BAG302 중간 ~ 초고진공 게이지

INFICON 단일 베이어드-알퍼트 고온 이온 게이지 BAG302는 1.3 × 10-9mbar ~ 6.7×10-2mbar(1 × 10-9 Torr ~ 5 × 10-2 Torr)의 광범위한 측정 범위를 다룹니다. 소형의 올인원 고온 이온 게이지인 BAG302는 듀얼 필라멘트 센서, 내장된 OLED 디스플레이, 설정값 릴레이, 로그 선형 아날로그 출력뿐만 아니라 통합된 RS485 디지털 인터페이스를 쉽게 교체할 수 있어 높은 통합 유연성을 제공합니다. 이러한 기능에 견고한 설계가 결합되어 BAG302는 자체 기본 압력 측정 기기에 대한 적정하고 반복 가능한 공정이 되고 높은 가치와 낮은 소유 비용을 제공합니다.

장점

  • 1.3 × 10-9 ~ 6.7×10-2mbar(1 × 10-9 ~ 5 × 10-2 Torr)의 광범위한 측정 범위
  • 수명이 긴 2개의 표준 산화이트륨 코팅 이리듐 필라멘트
  • 내장 디스플레이, 셋포인트, 아날로그 출력 신호 및 표준 통합 RS485 디지털 인터페이스가 있는 올인원 액티브 게이지
  • 간편한 설정, 작동 및 프로그래밍을 위한 키패드가 있는 밝은 디지털 OLED 디스플레이
  • 사용자 프로그래밍 가능한 셋포인트 릴레이
  • 사용자 프로그래밍 가능 디스플레이 단위(mbar, Torr 또는 Pa)
  • 사용자가 선택 가능한 방출 전류 자동 범위
  • 기계적 강도 및 견고함
  • 다양한 플랜지 옵션 선택
  • 감지 소자 교체 용이
  • 규정 준수 및 표준: CE, RoHS
  • Granville-Phillips® 354 Micro-Ion® 모듈을 직접 드롭인 교체 – 소프트웨어 명령을 포함한 동일한 제어 기능(RS485)

    (Granville-Phillips® 및 Micro-Ion®은 매사추세츠주 앤도버에 소재한 MKS Instruments의 등록 상표)

일반적인 응용 분야

  • 반도체 공정 및 트랜스퍼 챔버의 압력 측정
  • 산업용 코팅
  • 저진공부터 초고진공 범위까지 일반 진공 측정 및 제어

뉴스

당사는 지금부터 주문을 받고 있습니다!
  • BAG302 Dimensional drawing.png

사양

유형 BAG302
측정 범위 1.3 x 10-9 ... 6.7 x 10-2
정확도(N2)  
1.3×10-8 … 6.7 ×10-2mbar % of reading ±15
1×10-8 … 5×10-2 Torr % of reading ±15
반복 사용 가능 % of reading ±5
가스 제거  
p < 6.7 x 10-5 mbar electron bombardment, 2 min (default)
p < 5.00 x 10-5 Torr (programmable between 2 ... 10 min)
온도  
작동(주변) °C 0 ... +40
보관 °C -40 ... +70
플랜지의 베이크아웃(센서만 해당, 전자장치 제거됨) °C 200
공급 전압 V (dc) +20 ... +28
출력 신호 아날로그 V 0 ... +9 (log-linear)
전압 대 압력 volts per decade 1
설정값 릴레이 1 (single-pole double-throw relay (SPDT))
1 A at 30 V (dc) resistive, or V (ac) non-inductive
전기적 연결 D-Sub, 9-pin, male for analog, D-Sub, 9-pin, female for RS485
인터페이스(디지털) RS485
배출 제어 manual
필라멘트 two Yt2O2 coated Ir
필라멘트 상태 display / digital output
디지털 기능 degas, filament on/off and emission control
진공에 노출된 재료 Yt2O3, Ir, W, Ta, stainless steel, glass, Ni
장착 방향 any
내부 부피 cm³ (in.³) 16.4 (1.0)
무게 KF / CF 270
BAG302 Ordering Information.PNG
친구에게 보내기