BPG400 ATM~초고진공 게이지

 

INFICON 베이어드-알퍼트 피라니 조합 게이지인 BPG400은 하나의 작은 장치에서 두 개의 게이지로 작동하여 5×10-10 mbar ~ 대기(3.8×10-10 ~ 대기)를 측정합니다. 결합된 기술로 설치, 설정 및 통합의 복잡성이 줄어듭니다. 하나의 경제적인 패키지에서 적정하고 반복 가능한 공정으로 기본 압력을 측정할 수 있는 BPG400을 선택하십시오.

장점

  • 5×10-10 mbar ~ 대기(3.8×10-10 Torr ~ 대기)의 매우 넓은 측정 범위
  • 5%의 10-8 … 10-2 mbar의 공정 압력 범위에서 탁월한 반복성
  • Pirani 인터록은 Bayard-Alpert 시스템의 조기 필라멘트 단선 및 고압 작동으로 인한 과도한 오염 방지
  • 수명이 긴 산화이트륨 코팅 이리듐 필라멘트
  • 옵션인 그래픽 디스플레이 및 필드버스 인터페이스 사용 가능
  • 자동 고진공 Pirani 조정으로 작업자 개입 감소
  • RoHS 준수
  • 저진공부터 초고진공 범위까지 일반 진공 측정 및 제어

일반적인 응용 분야

  • 반도체 공정 및 트랜스퍼 챔버의 압력 측정
  • 산업용 코팅
  • 저진공부터 초고진공 범위까지 일반 진공 측정 및 제어
  • BPG400 Bayard Alpert Piran Gauge

사양

유형 BPG400
측정 범위(공기, O2, CO, N2) 5×10-10 … 1000
정확성  
10-8 … 10-2mbar % of reading ±15
반복성  
10-8 … 10-2mbar % of reading 5
디가스  
p < 7.2 × 10-6 mbar electron bombardment, max. 3 min
최대 압력 bar (absolute) 2
온도  
작동(주변) °C 0 … +50
보관 °C -20 … +70
익스텐션 있는 플랜지에서 베이크 아웃 °C 150
익스텐션 없는 플랜지에서 베이크 아웃 °C 80
베이크 아웃 전자장치 제거 °C 150
공급 전압 +20 … +28
출력신호 아날로그  
출력신호 V 0 … +10
측정 범위 V +0.774 … +10
전압 대 압력 volts per decade 0.75
에러 신호 V 0.3 / 0.5
최소 부하 임피던스 kΩ 10
인터페이스(디지털) (2) RS232C
전기 연결 D-Sub, 15-pin, male
케이블 길이, 최대 (3) m (ft.) 100 (330)
진공에 노출된 재료 Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
내부 용적 KF/CF cm³ (in.³) 24 (1.46) / 34 (2.1)
무게 KF/CF g 285 / 550
보호 수준 IP30
Profibus DP  
전송 속도 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
주소 2 switches (address 00 - 127) or network programmable
디지털 기능 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
아날로그 기능 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
셋포인트 릴레이: 셋포인트 개수 2
셋포인트 릴레이: 범위 mbar 1×10-9 … 100
셋포인트 릴레이: 릴레이 접점 n.o., potential free
셋포인트 릴레이: 히스테리시스 % of reading 10
셋포인트 릴레이: 접점 정격 60
Profibus DP 커넥터 D-Sub, 9-pin, female
BPG 커넥터(아날로그 출력, 공급 전압, 셋포인트) D-Sub, 15-pin, male
디바이스넷  
프로토콜 DeviceNet™, group 2 slave only
데이터 속도 스위치 kBaud 125, 250, 500 or network programmable
케이블 길이 125kbps m (ft.) 500 (1650)
케이블 길이 250kbps m (ft.) 250 (825)
케이블 길이 500kbps m (ft.) 100 (330)
MAC ID 2 switches (address 00 - 63) or network programmable
디지털 기능 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, Pirani full scale adjust, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
아날로그 기능 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
사양 DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
장치 유형 ''CG'' for combination gauge
I/O 슬레이브 메시징 polling only
셋포인트 릴레이: 셋포인트 개수 2
셋포인트 릴레이: 범위 mbar 1×10-9 … 100
셋포인트 릴레이: 릴레이 접점 n.o., potential free
셋포인트 릴레이: 히스테리시스 % of reading 10
셋포인트 릴레이: 접점 정격 60
디바이스넷 공급 전압 +11 … +25
게이지 공급 전압 +20 … +28
디바이스넷 커넥터 Microstyle, 5-pin
BPG 커넥터(아날로그 출력, 공급 전압, 셋포인트) D-Sub, 15-pin, male

1) 가스 제거 중 정확성 감소

2) RS232C 또는 VGC40x 컨트롤러 시리즈와 필드버스를 동시에 사용할 수 없음

3) RS232C 작동의 경우 <30m

부품 번호

BPG400
부품 번호 설명
353-500 BPG400 바야드 알퍼트 피라니 게이지, DN 25 ISO-KF
353-501 BPG400 바야드 알퍼트 피라니 게이지, DN 25 ISO-KF
353-502 BPG400 바야드 알퍼트 피라니 게이지, DN 40 CF-R
353-503 BPG400 바야드 알퍼트 피라니 게이지, DN 40 CF-R
353-505 BPG400-SP BA Pirani Gauge; DN25ISO-KF
353-506 BPG400-SP BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-507 BPG400-SD BA Pirani Gauge; DN25ISO-KF
353-508 BPG400-SD BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
354-491 센서 헤드 BPG400, DN 40 CF-R
354-490 센서 헤드 BPG400, DN 25 ISO-KF

부속품

BPG400
부품 번호 설명
353-511 POWER SUPPLY BPG400 24VDC
353-510 100 MM SENSOR EXTENSION TUBE
353-512 BAFFLE FOR BPG400
211-113 CENTERING RING WITH BAFFLE DN 25 KF

예비 부품

BPG400
부품 번호 설명
354-490 센서 헤드 BPG400, DN 25 ISO-KF
354-491 센서 헤드 BPG400, DN 40 CF-R
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