SKY® CDG025D 0.1 ... 1000 Torr / mbar

 

매우 정확한 온도 보정 압력계의 INFICON SKY CDG025D 용량식 격막 진공계 제품군은 열악한 제조 공구 환경에서 안정적인 성능을 발휘하도록 설계되었습니다. 고급 디지털 전자장치는 게이지 성능을 향상시키고 하나의 누름 버튼 제로 기능 및 설정점 조정과 같이 다루기 쉬운 기능을 제공합니다. 내부식성 세라믹 센서는 대기 버스트를 포함하여 몇 백만 압력 주기의 긴 예상 수명과 함께 탁월한 제로 안정성을 제공합니다. 고유한 센서 차폐(특허 출원 중)는 프로세스 오염으로부터 게이지를 보호합니다. 견고한 기계 설계 및 디지털 전자장치는 EMC 호환성, 장기간 안정성 및 온도 보정을 향상시킵니다. CDG025D는 전원을 켠 후 신속한 안정성과 대기압 노출로부터 신속한 복구를 위한 새로운 표준을 정립합니다.

장점

  • 100 mTorr ~ 1000 Torr의 전체 범위
  • 전원을 켠 후 조기 안정화
  • 대기압에서 빠르게 복원
  • 내부식성 세라믹 센서
  • 뛰어난 장시간 신호 안정성
  • 온도 보상
  • 오염 방지 센서
  • 원 푸시 버튼 제로 기능
  • 광범위한 전원 공급

일반적인 응용 분야

  • Etch, CVD, PVD, ALD용 반도체 제조 장비
  • 데이터 저장 및 디스플레이 제조 장비
  • 산업용 진공 장비
  • 일반 고정밀 압력 측정
  • CDG025D dimensions

사양

유형 1000 Torr / 1100 mbar 500 ... 10 Torr / mbar 1 Torr / mbar 0.25 Torr 0.1 Torr / mbar
정확성 (1) % of reading 0.2 0.2 0.2 0.25 0.5
온도 영향          
제로 percent FS/°C 0.005 0.005 0.015 0.02 0.02
스팬 % of reading / °C 0.01 0.01 0.01 0.03 0.03
해상도 percent FS 0.003 0.003 0.003 0.003 0.003
최대 압력 kPa (absolute) 400 260 260 130 130
응답 시간 (2) ms 30 30 30 130 130
최저 측정값 percent FS 0.01 0.01 0.01 0.01 0.01
권장 최저 측정값 percent FS 0.05 0.05 0.05 0.05 0.05
최저 권장 제어 압력 percent FS 0.5 0.5 0.5 0.5 0.5
온도          
작동(주변) °C +5 … +50 +5 … +50 +5 … +50 +5 … +50 +5 … +50
플랜지에서 베이크 아웃 (3) °C ≤110 ≤110 ≤110 ≤110 ≤110
보관 °C –40 … +65 –40 … +65 –40 … +65 –40 … +65 –40 … +65
공급 전압 V (dc) +14 … +30 +14 … +30 +14 … +30 +14 … +30 +14 … +30
전력 소모량 W ≤1 ≤1 ≤1 ≤1 ≤1
출력신호(아날로그) V (dc) 0 … +10 0 … +10 0 … +10 0 … +10 0 … +10
보호 수준 IP 30 IP 30 IP 30 IP 30 IP 30
표준          
CE 준수 EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS EN 61000‑6‑2, EN 61000-6-3, EN 61010 & RoHS
ETL 인증 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1 UL 61010‑1, CSA 22.2 No.61010‑1
전기 연결 D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male
셋포인트 (4)          
셋포인트 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2)
릴레이 접점 30 30 30 30 30
히스테리시스 percent FS 1 1 1 1 1
진공에 노출된 재료 Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70 (5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glass Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70 (5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glass Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70 (5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glass Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70 (5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glass Aluminum oxide ceramic (AI2O3), Vacon 70 (5), stainless steel (AISI 316L (6)), AgCuTi hard solder, sealing glass
내부 용적          
1/2" 튜브 cm³ (in.³)        
DN 16 ISO KF cm³ (in.³)        
DN 16 CF-R cm³ (in.³)        
8 VCR® cm³ (in.³)        
무게          
1/2" 튜브 g        
DN 16 ISO KF g        
DN 16 CF-R g        
8 VCR® g        

(1) 2시간 작동 후 온도 영향 없이 25°C 주변 작동 온도에서 비선형성, 이력현상, 반복성.

(2) 10 … 90% FS 증가

(3) 비작동

(4) CDG025D-S 전용

(5) 28% Ni, 23% Co, 49% Fe

(6) 18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe

CDG025D PN.png
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