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BPG402-Sx ATM~초고진공 게이지
INFICON 바야드-알퍼트 피라니 컴비네이션 게이지 BPG402-S는 단일 컴팩트 유닛에서 두 개의 게이지로 작동하여 5 x 10-10mbar부터 대기압(3.8 x 10-10Torr ~ 대기압)까지 측정합니다. 결합 기술을 통해 설치, 설정 및 통합 복잡성을 줄여 줍니다. 하나의 경제적인 패키지로 베이스 압력 측정에서 저렴하고 반복 가능한 공정을 위해 2개의 산화이트륨 코팅 이리듐 필라멘트가 있는 BPG402-S를 선택하십시오. 온보드 검교정 데이터가 있는 센서 엘리먼트는 센서 교환 시 높은 재현성을 보장합니다.
장점
- Direct replacement for ITR 200 series
- 5 x 10-10mbar ~ 대기압(3.8 x 10-10Torr ~ 대기압)의 광범위한 측정 범위
- 5%에 대해 10-8 … 10-2mbar의 프로세스 압력 범위에서 뛰어난 반복성
- 피라니 인터락은 필라멘트가 영구 소손되지 않도록 합니다.
- 2개의 장기 수명 Y2O3 코팅 이리듐 필라멘트
- 그래픽 디스플레이 및 필드버스 인터페이스 옵션
- 자동 고진공 Pirani 조정을 통해 작업자 개입 감소
- 온보드 보정 데이터와 교환하기 쉬운 감지 엘리먼트를 통해 높은 수준의 재현성을 보장합니다.
- RoHS 준수
일반적인 응용 분야
- 반도체 공정 및 트랜스퍼 챔버의 압력 측정
- 산업용 코팅
- 저진공 범위 및 초고진공 범위에서 일반적인 진공 측정 및 제어
뉴스
새롭게 선보이는 EtherCAT 디지털 인터페이스를 지금 만나보세요!
사양
| 유형 | BPG402-S | |
|---|---|---|
| 측정 범위(공기, O2, CO, N2) | 5×10-10 … 1000 | |
| 정확성 | ||
| 10-8 … 10-2mbar | % of reading | ±15 |
| 반복성 | ||
| 10-8 … 10-2mbar | % of reading | 5 |
| 디가스 | ||
| p < 7.2 × 10-6 | mbar | electron bombardment, max. 3 min |
| 최대 압력 | bar (absolute) | 2 |
| 온도 | ||
| 작동(주변) | °C | 0 … +50 |
| 보관 | °C | -20 … +70 |
| BPG402-S 전자장치가 없는 플랜지에서 베이크 아웃 | °C | 80 |
| BPG402-SL 전자장치가 없는 플랜지에서 베이크 아웃 | °C | 150 |
| 공급 전압 | +20 … +28 | |
| 출력신호 아날로그 | ||
| 출력신호 | V | 0 … +10 |
| 측정 범위 | V | +0.774 … +10 |
| 전압 대 압력 | volts per decade | 0.75 |
| 에러 신호 | V | 0.1 / 0.3 / 0.5 |
| 최소 부하 임피던스 | kΩ | 10 |
| 셋포인트 릴레이 | ||
| 셋포인트 개수 | 1 | |
| 범위 | mbar | 1×10-9 … 100 |
| 릴레이 접점 | n.o., potential free | |
| 히스테리시스 | % of reading | 10 |
| 접점 정격 | ≤30 | |
| 디지털 기능 | degas | |
| 인터페이스(디지털) (2) | RS232C | |
| 이미션 제어 | automatic / manual via interface | |
| 필라멘트 | two Yt2O3 coated Ir | |
| 필라멘트 상태/릴레이 | LED / relay | |
| 전기 연결 | D-Sub, 15-pin, male | |
| 케이블 길이, 최대 (3) | m (ft.) | 100 (330) |
| 진공에 노출된 재료 | Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass | |
| 내부 용적 KF/CF | cm³ (in.³) | 24 (1.46) / 34 (2.1) |
| 무게 KF/CF | g | 450 / 710 |
| 보호 수준 | IP30 | |
| Profibus DP | ||
| 전송 속도 | 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 | |
| 주소 | 2 switches (address 00 - 127) or network programmable | |
| 디지털 기능 | read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; emission control, degas function, monitor gauge status, filament status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information | |
| 아날로그 기능 | 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B | |
| 셋포인트 릴레이: 셋포인트 개수 | 2 | |
| 셋포인트 릴레이: 범위 | mbar | 1×10-9 … 100 |
| 셋포인트 릴레이: 릴레이 접점 | n.o., potential free | |
| 셋포인트 릴레이: 히스테리시스 | % of reading | 10 |
| 셋포인트 릴레이: 접점 정격 | ≤30 | |
| Profibus DP 커넥터 | D-Sub, 9-pin, female | |
| CDG 커넥터(아날로그 출력, 공급 전압, 셋포인트) | D-Sub, 15-pin, male | |
| 디바이스넷 | ||
| 프로토콜 | DeviceNet™, group 2 slave only | |
| 데이터 속도 스위치 | kBaud | 125, 250, 500 or network programmable |
| 케이블 길이 125kbps | m (ft.) | 500 (1650) |
| 케이블 길이 250kbps | m (ft.) | 250 (825) |
| 케이블 길이 500kbps | m (ft.) | 100 (330) |
| MAC ID | 2 switches (address 00 - 63) or network programmable | |
| 디지털 기능 | read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; emission control, degas function, monitor gauge status, filament status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information | |
| 아날로그 기능 | 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B | |
| 사양 | DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" | |
| 장치 유형 | ''CG'' for combination gauge | |
| I/O 슬레이브 메시징 | polling only | |
| 셋포인트 릴레이: 셋포인트 개수 | 2 | |
| 셋포인트 릴레이: 범위 | mbar | 1×10-9 … 100 |
| 셋포인트 릴레이: 릴레이 접점 | n.o., potential free | |
| 셋포인트 릴레이: 히스테리시스 | % of reading | 10 |
| 셋포인트 릴레이: 접점 정격 | ≤30 | |
| 디바이스넷 공급 전압 | +11 … +25 | |
| 게이지 공급 전압 | +20 … +28 | |
| 디바이스넷 커넥터 | Microstyle, 5-pin | |
| BPG 커넥터(아날로그 출력, 공급 전압, 셋포인트) | D-Sub, 15-pin, male | |
| EtherCAT | ||
| 프로토콜 EtherCAT | protocol specialized for EtherCAT | |
| 통신 표준 | ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge" | |
| 노드 주소 | Explicit Device Identification | |
| 실제 층 | 100BASE-Tx (IEEE 802.3) | |
| 디지털 기능 EtherCAT | read pressure, select units: Torr, mbar, Pa emission control, degas function monitor gauge status, filament status safe state allows definition of behavior in case of error detailed alarm and warning information | |
| 프로세스 데이터 | Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping | |
| 우편함(CoE) | SDO requests, responses and information | |
| EtherCAT 커넥터 | RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT | |
| 케이블 | shielded Ethernet CAT5e or higher | |
| 케이블 길이 | m (ft.) | ≤100 (330) |
(1) 탈가스 동안 정확성 감소
2) RS232C 또는 VGC40x 시리즈 컨트롤러 및 필드 버스 동시 사용 허용되지 않음
3) RS232C 작동의 경우 <30m
부품 번호
| BPG402-S | |
|---|---|
| 부품 번호 | 설명 |
| 353-570 | BPG402-S 바야드 알퍼트 피라니 게이지; DN 25 ISO-KF |
| 353-571 | BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R |
| 353-572 | BPG402-S 바야드 알퍼트 피라니 게이지; DN 25 ISO-KF |
| 353-573 | BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R |
| 353-574 | BPG402-SP BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF |
| 353-575 | BPG402-SP BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R |
| 353-576 | BPG402-SD 바야드 알퍼트 피라니 게이지, DN 25 ISO-KF |
| 353-577 | BPG402-SD BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R. |
| 353-578 | BPG402-SL BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R |
| 354-494 | 센서 헤드 BPG402 DN 25 ISO-KF |
| 354-495 | 센서 헤드 BPG402 DN 40 CF-R |
| 354-496 | BPG402-SL Spare measurement system DN40C |
| 353-511 | POWER SUPPLY BPG400 24VDC |
부속품
| BPG402-S | |
|---|---|
| 부품 번호 | 설명 |
| 353-511 | POWER SUPPLY BPG400 24VDC |
| 353-512 | BAFFLE FOR BPG400 |
| 211-113 | CENTERING RING WITH BAFFLE DN 25 KF |
데이터시트
브로슈어
설명서
- TIMA46E1_BPG402 Operating manual_short.pdf.pdf |EN| |DE|
- TIMA47E1_BPG402 Operating manual (Fieldbus Versions)_short.pdf |EN| |DE|
- TINA46E1_BPG402 (all versions) Operating manual_long.pdf |EN| |DE|
- TIRA46E1_BPG402 Communication Protocol DeviceNET.pdf |EN|
- TIRA47E1_BPG402 Communication Protocol ProfiBUS.pdf |EN|
- tirb53e1_BPG402_Communication protocol EtherCAT_Generation 2.0.pdf |EN|
- TIRB53e1_BPG402_Communication protocol EtherCAT_New Generation.pdf |EN|
- TIRA93E1_BPG402_Comunication protocol EtherCAT.pdf |EN|
3D Step Files
- 353-570 BPG402-S DN 25 ISO-KF |한국| |EN| |DE| |ES| |日文| |中文|
- 353-571 BPG402-S DN 40 CF-R |한국| |EN| |DE| |ES| |日文| |中文|
- 353-572 BPG402-S LCD DN 25 ISO-KF |한국| |EN| |DE| |ES| |日文| |中文|
- 353-573 BPG402-S LCD DN 40 CF-R |한국| |EN| |DE| |ES| |日文| |中文|
- 353-578 BPG402-SL long-tube DN 40 CF-R |한국| |EN| |DE| |ES| |日文| |中文|
- 353-574 BPG402-SP Profibus DN 25 ISO-KF |한국| |EN| |DE| |ES| |日文| |中文|
- 353-575 BPG402-SP Profibus DN 40 CF-R |한국| |EN| |DE| |ES| |日文| |中文|
- 353-576 BPG402-SD DNET DN 25 ISO-KF |한국| |EN| |DE| |ES| |日文| |中文|
- 353-577 BPG402-SD DNET DN 40 CF-R |한국| |EN| |DE| |ES| |日文| |中文|
- 353-578 BPG402-SL long-tube DN 40 CF-R |한국| |EN| |DE| |ES| |日文| |中文|
- 353-590 BPG402-SE EtherCAT 25 ISO-KF |한국| |EN| |DE| |ES| |日文| |中文|
- 353-591 BPG402-SE EtherCAT 40 CF-R |한국| |EN| |DE| |ES| |日文| |中文|
