광범위한 진공 게이지

 

INFICON의 광범위한 진공 게이지는 소형 디자인에 뛰어난 정확성과 안정성을 제공합니다. 4가지 실제 기술은 초고진공부터 대기까지의 광범위한 진공에 적용됩니다

 

INFICON 피라니 기술을 사용하면 저진공 및 중진공 범위에서 비용 효율적인 측정이 가능합니다. INFICON 소형 용량식 격막 기술을 사용하면 저진공 범위에서 정밀 측정이 가능하고, 초고진공 및 고진공 범위는 열 또는 냉 이온화 기술로 처리됩니다.

 

각 측정 기술은 독립형 센서로 사용하거나 전체 진공 범위에 걸쳐 최적의 가격 대비 성능비를 제공하도록 보완 측정 기술과 결합하여 사용할 수 있습니다.

 

광범위한 진공 게이지

새로운 대류 강화 피라니 게이지 - 고급 시리즈

올인원 대류 강화 피라니 게이지는 100mbar와 대기 사이의 높은 정확도를 제공합니다.

제품
광범위한 진공 게이지

새로운 대류 강화 피라니 게이지 - 표준 시리즈

PGE300 대류 강화 피라니 게이지는 PGE500과 동일한 센서 기술을 제공하여 100 ~ 1000mbar의 측정 범위에서 동일하게 정확한 판독값을 표시합니다. 이는 가장 중요한 내장 기능을 제공하여 비용을 최소화합니다.

제품
광범위한 진공 게이지

새로운 대류 게이지 강화 피라니 게이지 - 패시브

100mbar와 대기 사이의 더 높은 정확성을 얻을 수 있는 대류 강화 피라니 게이지 PGE050은 전형적인 "패시브 게이지 - 컨트롤러 조합"에서 게이지 센서로 사용하기 위한 것입니다. 당사의 패시브 게이지 컨트롤러 VGC031 및 VGC083은 가장 적합하게 대응되는 제품입니다.

제품
광범위한 진공 게이지

새로운 베이어드-알퍼트 진공 게이지 헤드 - 패시브

INFICON 베이어드-알퍼트 패시브 진공 게이지 헤드 BAG050, BAG051, BAG052 및 BAG053은 INFICON 진공 게이지 컨트롤러 VGC083A 및 VGC083B와 함께 사용하도록 설계되어 있습니다.

해당 컨트롤러 VGC083 A+B의 경우 "진공 게이지 컨트롤러 및 액세서리" 장의 내용을 확인하십시오.



제품
광범위한 진공 게이지

새로운 전환형 마그네트론 냉음극 게이지 헤드 - 패시브

INFICON 전환형 마그네트론 냉음극 패시브 진공 게이지 헤드 MAG050 및 MAG060은 INFICON 진공 게이지 컨트롤러 VGC083C와 함께 사용하도록 설계되어 있습니다.

 

해당 컨트롤러 VGC083C의 경우 "진공 게이지 컨트롤러 및 액세서리" 장의 내용을 확인하십시오.



제품
광범위한 진공 게이지

새로운 베이어드-알퍼트 고온 이온 게이지 - 표준

독립형 고온 이온 게이지가 필요한 분야의 경우, INFICON은 새로운 경제적인 표준 이중 필라멘트 솔루션을 갖춘 단일 기술 베이어드-알퍼트 고온 이온 게이지를 제공합니다.

제품
광범위한 진공 게이지

새로운 Bayard-Alpert 게이지

INFICON은 독보적인 고온 진공관 압력계 기술을 필요로 하는 분야에서 사용할 수 있는 단일 기술, Bayard Alpert Hot Ion Gauge를 선보입니다.

제품
광범위한 진공 게이지

바야드-알퍼트 피라니 게이지

초고진공부터 대기압까지 매우 광범위한 측정이 가능한 컴비네이션 게이지 기술

제품
광범위한 진공 게이지

고압 핫 이온 피라니 게이지

2 x 10-6mbar ~ 대기압 범위에서 정확한 박막증착 프로세스 압력 제어를 위해 고도로 반복 가능하고 재현 가능한 압력 측정



제품
광범위한 진공 게이지

바야드-알퍼트 피라니 커패시턴스 다이아프램 게이지 - 트리플 게이지

컴비네이션 게이지 기술 - 3가지의 게이지 기술을 1개의 게이지로 결합하여 UHV부터 1500mbar 영역에서 정확한 공정 및 베이스 압력 측정

제품
광범위한 진공 게이지

새로운 Inverted Magnetron Pirani 게이지

새로운 Gemini™ Inverted Magnetron 진공 게이지는 모든 진공 측정 분야(진행 중)에 적용 가능한 장치이며 대기압부터 1x10– 9mbar 사이를 측정합니다.

제품
광범위한 진공 게이지

인버티드 마그네트론 피라니 게이지

인버티드 마그네트론 및 피라니 게이지 원리의 결합은 대기압부터 5 x 10-9mbar의 압력을 측정합니다.

제품
광범위한 진공 게이지

페닝 콜드 캐소드 게이지

견고한 페닝 콜드 캐소드 게이지는 1 x 10-2mbar부터 1 x 10-9mbar의 고진공 범위에서 신뢰성 있는 고진공 측정을 제공합니다. Fieldbus 옵션도 제공됩니다.



제품
광범위한 진공 게이지

피라니 스탠다드 게이지

5 x 10-4mbar ~ 대기압 범위 내에서 매우 신뢰할 수 있는 측정을 하는 가장 컴팩트한 Pirani 게이지



제품
광범위한 진공 게이지

피라니 스탠다드 게이지 - 고급 시리즈

다양한 기능을 가진 소형 피라니 게이지 제품군(필드버스 옵션 포함) - 5 x 10-4 mbar ~ 대기 범위의 특정 진공 측정에 적합한 제품으로 인정됨

제품
광범위한 진공 게이지

피라니 커패시턴스 다이아프램 게이지

'대기압에 가까운' 범위에서 뛰어난 정확성을 갖추고 5 x 10-4mbar부터 대기압 사이 측정 범위를 제공하는 피라니 및 커패시턴스 다이아프램 게이지의 결합

제품

진공 게이지용 교정 서비스

진공게이지 팩토리 또는 Dakks 교정

제품

검사 자료 서비스

특정 요구 사항에 적합한 검사 자료

제품

서비스 문서

INFICON 서비스 트랜잭션용 문서 템플릿. INFICON 서비스 부서에 대한 정보 교환을 지원합니다.

제품