VSC150A絶対圧スイッチ、パッシブ

 

INFICONのVSC150真空スイッチは0.5から2000 mbarの調整可能な電気切り替え接点を備えた、絶対圧スイッチです。機械設計により、±0.1 mbarのスイッチ精度を損なうことなく、短期間の3000 mbarの過負荷に耐えることができます。INFICONは、圧力スイッチを、お客様の必要に合わせて調整します。

利点

  • スイッチの高い精度 (± 0.1 mbar)
  • 安定した長期オペレーション特性
  • 頑丈で耐腐食性に優れたデザイン

機能

  • リファレンスチャンバーのスイッチングコンタクト(通常は閉じた状態)がプロセス媒体から保護
  • スイッチングアンプ使用時のスイッチング能力が向上

標準的なアプリケーション

  • バルブ、ポンプ、電源を制御するための圧力スイッチまたは差動圧力スイッチ
  • ロードロックチャンバー
  • プロセスチャンバー
  • VSC150_Dim.gif
  • SV dimensions

仕様

タイプ VSC150A absolute switch, passiv
切り替え範囲 mbar 0.5 … 2000
応答感度 mbar 0.1
限界過負荷 mbar 3000
切替えヒステリシス mbar 0.5
温度  
使用温度 (周囲) °C 5 … 90
保存 °C -20 … 70
ベークアウト (最大 8 時間) °C 120
スイッチポイントの係数 % K of switching value 0.4
真空接続 DN 16 ISO-KF
電気接続 Protected plug (DIN 43650)
スイッチ n.c.
切り替え電圧 V 24
開閉電流 mA 10
接点抵抗 <1
保護カテゴリ IP 65
媒体との接触材料  
検知可能質量 Stainless steel 1.4301, 1.4401, 1.4310, 1.3541, FPM75
基準容量 Stainless steel 1.4301, 1.4401, 1.3541, glass, gold
検知可能質量 (1) cm³ ≈4
基準容量 cm³ ≈20
重量 kg 1.3
SV スイッチングアンプ  
主電源 (選択可能) V 110 … 130, 220 … 240
電源周波数 Hz 50 / 60
消費電力 VA 3
出力リレー:切り替え電圧 V 250
出力リレー:スイッチング電流 A 5
出力リレー:可変容量 VA 500
応答時間 ms 30
開放時間 ms 7
制御回路 V/mA 24 / 10
使用温度 °C 5 … 50
重量 kg 0.36

部品番号

VSC150A absolute switch, passiv
部品番号 品目
399-005 VSC150 Vacuum Switch

アクセサリ

VSC150A absolute switch, passiv
部品番号 品目
399-008 Switching Amplifier for VSC150
399-006 Setpoint-adjustment for VSC150
399-007 Differentialpressure-Adapter for VSC150
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