BCG450 ATM~초고진공 트리플 게이지

 

INFICON 바야드-알퍼트 피라니 커패시턴스 다이어프램 게이지 BCG450은 컴팩트하고 경제적인 단일 패키지에 세 가지 기술 이점을 결합하여 5 x 10-10 ~ 1,500mbar(3.75 x 10-10 ~ 1,125 Torr)의 공정 및 베이스 압력을 측정합니다. BCG450은 세 개의 센서(핫이온, 대류 향상 피라니, 진공 스위치)를 대체하도록 설계되어 비용 및 중요한 장비 설치 공간을 절약합니다.

장점

  • BCG450은 비용 및 장비 공간을 줄이고 진공 측정장치 설치 및 설정 복잡성 감소
  • 10 Torr 넘는 가스 유형 독립 압력 측정으로 모든 가스 혼합물에 대해 보다 신뢰성 있는 로드록 제어 가능
  • Pirani 인터록은 핫 필라멘트의 조기 단선 방지
  • 자동 고진공 Pirani 조정으로 작업자 개입 감소
  • 대기에서의 차압 측정은 대기압 변화와 관련된 불확실성 제거
  • 온보드 보정 데이터로 감지 소자를 교환하기 용이하여 재현성 보장
  • 옵션인 그래픽 디스플레이 및 필드버스 인터페이스 사용 가능
  • RoHS 준수

일반적인 응용 분야

  • 반도체 공정, 트랜스퍼 및 로드록 챔버의 압력 측정
  • 산업용 코팅
  • 저진공부터 초고진공 범위까지의 시스템에서 일반적인 진공 측정 및 제어

뉴스

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  • BCG450 dimensions

사양

유형 BCG450
측정 범위 5×10-10 … 1500
정확도  
10-8 … 50mbar % of reading ±15
50 … 950mbar % of reading ±5
950 … 1,050mbar % of reading ±2.5
반복성  
10-8 … 10-2mbar % of reading 5
핫이온 이미션 온 mbar 2×10-2 (high)
(RS232 / 필드버스를 통해 high / low 선택 가능) mbar 8×10-3 (low)
디가스 (1)  
p < 7.2 × 10-6 mbar electron bombardment, max. 3 min
최대 압력 bar (absolute) 5
온도  
작동(주변) °C 0 … +50
보관 °C -20 … +70
플랜지에서 베이크 아웃 °C 80
베이크 아웃 전자장치 제거 °C 150
공급 전압 20 … 28
출력신호 아날로그  
출력신호 V 0 … 10.3
측정 범위 출력 V 0.774 … 10.3
전압/압력 관계 volts per decade 0.75
에러 신호 V 0.3 / 0.5
최소 부하 kΩ 10
인터페이스(디지털) (2) RS232C
커넥터 D-Sub, 15-pin, male
케이블 길이, 최대 (3) m (ft.) 100 (330)
진공에 노출된 재료 Yt2O3, Ir, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, AI2O3, SnAg, stainless steel, glass
내부 용적 KF/CF cm³ (in.³) 24 (1.46) / 34 (2.1)
무게 KF/CF g 285 / 550
보호 수준 IP30
디바이스넷  
프로토콜 DeviceNet™, group 2 slave only
데이터 속도 스위치 kBaud 125, 250, 500 or network programmable
케이블 길이 125kbps m (ft.) 500 (1650)
케이블 길이 250kbps m (ft.) 250 (825)
케이블 길이 500kbps m (ft.) 100 (330)
MAC ID 2 switches (address 00 - 63) or network programmable
네트워크 크기 up to 64 nodes per segment
디지털 기능 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
아날로그 기능 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
비주얼 통신 표시등 LED network status (green / red) ; LED module status (green / red)
사양 DeviceNet™ "Vacuum Gauge Device Profile"
장치 유형 ''CG'' for combination gauge
I/O 슬레이브 메시징 polling only
셋포인트 릴레이: 셋포인트 개수 2
셋포인트 릴레이: 범위 mbar 1×10-9 … 1400
셋포인트 릴레이: 릴레이 접점 n.o., potential free
셋포인트 릴레이: 히스테리시스 % of reading 10
셋포인트 릴레이: 접점 정격 60
셋포인트 릴레이: 커넥터 D-Sub, 15-pin, male
디바이스넷 공급 전압 11 … 25
게이지 공급 전압 20 … 28
디바이스넷 커넥터 Microstyle, 5-pin
BCG 커넥터(아날로그 출력, 공급 전압, 셋포인트) D-Sub, 15-pin, male
Profibus DP  
전송 속도 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500
주소 2 switches (address 00 - 127) or network programmable
디지털 기능 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; degas function, monitor gauge status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warning information
아날로그 기능 0 … 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B
셋포인트 릴레이: 셋포인트 개수 2
셋포인트 릴레이: 범위 mbar 1×10-9 … 1400
셋포인트 릴레이: 릴레이 접점 n.o., potential free
셋포인트 릴레이: 히스테리시스 % of reading 10
셋포인트 릴레이: 접점 정격 60
Profibus DP 커넥터 D-Sub, 9-pin, female
BCG 커넥터(아날로그 출력, 공급 전압, 셋포인트) D-Sub, 15-pin, male
EtherCAT  
프로토콜 EtherCAT protocol specialized for EtherCAT
통신 표준 ETG.5003.1 S (R) V1.1.0: Part 1 Common Device Profile (CDP) ETG.5003.2080 S (R) V1.3.0: Part 2080: Specific Device Profile (SDP) Vacuum Pressure Gauge
노드 주소 Explicit Device Identification
실제 층 100BASE-Tx (IEEE 802.3)
디지털 기능 EtherCAT read pressure, select units: Torr, mbar, Pa emission control, degas function monitor gauge status, filament status safe state allows definition of behavior in case of error detailed alarm and warning information
프로세스 데이터 Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping
우편함(CoE) SDO requests, responses and information
EtherCAT 커넥터 RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT
케이블 shielded Ethernet CAT5e or higher
케이블 길이 m (ft.) ≤100 (330)

(1) 가스 제거 중 정확성 감소

(2) RS232C 또는 VGC40x 시리즈 컨트롤러와 필드버스를 동시에 사용할 수 없음

(3) RS232C 작동의 경우 <30m

부품 번호

BCG450
부품 번호 설명
353-550 BCG450 트리플 게이지, DN 25 ISO-KF
353-551 BCG450 TripleGauge; DN 40 CF-R
353-552 BCG450 TripleGauge; DN 25 ISO-KF
353-553 BCG450 TripleGauge; DN 40 CF-R
353-554 BCG450-SP TripleGauge; DN 25 ISO-KF
353-556 BCG450-SP TripleGauge; DN 40 CF-R
353-557 BCG450-SD 트리플 게이지, DN 25 ISO-KF
353-558 BCG450-SD 트리플 게이지, DN 40 CF-R
353-592 BCG450-SE ECAT, DN 25 ISO-KF
353-593 BCG450-SE ECAT, DN 40 CF-R
353-598 BCG450-SE ECAT, DN 25 ISO-KF
353-599 BCG450-SE ECAT, DN 40 CF-R
354-492 센서 헤드 BCG450, DN25 KF
354-493 센서 헤드 BCG450, DN 40 CF-R
353-606 BCG450 TripleGauge; W, DN 40 CF-R

부속품

BCG450
부품 번호 설명
353-511 POWER SUPPLY BPG400 24VDC
353-512 BAFFLE FOR BPG400
211-113 CENTERING RING WITH BAFFLE DN 25 KF

예비 부품

BCG450
부품 번호 설명
354-492 센서 헤드 BCG450, DN25 KF
354-493 센서 헤드 BCG450, DN 40 CF-R
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