ALD 센서

ALD 적용개소에 대한 최적의 정확성, 가동 시간 및 최소 정비

INFICON ALD 센서는 QCM(Quartz Crystal Microbalance) 측정의 반복성, 정밀도 및 내구성을 원자층 증착(ALD)까지 가능하게 합니다. ALD 센서는 최대 450ºC를 견딜 수 있으며, ALD 응용 분야의 거친 환경에서 작동하도록 설계되었습니다. 노출된 크리스탈 전극은 완전히 접지되어 잠재적인 전기 간섭의 문제를 효과적으로 해결합니다.

ALD용으로 특별히 설계됨

INFICON ALD 센서의 독특한 특징은 비활성 기체, 일반적으로 질소를 포함한 크리스탈 및 센서 공동의 뒷면을 퍼지하는 데 사용되는 가스 튜브입니다. 이것은 반작용 챔버 가스가 센서 헤드로 유입되지 못하게 하고 크리스탈 및 전기 접촉부의 뒷면에 증착 물질이 묻지 않도록 해줍니다. 이 기술을 통해 표준 QCM이 적합하지 않은 시스템의 제 위치에서 측정할 수 있습니다.

피드스루 및 피드스루 연결

INFICON ALD 센서는 맞춤화된 용접된 길이로 이용할 수 있거나 납땜 또는 용접이 필요 없는 조절식 길이용 압축 피팅을 장착하여 사용할 수 있습니다. 모드 구성은 2 ¾ in.(CF40) ConFlat® 플랜지 피드스루를 사용합니다.

더욱 정확한 측정을 위한 고온 크리스탈

INFICON ALD 센서는 INFICON의 새로운 고온 석영 크리스탈을 사용할 때 고온 적용개소에서 최상의 측정 정확성을 얻고 주파수 노이즈를 낮출 수 있습니다. 이러한 고온 크리스탈은 120, 240 및 285°C 응용 분야로 최적화되었으므로, 언제든지 해당 목적에 적합한 크리스탈을 보유할 수 있습니다. 기타 온도에 최적화된 크리스탈도 사용할 수 있습니다. 필요한 경우 INFICON으로 연락해 주십시오.

장점

  • 대부분의 ALD 공정 온도에 사용 가능
  • 유지보수를 크게 줄입니다.
  • 시스템 가동시간이 극대화됩니다.
  • 측정 정확도가 극대화합니다.
  • 높은 공정 온도에서 노이즈가 적은 안정적인 판독값

특징

  • 작동 온도 최대 450°C
  • 가스 퍼지 라인은 크리스탈의 뒷면에 증착 물질이 없도록 해줍니다.
  • 용접식 Conflat 플랜지(CF40) 옵션
  • O-링 압축 피팅 옵션
  • 고온 크리스탈 사용 가능

일반적인 응용 분야

  • 원자층 증착(ALD)
ALD PN.png

부속품

부품 번호 설명
750-1058-G10 120[ C 최적화된 크리스탈, 6 MHz, 14mm(0.55 in.), 금, 10개들이 팩
750-1059-G10 240[ C 최적화된 크리스탈, 6 MHz, 14mm(0.55 in.), 금, 10개들이 팩
750-1060-G10 285[ C 최적화된 크리스탈, 6 MHz, 14mm(0.55 in.), 금, 10개들이 팩

소비재

이름 명세
석영 모니터 크리스탈 석영 모니터 크리스탈

예비 부품

부품 번호 설명
007-007 (크리스탈 홀더용) 리테이너 스프링
007-064 Ceramic Retainer, Bakeable Sensor
007-094 Clamping Sring, UHV Bakeable Sensor
007-095 Handle, UHV Bakeable Sensor
007-098 암 커넥터(페럴 및 너트 포함)
007-099 Head Contact, UHV Bakeable Sensor
007-100 High Temperature BNC Insulator
007-103 Insulator, UHV Bakeable Sensor
007-104 High Temperature BNC Body, Bakeable
007-147 Vented Screw, 4-40 x 3/8 in.
007-228 SPEC,4-40 X 5/8 VENTED SHC SC
007-267-P2 Spreader Bar, UHV Bakeable Sensor
007-268-P1 Shoulder Washer, UHV Bakeable Sensor
007-269-P1 Shoulder Washer, UHV Bakeable Sensor
070-201 #4 SPLIT LOCKWASHER SS
084-069-P1 SCREW 4-40 x .187 LG PHIL FLAT HD SS
750-018-P3 SPLIT CLAMP {THD} {CLEAN} @
750-018-P5 SPLIT CLAMP {CLEAN} @
750-218-G1 Crystal Holder, Bakeable Sensor
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