BPG402-Sx ATM~초고진공 게이지

 

INFICON 베이어드-알퍼트 피라니 조합 게이지인 BPG402-S는 하나의 작은 장치에서 5×10-10 ~ 대기(3.8×10-10 Torr ~ 대기)를 측정하며 두 게이지의 기능을 합니다. 결합된 기술로 설치, 설정 및 통합의 복잡성이 줄어듭니다. 하나의 경제적인 패키지에서 적정하고 반복 가능한 공정으로 기본 압력을 측정할 수 있는 BPG402-S와 2개의 산화이트륨 코팅 이리듐 필라멘트를 선택하십시오. 온보드 보정 데이터를 사용하는 감지 소자는 센서 교체 시 높은 재현성을 보장합니다.

장점

  • 5×10-10 mbar ~ 대기(3.8×10-10 Torr ~ 대기)의 매우 넓은 측정 범위
  • 5%의 10-8 … 10-2 mbar의 공정 압력 범위에서 탁월한 반복성
  • Pirani 인터록이 필라멘트의 조기 단선 방지
  • 수명이 긴 2개의 산화이트륨 코팅 이리듐 필라멘트
  • 옵션인 그래픽 디스플레이 및 필드버스 인터페이스 사용 가능
  • 자동 고진공 Pirani 조정으로 작업자 개입 감소
  • 탁월한 재생력을 보장하는 온보드 보정 데이터를 사용하여 간단하게 감지 소자 교체
  • RoHS 준수

일반적인 응용 분야

  • 반도체 공정 및 트랜스퍼 챔버의 압력 측정
  • 산업용 코팅
  • 저진공부터 초고진공 범위까지 일반 진공 측정 및 제어

뉴스

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사양

유형 BPG402-S
측정 범위(공기, O2, CO, N2) 5×10-10 … 1000
정확성  
10-8 … 10-2mbar % of reading ±15
반복성  
10-8 … 10-2mbar % of reading 5
디가스  
p < 7.2 × 10-6 mbar electron bombardment, max. 3 min
최대 압력 bar (absolute) 2
온도  
작동(주변) °C 0 … +50
보관 °C -20 … +70
BPG402-S 전자장치가 없는 플랜지에서 베이크 아웃 °C 80
BPG402-SL 전자장치가 없는 플랜지에서 베이크 아웃 °C 150
공급 전압 +20 … +28
출력신호 아날로그  
출력신호 V 0 … +10
측정 범위 V +0.774 … +10
전압 대 압력 volts per decade 0.75
에러 신호 V 0.1 / 0.3 / 0.5
최소 부하 임피던스 kΩ 10
셋포인트 릴레이  
셋포인트 개수 1
범위 mbar 1×10-9 … 100
릴레이 접점 n.o., potential free
히스테리시스 % of reading 10
접점 정격 ≤30
디지털 기능 degas
인터페이스(디지털) (2) RS232C
이미션 제어 automatic / manual via interface
필라멘트 two Yt2O3 coated Ir
필라멘트 상태/릴레이 LED / relay
전기 연결 D-Sub, 15-pin, male
케이블 길이, 최대 (3) m (ft.) 100 (330)
진공에 노출된 재료 Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
내부 용적 KF/CF cm³ (in.³) 24 (1.46) / 34 (2.1)
무게 KF/CF g 450 / 710
보호 수준 IP30
Profibus DP  
전송 속도 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
주소 2 switches (address 00 - 127) or network programmable
디지털 기능 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; emission control, degas function, monitor gauge status, filament status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
아날로그 기능 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
셋포인트 릴레이: 셋포인트 개수 2
셋포인트 릴레이: 범위 mbar 1×10-9 … 100
셋포인트 릴레이: 릴레이 접점 n.o., potential free
셋포인트 릴레이: 히스테리시스 % of reading 10
셋포인트 릴레이: 접점 정격 ≤30
Profibus DP 커넥터 D-Sub, 9-pin, female
CDG 커넥터(아날로그 출력, 공급 전압, 셋포인트) D-Sub, 15-pin, male
디바이스넷  
프로토콜 DeviceNet™, group 2 slave only
데이터 속도 스위치 kBaud 125, 250, 500 or network programmable
케이블 길이 125kbps m (ft.) 500 (1650)
케이블 길이 250kbps m (ft.) 250 (825)
케이블 길이 500kbps m (ft.) 100 (330)
MAC ID 2 switches (address 00 - 63) or network programmable
디지털 기능 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; emission control, degas function, monitor gauge status, filament status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
아날로그 기능 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
사양 DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
장치 유형 ''CG'' for combination gauge
I/O 슬레이브 메시징 polling only
셋포인트 릴레이: 셋포인트 개수 2
셋포인트 릴레이: 범위 mbar 1×10-9 … 100
셋포인트 릴레이: 릴레이 접점 n.o., potential free
셋포인트 릴레이: 히스테리시스 % of reading 10
셋포인트 릴레이: 접점 정격 ≤30
디바이스넷 공급 전압 +11 … +25
게이지 공급 전압 +20 … +28
디바이스넷 커넥터 Microstyle, 5-pin
BPG 커넥터(아날로그 출력, 공급 전압, 셋포인트) D-Sub, 15-pin, male
EtherCAT  
프로토콜 EtherCAT protocol specialized for EtherCAT
통신 표준 ETG.5003.1 S (R) V1.1.0: Part 1 Common Device Profile (CDP) ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0: Part 2080: Specific Device Profile (SDP) Vacuum Pressure Gauge
노드 주소 Explicit Device Identification
실제 층 100BASE-Tx (IEEE 802.3)
디지털 기능 EtherCAT read pressure, select units: Torr, mbar, Pa emission control, degas function monitor gauge status, filament status safe state allows definition of behavior in case of error detailed alarm and warning information
프로세스 데이터 Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
우편함(CoE) SDO requests, responses and information
EtherCAT 커넥터 RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
케이블 shielded Ethernet CAT5e or higher
케이블 길이 m (ft.) ≤100 (330)

1) 가스 제거 중 정확성 감소

2) RS232C 또는 VGC40x 시리즈 컨트롤러와 필드버스를 동시에 사용할 수 없음

3) RS232C 작동의 경우 <30m

부품 번호

BPG402-S
부품 번호 설명
353-570 BPG402-S 바야드 알퍼트 피라니 게이지; DN 25 ISO-KF
353-571 BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-572 BPG402-S 바야드 알퍼트 피라니 게이지; DN 25 ISO-KF
353-573 BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-578 BPG402-SL BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-574 BPG402-SP BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF
353-575 BPG402-SP BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-576 BPG402-SD 바야드 알퍼트 피라니 게이지, DN 25 ISO-KF
353-577 BPG402-SD BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R.
353-590 BPG402-SE ECAT, DN 25 ISO-KF
353-591 BPG402-SE ECAT, DN 40 CF-R
353-596 BPG402-SE ECAT, DN 25 ISO-KF
353-597 BPG402-SE ECAT, DN 40 CF-R
354-494 센서 헤드 BPG402 DN 25 ISO-KF
354-495 센서 헤드 BPG402 DN 40 CF-R

부속품

BPG402-S
부품 번호 설명
353-511 POWER SUPPLY BPG400 24VDC
353-512 BAFFLE FOR BPG400
211-113 CENTERING RING WITH BAFFLE DN 25 KF

예비 부품

BPG402-S
부품 번호 설명
354-494 센서 헤드 BPG402 DN 25 ISO-KF
354-495 센서 헤드 BPG402 DN 40 CF-R
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