SKY® CDG160D 1 ... 1000 Torr / mbar

 

INFICON SKY CDG160D 고온 압력계는 정확한 총 압력 측정 및 제어를 위한 최상의 선택입니다. CDG160D 게이지는 까다로운 반도체 및 플라즈마 공정에서 뛰어난 성능을 발휘하기 위해 160°C에서 온도를 제어합니다. 이 게이지는 모든 일반 플랜지 유형과 필드버스 인터페이스를 사용하는 1Torr~1000Torr의 전체 규모 범위에 사용할 수 있으며, 가스 종류에 상관 없이 선형 0~10V 압력 신호를 제공합니다. INFICON 용량형 압력계는 부식 방지되는 초고순도의 알루미나 세라믹 격막을 사용합니다. 세라믹 센서의 장점은 신호 안정성 향상, 대기에서 더 빨라진 복구, 짧은 예열 시간 및 이례적인 수명입니다. INFICON CDG는 까다로운 반도체, 플라즈마 및 진공 적용개소에 적합한 고품질의 경제적인 압력 센서입니다.

장점

  • CoO(소유 비용) 절감, 예열 속도 50% 증가, 에너지 효율적인 저전력 소비
  • 간편한 통합, 다양한 규모, 플랜지 및 인터페이스, 2개의 설정점을 포함한 표준
  • 손쉬운 하나의 누름 버튼 또는 원격 신호 제로 명령, 제로 오프셋 조정 가능
  • 신속한 서비스 및 유지보수를 위한 진단 포트
  • 2년 보증, 가열 개념 및 게이지 보호 기능을 통한 제품 수명 연장
  • 열악한 플라즈마 응용 분야에서도 탁월한 신호 안정성과 반복성으로 인해 장기간 재교정 없음
  • 규정 준수 및 표준: CE, EN, UL, SEMI, RoHS

일반적인 응용 분야

  • Etch, CVD, PVD 및 기타 반도체 생산 프로세스
  • 화학 및 부식 고온 공정
  • 게이지 보호가 필요한 일반 박막 및 진공 공정

뉴스

이제 EtherCAT 디지털 인터페이스 사용 가능!

  • CDGxxxD geheizt Massbild.gif

사양

유형 1000 ... 500 Torr / mbar 200 ... 1 Torr / mbar
정확성 (1) % of reading 0.4 0.4
온도 영향    
제로 percent FS/°C 0.005 0.005
스팬 % of reading / °C 0.02 0.02
최대 압력 kPa (absolute) 400 260
해상도 percent FS 0.003 0.003
최저 측정값 percent FS 0.01 0.01
권장 최저 측정값 percent FS 0.05 0.05
최저 권장 제어 압력 percent FS 0.5 0.5
온도    
작동(주변) (4) °C +10 … +50  
플랜지에서 베이크 아웃 °C ≤200 ≤200
보관 °C –40 … +65 –40 … +65
공급 전압 +21 … +30 V DC or ±15 V (±5%) +21 … +30 V DC or ±15 V (±5%)
전력 소모량    
히팅 하는 동안 W ≤18 ≤18
작동 온도 W ≤12 ≤12
출력신호(아날로그) V (dc) 0 … +10 0 … +10
응답 시간 (2) ms 30 30
보호 수준 IP 40 IP 40
표준    
CE 준수 EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000‑6‑2/-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL 인증 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1
SEMI 준수 SEMI S2 SEMI S2
전기 연결 D-Sub, 15-pin, male D-Sub, 15-pin, male
셋포인트    
셋포인트 개수 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2)
릴레이 접점 ≤30 ≤30
히스테리시스 percent FS 1 1
진단 포트    
프로토콜 RS232-C RS232-C
읽기 pressure, status, ID pressure, status, ID
설정 set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
진공에 노출된 재료 Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (3)) Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (3))
내부 용적    
내부 볼륨 1/2" 튜브 cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
내부 볼륨 DN 16 ISO KF cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
내부 볼륨 DN 16 CF-R cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
내부 볼륨 8 VCR® cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26)
무게    
무게 1/2" 튜브 g 837 837
무게 DN 16 ISO KF g 852 852
무게 DN 16 CF-R g 875 875
무게 8 VCR® g 897 897
EtherCAT    
프로토콜 EtherCAT protocol specialized for EtherCAT protocol specialized for EtherCAT
통신 표준 ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device Profile ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge ETG.5003.1 S (R) V1.1.0 Common Device Profile ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0 Specific Device Profile: Vacuum Gauge
노드 주소 Explicit Device Identification Explicit Device Identification
물리적 레이어 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 100BASE-Tx (IEEE 802.3)
디지털 기능 읽기 pressure, status, ID pressure, status, ID
디지털 기능 설정 set points, filter, zero adjust, reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
프로세스 데이터 Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
사서함(CoE) SDO requests, responses and information SDO requests, responses and information
EtherCAT 커넥터 2 x RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT 2 x RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
케이블 shielded Ethernet CAT5e or higher shielded Ethernet CAT5e or higher
케이블 길이 m (ft.) ≤100 (330) ≤100 (330)
디바이스넷    
프로토콜 DeviceNet™, group 2 slave only DeviceNet™, group 2 slave only
데이터 속도 kBaud 125, 250, 500 by switch or network programmable 125, 250, 500 by switch or network programmable
케이블 길이 125kbps m (ft.) 500 (1650) 500 (1650)
케이블 길이 250kbps m (ft.) 250 (825) 250 (825)
케이블 길이 500kbps m (ft.) 100 (330) 100 (330)
MAC ID address 00 - 63 by switch or network programmable address 00 - 63 by switch or network programmable
디지털 기능 읽기 pressure, status, ID pressure, status, ID
디지털 기능 설정 set points, filter, zero adjust, reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
사양 DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" (ODVA) DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" (ODVA)
장치 유형 ''VG'' vacuum gauge ''VG'' vacuum gauge
I/O 슬레이브 메시징 polling only polling only
D-sub 커넥터에서 게이지 공급 전압 +14 … +30 VDC or ±15 V / ≤12 W +14 … +30 VDC or ±15 V / ≤12 W
마이크로스타일 커넥터에서 디바이스넷 트랜시버 공급 전압 24 V nom / <2 W (11 … 25 V) 24 V nom / <2 W (11 … 25 V)
디바이스넷 커넥터 microstyle, 5 pin, male microstyle, 5 pin, male
CDG 커넥터(아날로그 출력, 공급 전압 CDG, 셋포인트) D-sub, 15 pin, male D-sub, 15 pin, male
Profibus DP    
전송 속도 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
주소 address 00 - 125 by switch or network programmable address 00 - 125 by switch or network programmable
디지털 기능 읽기 pressure, status, ID pressure, status, ID
디지털 기능 설정 set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset set points, filter, zero adjust, factory reset, DC offset
Profibus DP 커넥터 D-sub, 9 pin, female D-sub, 9 pin, female
CDG 커넥터(아날로그 출력, 공급 전압, 셋포인트) D-sub, 15 pin, male D-sub, 15 pin, male

(1) 2시간 작동 후 온도 영향 없이 25°C 주변 작동 온도에서 비선형성, 이력현상, 반복성. 

(2) 10 … 90% FS 증가 

(3) 18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe

(4) 주변 온도가 40°C를 초과하면 표면 온도가 SEMI S2 적합 수준보다 높아질 수 있습니다.

CDG160D Sky PIM Ordering Information.png
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