coated iridium
그리드 photo etched closed grid non-sag double helical 0.025'' tungsten (W) grid non-sag double helical 0.025'' tungsten (W) grid non-sag double helical 0.025'' tungsten (W) grid etched SS
절연체 ceramic ceramic glass to metal glass to metal glass
유리 외피 - - 2 ⅟₄'' dia x 5'' long 2 ⅟₄'' dia x 5'' long  -
장착 방향 any any any any any
길이          
전체 in. 4 ⅟₈ 4 ⅟₈ 6 6 2.7 ... 3.8
삽입 in. 3 3 - -  -
플랜지 2 ¾'' CF / NW35CF Conflat 2 ¾'' CF / NW35CF Conflat

Kovar metal port
1'' Kovar metal port
¾'' glass port
1'' glass port
NW25KF
NW40KF
1 ⅟₃'' / NW16CF Mini-Conflat
2 ¾'' CF / NW35CF Conflat

Kovar metal port
1'' Kovar metal port
¾'' glass port
1'' glass port
NW25KF
NW40KF
1
'' / NW16CF Mini-Conflat
2 ¾'' CF / NW35CF Conflat

¾'' tube

DN16 ISO-KF

DN 25 ISO-KF

DN 40 ISO-KF

DN 16 CF-R Mini-Conflat

DN 40 CF-R Conflat

8 VCR female

플랜지 재료

stainless steel 304

stainless steel 304 glass Nonex 7720 glass Nonex 7720 stainless steel 304
Ordering information BAG050_BAG051_BAG052_BAG053_BAG055.png
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