XTC/3薄膜蒸着コントローラー

シングルまたはマルチレイヤー用の高度で低価格のコントロール

シングルまたはマルチレイヤープロセス用薄膜蒸着コントローラにおいて必要なすべての機能を入手できます。特許取得済みのModeLock機能を含むXTC/3 は、実証されたモードホップ防止により安定した品質を実現します。XTC/3薄膜蒸着コントローラは、高精度な蒸着速度と膜厚のコントロール、実質的に無制限のないレイヤー枚数、簡単な取り付け、非常に高い信頼性を実現しており、生産性を高めます。

薄膜蒸着コントロールの世界的なリーダーであるINFICONは、前例のない高い価値を、注目に値する低所有コストでお届けします。

コントロールの目的が生産であれ研究開発であれ、INFICON XTC/3はお客様の用途に適合できる製品です。

世界的なINFICONのサポート

世界のどの地域であっても、お客様に迅速な応答と懇切丁寧なサービスを提供し、最高の稼働率を実現することができます。世界中に支店を持つINFICONは、世界中で地元でのサービスと技術サポートを提供できる、唯一の薄膜蒸着コントローラーメーカーです。

機能

  • シングルレイヤー対応モデルとマルチレイヤー対応モデルが利用可能
  • 特許取得のModeLock技術が、モードホッッピングに由来する膜厚誤差を防止
  • INFICONのCrystal 12®、Crystal Six®、およびデュアルセンサー自動振動子スイッチをサポートし生産力を最大化
  • XTC/3Mマルチレイヤーモデルは、99までのプロセス、999までのレイヤー、32枚までのフィルム、2基までのセンサーと2種類までのソースをサポートします
  • XTC/3Sのシングルレイヤーモデルは9枚までのフィルム、2基までのセンサー、2種類までのソースをサポート
  • 見やすいTFT LCDグラフィックディスプレイ
  • フィルムとプロセスには、固有の、内容を表す名前を割り当てることができ、簡単に取り出せる
  • イーサーネット接続可能
  • スタンドアロン動作 (コンピュータ不要) が可能。オプションとしてPCから操作するためのWindows®ソフトウェア
  • INFICON XTC/2コントローラーをプラグ&プレイ方式で置き換え可能 (XTC/2の機能とコマンドセットに限定されます)

標準的なアプリケーション

  • ハイエンドのオプティカルコーティング

ニュース

XTC/3フロントパネルは、INFICONの新しいブランドイメージに適合させるために
デザイン変更しました。

XTC/3Mは、新しいデザインが適用された最初の薄膜製品で、現在、
新しい製品に取り付けて出荷されています。XTC/3Sの新しいフロントパネルデザインは
2013年後期より出荷を開始します。他の薄膜製品のフロントパネルは、
2014年と2015年に更新されます。

仕様

タイプ XTC3/S XTC3/M
周波数分解能 ±0.028 Hz @ 6 MHz
±0.028 Hz @ 6 MHz
測定頻度範囲 6.0 to 5.0 MHz (fixed) 6.0 to 5.0 MHz (fixed)
測定間隔 0.25 seconds 0.25 seconds
膜厚・蒸着レートの分解能/測定値 (1) ±0.034 Å ±0.034 Å
測定技術 ModeLock ModeLock
プロセス数 1 99
レイヤー数 1 999
材料プログラム (または膜) の数 9 32
センサー入力数 2 2
CrystalSix / Crystal 12センサーサポート Yes Yes
XTAL 2スイッチに対応 Yes Yes
ソース出力数 2 2
コンピューター通信 RS232 standard, Ethernet TCP/IP optional RS232 standard, Ethernet TCP/IP optional
最大RS232ボーレート 115.2 KBaud 115.2 KBaud
自動振動子スイッチ Yes Yes
リレー数 12, Not Event Assignable 12, Event Assignable
プログラマブルリレー機能数 1 1
リレーごとの機能 1 1
リレー電圧定格 30VDC or 30VAC RMS or 42V peak at 2.5 Amps 30VDC or 30VAC RMS or 42V peak at 2.5 Amps
入力数 8 TTL, 24VDC Max 8 TTL, 24VDC Max
プログラマブル入力機能数 1, Not Event Assignable 1, Event Assignable
レコーダーの出力数 1 1
手動電源/ハンドヘルドコントローラー Yes Yes
排気ファン No Exhaust Fan No Exhaust Fan
テストモード Yes Yes
シャッター遅延 Yes Yes
副次的ツーリング Yes Yes
ケース寸法 half rack, 2U high half rack, 2U high
蒸着速度および膜厚表示の分解能 0.1 A/s for 0.0 to 99.9 A/s, 1 A/s for 100 to 999 A/s, display thickness resolution = 1 A 0.1 A/s for 0.0 to 99.9 A/s, 1 A/s for 100 to 999 A/s, display thickness resolution = 1 A
入力による膜選択 Yes No
ユーザーガイドの言語 English, Chinese English, Chinese
制御ループ PID PID
PC操作用のソフトウェア Yes Yes
データロギング Yes Yes
品質および安定性機能 Yes Yes
サンプルアンドホールド (RateWatcher™) Yes Yes
クルーシブル選択 Yes Yes
クルーシブルフィードバック入力 Yes Yes
コントロール電圧極性の選択 Yes, +/- 2.5, 5, 10 Volts; 15-bit Resolution Yes, +/- 2.5, 5, 10 Volts; 15-bit Resolution
プログラムロックコード Yes Yes
グラフィックでの表示 Yes Yes
ユーザーラベルプロセス (携帯電話スタイルの英数字入力) No No
ユーザーラベルフィルム (携帯電話スタイルの英数字入力) No No
移動センサーコントロール Yes Yes
XTC/2 RS232通信規格との互換性 Yes (limited) Yes (limited)

(1) Tooling/density = 100/1、基本周波数 = 6 MHz

XTC3M-S_OrderChart_2013_web-01.png

アクセサリ

名前 説明
前面搭載シングルセンサー 前面搭載シングルセンサー
前面搭載デュアルセンサー 前面搭載デュアルセンサー
Cool Drawerシングルセンサー Cool Drawerシングルセンサー
Cool Drawerデュアルセンサー Cool Drawerデュアルセンサー
低プロファイルデュアルセンサー 低プロファイルデュアルセンサー
UHVベーク可能センサー UHVベーク可能センサー
スパッタリングセンサー スパッタリングセンサー
CrystalSix®センサー CrystalSix®センサー
Crystal 12®センサー Crystal 12®センサー
Easy Rate Single Sensor Easy Rate Single Sensor
RSH-600 回転式センサー RSH-600 回転式センサー
部品番号 品目
780-700-G1 Ethernet Module, XTC/3
755-262-G1 ハンドヘルド電源コントローラー (手動電源コントロール用)
780-702-G1 1ユニットラックマウントキット-1台のXTC/3ユニットを標準の19インチラックにマウントするために必要なすべての部品を含む
780-702-G2 2ユニットラックマウントキット-2台のXTC/3ユニットを横に並べて標準の19インチラックにマウントするために必要なすべての部品を含む
779-220-G1 CrystalTwoスイッチ、15.2 cm(6 in.)BNCケーブル
779-220-G2 CrystalTwoスイッチ、50.8 cm(20 in.)BNCケーブル
Oscillator kits (発振器およびケーブルを含む)
780-611-G15 XIU PKGおよび15フィート (4.6 m) ケーブル - XTC/3での使用向け
780-611-G30 XIU PKGおよび30フィート (9.1 m) ケーブル - XTC/3での使用向け
780-611-G50 XIU PKGおよび50フィート (15.2 m) ケーブル - XTC/3での使用向け
780-611-G100 XIU PKGおよび100フィート (30.5 m) ケーブル - XTC/3での使用向け
780-612-G15 4m XIU PKGおよび15フィート(4.6 m) XIUケーブル- 4 m真空中ケーブルと6インチBNC含む (XIUからフィードスルー) ケーブル- XTC/3での使用向け
780-612-G30 4m XIU PKGおよび30フィート(9.1 m) XIUケーブル- 4 m真空中ケーブルと6インチBNC含む (XIUからフィードスルー) ケーブル- XTC/3での使用向け
780-612-G50 4m XIU PKGおよび50フィート(15.2 m) XIUケーブル- 4 m真空中ケーブルと6インチBNC含む (XIUからフィードスルー) ケーブル- XTC/3での使用向け
780-612-G100 4m XIU PKGおよび100フィート(30.5 m) XIUケーブル- 4 m真空中ケーブルと6インチBNC含む (XIUからフィードスルー) ケーブル- XTC/3での使用向け
780-613-G15 3.5m XIU PKGおよび15フィート(4.6 m) XIUケーブル- 4 m真空中ケーブルと20インチBNC含む (XIUからフィードスルー) ケーブル- XTC/3での使用向け
780-613-G30 3.5m XIU PKGおよび30フィート(9.1 m) XIUケーブル- 4 m真空中ケーブルと20インチBNC含む (XIUからフィードスルー) ケーブル- XTC/3での使用向け
780-613-G50 3.5m XIU PKGおよび50フィート(15.2 m) XIUケーブル- 4 m真空中ケーブルと20インチBNC含む (XIUからフィードスルー) ケーブル- XTC/3での使用向け
780-613-G100 3.5m XIU PKGおよび100フィート(30.5 m) XIUケーブル- 4 m真空中ケーブルと20インチBNC含む (XIUからフィードスルー) ケーブル- XTC/3での使用向け
Oscillator Only (ケーブルは含まない)
780-600-G1 XTC/3 XIU (発振器) - XIUからセンサーヘッドまで、ケーブル長6インチ~72インチ (15 cm~183 cm)
780-600-G2 XTC/3 XIU (発振器) - XIUからセンサーヘッドまで、ケーブル長118インチ~157インチ (3 m~4 m)
Cables
755-257-G6 15.2 cm (6 in.) BNC ケーブル、真空フィードスルーへのXIU
600-1261-P15 4.6 m (15 ft.) ケーブル、Cgynus 2、XIUへのIC6またはXTC/3コントローラー
600-1261-P30 9.1 m (30 ft.) ケーブル、Cgynus 2、XIUへのIC6またはXTC/3コントローラー
600-1261-P50 15.2 m (50 ft.) ケーブル、Cgynus 2、XIUへのIC6またはXTC/3コントローラー
600-1261-P100 30.5m (100 ft.) ケーブル、Cygnus 2、XIUへのIC6またはXTC/3コントローラー

消耗品

名前 説明
水晶モニター振動子 水晶モニター振動子
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