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BPG400 ATM~초고진공 게이지
INFICON 바야드-알퍼트 피라니 컴비네이션 게이지 BCG400은 단일 컴팩트 유닛에서 두 개의 게이지로 작동하여 5 x 10-10mbar부터 대기압(3.8 x 10-10Torr ~ 대기압)까지 측정합니다. 결합 기술을 통해 설치, 설정 및 통합 복잡성을 줄여 줍니다. 하나의 경제적인 패키지로 베이스 압력 측정에서 저렴하고 반복 가능한 공정을 위해 BPG400을 선택하십시오.
장점
- direct replacement for ITR 90 Vacuum Transmitters
- 5 x 10-10mbar ~ 대기압(3.8 x 10-10Torr ~ 대기압)의 매우 광범위한 측정 범위
- 5%에 대해 10-8 … 10-2mbar의 프로세스 압력 범위에서 뛰어난 반복성
- 피라니 인터락은 바야드-알퍼트 시스템의 조기 필라멘트 소손과 고압으로부터의 과도한 오염을 막아줍니다.
- 장기 수명 Y2O3 코팅 이리듐 필라멘트
- 그래픽 디스플레이 및 필드버스 인터페이스 옵션
- 자동 고진공 피라니 조정을 통해 작업자 개입 감소
- RoHS 준수
- 저진공 범위 및 초고진공 범위에서 일반적인 진공 측정 및 제어
일반적인 응용 분야
- 반도체 공정 및 트랜스퍼 챔버의 압력 측정
- 산업용 코팅
- 저진공 범위 및 초고진공 범위에서 일반적인 진공 측정 및 제어
뉴스
Direct replacement for ITR 90 Vacuum Transmitters사양
유형 | BPG400 | |
---|---|---|
측정 범위(공기, O2, CO, N2) | 5×10-10 … 1000 | |
정확성 | ||
10-8 … 10-2mbar | % of reading | ±15 |
반복성 | ||
10-8 … 10-2mbar | % of reading | 5 |
디가스 | ||
p < 7.2 × 10-6 | mbar | electron bombardment, max. 3 min |
최대 압력 | bar (absolute) | 2 |
온도 | ||
작동(주변) | °C | 0 … +50 |
보관 | °C | -20 … +70 |
익스텐션 있는 플랜지에서 베이크 아웃 | °C | 150 |
익스텐션 없는 플랜지에서 베이크 아웃 | °C | 80 |
베이크 아웃 전자장치 제거 | °C | 150 |
공급 전압 | +20 … +28 | |
출력신호 아날로그 | ||
출력신호 | V | 0 … +10 |
측정 범위 | V | +0.774 … +10 |
전압 대 압력 | volts per decade | 0.75 |
에러 신호 | V | 0.3 / 0.5 |
최소 부하 임피던스 | kΩ | 10 |
인터페이스(디지털) (2) | RS232C | |
전기 연결 | D-Sub, 15-pin, male | |
케이블 길이, 최대 (3) | m (ft.) | 100 (330) |
진공에 노출된 재료 | Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass | |
내부 용적 KF/CF | cm³ (in.³) | 24 (1.46) / 34 (2.1) |
무게 KF/CF | g | 285 / 550 |
보호 수준 | IP30 | |
Profibus DP | ||
전송 속도 | 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 | |
주소 | 2 switches (address 00 - 127) or network programmable | |
디지털 기능 | read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information | |
아날로그 기능 | 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B | |
셋포인트 릴레이: 셋포인트 개수 | 2 | |
셋포인트 릴레이: 범위 | mbar | 1×10-9 … 100 |
셋포인트 릴레이: 릴레이 접점 | n.o., potential free | |
셋포인트 릴레이: 히스테리시스 | % of reading | 10 |
셋포인트 릴레이: 접점 정격 | 60 | |
Profibus DP 커넥터 | D-Sub, 9-pin, female | |
BPG 커넥터(아날로그 출력, 공급 전압, 셋포인트) | D-Sub, 15-pin, male | |
디바이스넷 | ||
프로토콜 | DeviceNet™, group 2 slave only | |
데이터 속도 스위치 | kBaud | 125, 250, 500 or network programmable |
케이블 길이 125kbps | m (ft.) | 500 (1650) |
케이블 길이 250kbps | m (ft.) | 250 (825) |
케이블 길이 500kbps | m (ft.) | 100 (330) |
MAC ID | 2 switches (address 00 - 63) or network programmable | |
디지털 기능 | read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information | |
아날로그 기능 | 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B | |
사양 | DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile" | |
장치 유형 | ''CG'' for combination gauge | |
I/O 슬레이브 메시징 | polling only | |
셋포인트 릴레이: 셋포인트 개수 | 2 | |
셋포인트 릴레이: 범위 | mbar | 1×10-9 … 100 |
셋포인트 릴레이: 릴레이 접점 | n.o., potential free | |
셋포인트 릴레이: 히스테리시스 | % of reading | 10 |
셋포인트 릴레이: 접점 정격 | 60 | |
디바이스넷 공급 전압 | +11 … +25 | |
게이지 공급 전압 | +20 … +28 | |
디바이스넷 커넥터 | Microstyle, 5-pin | |
BPG 커넥터(아날로그 출력, 공급 전압, 셋포인트) | D-Sub, 15-pin, male |
(1) 탈가스 동안 정확성 감소
2) RS232C 또는 VGC40x 시리즈 컨트롤러 및 필드 버스 동시 사용 허용되지 않음
3) RS232C 작동의 경우 <30m
부품 번호
BPG400 | |
---|---|
부품 번호 | 설명 |
353-500 | BPG400 바야드 알퍼트 피라니 게이지, DN 25 ISO-KF |
353-501 | BPG400 바야드 알퍼트 피라니 게이지, DN 25 ISO-KF |
353-502 | BPG400 바야드 알퍼트 피라니 게이지, DN 40 CF-R |
353-503 | BPG400 바야드 알퍼트 피라니 게이지, DN 40 CF-R |
353-505 | BPG400-SP BA Pirani Gauge; DN25ISO-KF |
353-506 | BPG400-SP BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R |
354-490 | 센서 헤드 BPG400, DN 25 ISO-KF |
354-491 | 센서 헤드 BPG400, DN 40 CF-R |
353-511 | POWER SUPPLY BPG400 24VDC |
354-498 | Spare electronic BPG400 without Display |
354-499 | Spare electronic BPG400 with Display |
부속품
BPG400 | |
---|---|
부품 번호 | 설명 |
353-510 | 100 MM SENSOR EXTENSION TUBE |
353-511 | POWER SUPPLY BPG400 24VDC |
353-512 | BAFFLE FOR BPG400 |
211-113 | CENTERING RING WITH BAFFLE DN 25 KF |
데이터시트
브로슈어
설명서
- TIMA03D1 BPG400xx Gebrauchsanleitung kurz |한국| |EN| |DE| |ES| |日文| |中文|
- TIMA03E1 Operating Manual short |한국| |EN| |DE| |ES| |日文| |中文|
- TINA03E1_BPG400-xx operating manual_long |한국| |EN| |DE| |ES| |日文| |中文|
- TIMA36E1_BPG400xx operating manual-supplement |한국| |EN| |DE| |ES| |日文| |中文|
- TIRA03E1 DeviceNet BPG400x Communication Protocol.pdf |한국| |EN| |DE| |ES| |日文| |中文|
- TIRA36E1 Profibus BPG400x Communication Protocol.pdf |한국| |EN| |DE| |ES| |日文| |中文|
3D Step Files
- 353-500 BPG400 without LCD, DN 25 ISO-KF |한국| |EN| |DE| |ES| |日文| |中文|
- 353-502 BPG400 without LCD, DN 40 CF-R |한국| |EN| |DE| |ES| |日文| |中文|
- 352-501 BPG400 with LCD, DN 25 ISO-KF |한국| |EN| |DE| |ES| |日文| |中文|
- 353-503 BPG400 with LCD, DN 40 CF-R |한국| |EN| |DE| |ES| |日文| |中文|
- 353-505 BPG400-SP with Profibus DP, DN 25 ISO-KF |한국| |EN| |DE| |ES| |日文| |中文|
- 353-506 BPG400-SP with Profibus DP, DN 40 CF-R |한국| |EN| |DE| |ES| |日文| |中文|
- 353-507 BPG400-SD with DeviceNet™, DN 25 ISO-KF |한국| |EN| |DE| |ES| |日文| |中文|
- 353-508 BPG400-SD with DeviceNet™, DN 40 CF-R |한국| |EN| |DE| |ES| |日文| |中文|
- 354-490 BPG400 Replacement sensor DN 25 ISO-KF |한국| |EN| |DE| |ES| |日文| |中文|
- 354-491 BPG400 Replacement sensor DN 40 CF-R |한국| |EN| |DE| |ES| |日文| |中文|