BAG402 중간~초고진공 게이지

INFICON 단일 베이어드-알퍼트 고온 이온 게이지인 BAG402는 5×10-10 mbar ~ 2.7×10-2 mbar(3.75×10-10 Torr ~ 5×10-2 Torr)의 광범위한 측정 범위를 다룹니다. 기본 압력 측정에 적정하고 반복 가능한 프로세스에 대해 컴팩트한 활성 게이지 패키지로 제공되는 INFICON BAG402를 선택하십시오. 지원되는 고유한 듀얼 필라멘트가 뛰어난 정확성, 장기간 안정성 및 오랜 지속성을 제공합니다.

장점

  • 5×10-10 mbar ~ 2.7×10-2 mbar(3.75×10-10 Torr ~ 5×10-2 Torr)의 측정 범위
  • 5%의 10-8 … 10-2 mbar의 공정 압력 범위에서 탁월한 반복성
  • 과압을 감지하여 필라멘트가 조기 단선되지 않도록 보호
  • 수명이 긴 2개의 산화이트륨 코팅 이리듐 필라멘트
  • 자동 방출 전류 선택으로 간편하게 제어 가능
  • 탁월한 재생력을 보장하는 온보드 보정 데이터를 사용하여 간단하게 감지 소자 교체
  • RoHS 준수

일반적인 응용 분야

  • 반도체 공정 및 트랜스퍼 챔버의 압력 측정
  • 산업용 코팅
  • 저진공부터 초고진공 범위까지 일반 진공 측정 및 제어
  • tiba46e1 Dimensioned Drawing.png

사양

유형 BAG402
측정 범위(공기, O2, CO, N2) 5×10-10 … 2.7×10-2
정확도  
10-8 … 10-2mbar % of reading ±15
반복성  
10-8 … 10-2mbar % of reading 5
가스 제거 (1)  
p < 7.2 × 10-6 mbar electron bombardment, max. 3 min
압력, 최대 bar (absolute) 2
온도  
작동(주변) °C 0 … +50
보관 °C -20 … +70
플랜지에서 베이크아웃 - 전자기기 BPG402-S 없음 °C 80
공급 전압 +20 … +28
출력 신호 아날로그 (4)  
출력 신호 V 0 … +10
측정 범위 log/lin V 0 … +9
전압과 압력 비교 volts per decade 1
오류 신호 V > +10
부하 인피던스, 최소 kΩ 10
보조 아날로그 출력 none
설정값 릴레이  
설정값 수 none
범위  
계전기 접점  
이력 현상  
접점 정격  
디지털 기능 degas and emission
인터페이스(디지털) (2) Diagnosis port
배출 제어 manual
필라멘트 two Yttriumoxid (Y2O3) coated Iridium (Ir)
필라멘트 상태/릴레이 LED / relay
전기 접속 D-Sub, 9-pin, male
케이블 길이(최대) m (ft.) 100 (330)
진공 상태에 노출된 물질 Y2O3, Ir, Pt, Mo, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
내부 용량 KF/CF cm³ (in.³) 24 (1.46) / 34 (2.1)
무게 KF/CF g 450 / 710
보호 등급 IP30

1) 가스 제거 중 정확성 감소

2) RS232C 또는 VGC40x 시리즈 컨트롤러와 필드버스를 동시에 사용할 수 없음

부품 번호

BAG402
부품 번호 설명
353-600 BAG402 DSUB9 KF25
353-601 BAG402 DSUB9 CF40

부속품

BAG402
부품 번호 설명
303-333 Diagnostic cable 1.9m (P3)

예비 부품

BAG402
부품 번호 설명
354-484 교체용 센서헤드 BAG402 DN 25 ISO-KF
354-485 교체용 센서헤드 BAG402 DN 40 CF-R
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